Аперон

Разработано для вращения подложкодержателя Установки магнетронного напыления многослойной металлизации. Через полый вал магнитожидкостного уплотнения к подложкодержателю подаётся электропитание, обеспечивающее как нагрев поверхности подложки (полупроводниковой пластины) до 350оС, так и очистку подложек в плазме высокочастотного разряда. Для равномерности нанесения тонких плёнок магнитожидкостное уплотнение обеспечивает вращение подложкодержателя в камере реактора. Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па.

Герметизатор ТВРМ.305319.003 служит для уплотнения электродвигателей ВАСО5Л-14 У1/ХЛ1 со стороны выходного конца вала с целью защиты внутренних частей электродвигателя от попадания в них влаги, паров и механических частиц во время эксплуатации, при стояночном режиме или при хранении на складе. МЖГ устанавливается вместо штатной крышки подшипника электродвигателя. Технические характеристики герметизатора: Масса изделия 7,8 кг; Габариты изделия Ø270*33,8 мм; Посадочный диаметр изделия 180(-0,025) мм; Диаметр уплотняемого вала двигателя 100(-0,02/-0,05) мм.

Токоввод вакуумный нагревостойкий 12-пиновый, со специальной оконцовкой пинов, на фланце Ду160 (ISO160), 1 кВт, 150 А. Материалы: - сталь нержавеющая 12Х18Н10Т - сплав 29НК - вакуумноплотная корундовая керамика. Возможно изготовление токовводов в любых исполнениях по техническим требованиям заказчика.

Установка Aperon 12.200 предназначена для отработки технологического режима процесса гидрирования нефтеполимерных смол в научно-экспериментальных целях. Состав установки: - реактор автоклавного типа высокого давления с перемешивающим устройством; - станина со стойкой вертикального перемещения (стенд); - система измерения и управления. Реактор высокого давления представляет собой вертикальный аппарат цилиндрической формы, состоящий из герметичного корпуса и съёмной крышки для обеспечения загрузки/разгрузки реагентов и продуктов реакции. На корпусе закрепляется хомутовый нагревательный элемент. В крышку реактора высокого давления вмонтированы перемешивающее устройство (магнитная мешалка), впускные/выпускные вентили газа, манометр, предохранительный клапан высокого давления, змеевик охлаждения и карман термопары. Стенд представляет собой рамную конструкцию, на которой крепятся непосредственно корпус реактора, крышка реактора на механическом устройстве подъёма, система измерения и управления. Устройство подъёма крышки обеспечивает её вертикальное перемещение и разъединение от корпуса реактора. Корпус реактора имеет поворотное устройство для осуществления выгрузки продукта с фиксацией угла наклона корпуса. Система измерения и управления включает в себя источник питания и блок управления бесколлекторным двигателем магнитной мешалки, измеритель температуры в реакторе, измеритель-регулятор микропроцессорный нагрева автоклава, счётчик газа. Технические характеристики установки гидрирования Aperon 12.200: Реактор высокого давления: - общий объём реактора 990 мл; - температура нагрева 20–350 С; - максимальное рабочее давление 20 МПа; - среда: пиролизная смола, нефтеполимерная смола, органический растворитель, водород. Корпус и крышка реактора выполнены из сплава 12Х18Н10Т. Тип уплотнения крышки к корпусу реактора «шип-паз». Соединение крышки с корпусом реактора осуществляется с помощью шпилек. Мешалка магнитная: - тип крыльчатки: лопастная; - частота вращения, регулируемая в диапазоне: 0–3000 об/мин; - тип двигателя бесколлекторный, с напряжением питания 48 В постоянного тока; - максимальная нагрузка на вал 0,9 Нм; - максимальный выходной ток блока управления двигателем: 50 А. Материал крыльчатки и муфты магнитной – нержавеющая сталь 12Х18Н10Т.

Предназначено для применения в составе высокоскоростного узла динамического стенда для разграничения сред по давлению. Состоит из отполированного магнитного статического кольца, устанавливаемого в немагнитный корпус изделия заказчика, и динамического кольца с графитовой вставкой, устанавливаемого на валу. Технические характеристики торцевого магнитного уплотнения АП 42.000.00: - максимальная частота вращения 34000 об/мин; - натекание по гелию через торцевое уплотнение, не более 1,8*10-8 м3Па/с; - среда уплотнения «вакуум-атмосфера». Отличительной особенностью торцевых магнитных уплотнений является их миниатюрность и устойчивость к высокой частоте вращения. Физическое прижатие двух частей торцевого уплотнения осуществляется за счет магнитного поля, создаваемого статическим кольцом уплотнения. Влияние магнитного поля на другие элементы конструкции минимально, что исключает любые значительные паразитные поля. Величина магнитной индукции рассеянного поля составляет менее 0,3 мТл при измерении на расстоянии 13 мм от магнитного статического кольца. Торцевые магнитные уплотнения служат для сдерживания давления в одном направлении (со стороны расположения динамического кольца). В обратном направлении (со стороны статического кольца) уплотнения выдерживают избыточное давление не более 100 мм. рт. столба (0,13 атм). Типичные пределы рабочих температур магнитных торцевых уплотнений составляют от -55°C до +230°C. Магнитные уплотнения служат не только для разграничения объемов по давлению, но и применяются для защиты узлов вращения от воздействия негативных факторов внешней среды. Область применения торцевых магнитных уплотнений: - высокоскоростные валы (оси) турбин; - узлы вращения авиационной, судовой и железнодорожной техники; - динамические стенды; - элементы вращения в приборостроении. Мы принимаем заказы на разработку и изготовление торцевых магнитных уплотнений по ТТ заказчиков.

Сконструировано для вращения заслонкой в вакуумной камере реактора магнетронного напыления тонких плёнок. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает лёгкий поворот заслонки сохраняя высокую степень герметичности соединения. Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Сильфон сварной пластинчатый узла линейного перемещения вакуумного оборудования. Изготовлен для замены вышедшего из строя сильфона импортной вакуумной установки напыления. Принимаем заказы на разработку и изготовление вакуумных сильфонов линейного перемещения.

Разработан по техническому заданию заказчика для применения в обрабатывающем оборудовании (абразивная шлифовка) в качестве исполнительного органа. Предназначен для удерживания и перемещения заготовки в процессе шлифования. Имеет две поворотные и две линейные оси. Основные характеристики: -габариты узла: 440*470*216мм -угол поворота заготовки по вертикальной оси +/- 180° -угол поворота заготовки по горизонтальной оси =/- 45° -привод оси вертикальной – шаговый двигатель с редуктором -привод оси горизонтальной – червячный мотор-редуктор -размер обрабатываемой заготовки: 60*60*30мм -способ фиксации заготовки – вакуумный Для точного и надёжного позиционирования заготовки каждый двигатель привода оснащён энкодором (360 импульсов на оборот двигателя, соответственно, 21600 импульсов на оборот выходного вала). Подвод вакуума для вакуумной присоски обеспечивается по каналам в переходном корпусе. Линейные направляющие обеспечивают перемещение в 2 плоскостях на расстояние до 200мм при помощи шаговых двигателей (на сборке не показаны). Крайние положения линейных перемещений и наклонной оси определяются оптическими датчиками.

Коаксиальный двухвальный ввод вращения (выполнен по соосной схеме). Разработан под конструктив транспортной системы заказчика и обеспечивает передачу вращательных движений от приводов к загрузчику вакуумной камеры, тем самым обеспечивая радиальное и прямолинейное перемещение манипулятора при транспортировке кремниевых пластин из шлюза в технологический модуль. Применим в кластерных установках. Характеристики МЖУ: -диаметр центрального вала (атмосфера/вакуум): 12/15мм; -диаметр радиального вала (атмосфера/вакуум): 48/34мм; -предельное давление в технологическом и шлюзовом модулях: 1*10-6Па; -угловая скорость вращения центрального и радиального валов 20 об/сек; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Предназначен для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных при повышенных температурах в реакторе с сохранением герметичности подвижного соединения. Изделие представляет собой составную цилиндрическую конструкцию, объединяющую магнитожидкостное уплотнение и блок охлаждения. Вакуумная герметичность соединения обеспечивается магнитной жидкостью, удерживаемой магнитным полем в зазоре между валом и полюсными кольцами ввода. Охлаждение водяное. Герметичность по воде обеспечивается двумя манжетными уплотнениями (35×55×10 HMS5 RG). Конструкция изделия позволяет проводить техническое обслуживание блока охлаждения и осуществлять замену манжет по мере износа. Подключение воды к вводу вращения АП 09.100.00 осуществляется посредством двух фитингов G1/4”. Фланец вала ввода вращения со стороны вакуума выполнен в стандарте CF16. Вал имеет центральное отверстие предназначенное для протяжки кабеля питания нагрузки, расположенной на валу во внутреннем пространстве камеры (реактора). Масса изделия 4,1 кг Габариты изделия Ø100*284 мм Диаметр вала изделия со стороны атмосферы 25 мм Диаметр вала изделия в вакуумной части 34 мм Стандарт фланца вала вакуумной части CF16 Частота вращения вала: до 180 об/мин. Предельный вакуум, удерживаемый изделием: до 10-5 Па Натекание по гелию: не более 10-11 м3Па/с