Аперон

Разработано для вращения подложкодержателя Установки магнетронного напыления многослойной металлизации. Через полый вал магнитожидкостного уплотнения к подложкодержателю подаётся электропитание, обеспечивающее как нагрев поверхности подложки (полупроводниковой пластины) до 350оС, так и очистку подложек в плазме высокочастотного разряда. Для равномерности нанесения тонких плёнок магнитожидкостное уплотнение обеспечивает вращение подложкодержателя в камере реактора. Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па.

Разработан для применения в реакторах специального технологического оборудования (вакуумных установках) и предназначен для передачи вращения в активную зону реактора при сохранении высокой степени герметизации подвижного соединения. Ввод вращения выполнен под быстроразъемные соединения (со стороны корпуса KF40, со стороны вала KF25). Вал выполнен полым, с внутренним диаметром 25 мм, для вывода из высоковакуумного реактора электрических связей. Технические характеристики вакуумного ввода вращения: - температура эксплуатации до 800 С; - остаточное давление 1*10-8 Па; - избыточное давление до 0,1 МПа; - скорость вращения вала не более 60 об/мин. Возможны различные варианты исполнения ввода вращения под технические требования Заказчика.

Предназначено для применения в составе высокоскоростного узла динамического стенда для разграничения сред по давлению. Состоит из отполированного магнитного статического кольца, устанавливаемого в немагнитный корпус изделия заказчика, и динамического кольца с графитовой вставкой, устанавливаемого на валу. Технические характеристики торцевого магнитного уплотнения АП 42.000.00: - максимальная частота вращения 34000 об/мин; - натекание по гелию через торцевое уплотнение, не более 1,8*10-8 м3Па/с; - среда уплотнения «вакуум-атмосфера». Отличительной особенностью торцевых магнитных уплотнений является их миниатюрность и устойчивость к высокой частоте вращения. Физическое прижатие двух частей торцевого уплотнения осуществляется за счет магнитного поля, создаваемого статическим кольцом уплотнения. Влияние магнитного поля на другие элементы конструкции минимально, что исключает любые значительные паразитные поля. Величина магнитной индукции рассеянного поля составляет менее 0,3 мТл при измерении на расстоянии 13 мм от магнитного статического кольца. Торцевые магнитные уплотнения служат для сдерживания давления в одном направлении (со стороны расположения динамического кольца). В обратном направлении (со стороны статического кольца) уплотнения выдерживают избыточное давление не более 100 мм. рт. столба (0,13 атм). Типичные пределы рабочих температур магнитных торцевых уплотнений составляют от -55°C до +230°C. Магнитные уплотнения служат не только для разграничения объемов по давлению, но и применяются для защиты узлов вращения от воздействия негативных факторов внешней среды. Область применения торцевых магнитных уплотнений: - высокоскоростные валы (оси) турбин; - узлы вращения авиационной, судовой и железнодорожной техники; - динамические стенды; - элементы вращения в приборостроении. Мы принимаем заказы на разработку и изготовление торцевых магнитных уплотнений по ТТ заказчиков.

Применяется на электродвигателях с целью защиты подшипников и других внутренних деталей двигателя от воздействия влаги и пыли, увеличивая его ресурс. Герметизация двигателя осуществляется по вращающемуся валу. В основе принципа действия магнитожидкостного герметизатора лежит уникальное свойство ферромагнитной жидкости (компонент герметизатора) удерживаться в зазоре между подвижным и неподвижным узлом при помощи магнитного поля. Магнитожидкостный герметизатор выполняется в габаритах крышки подшипника электродвигателя и устанавливается непосредственно на него. Для обсуждения возможности применения и изготовления герметизаторов для Вашего оборудования просьба направить запрос с указанием конкретных условий эксплуатации электродвигателя и его модель.

Устанавливается вертикально, в крышку автоклавной установки и предназначена для перемешивания высокоминерализованной воды и нефтепродуктов. Режим работы непрерывный, до 50 суток на заданных частотах. Характеристики мешалки ТВРМ.067249.003: - рабочая температура: от +20°С до +120°С; - максимальное рабочее давление 17 МПа; - номинальная скорость перемешивания регулируемая, в диапазоне от 100 об/мин до 2000 об/мин; - момент на валу мешалки, не менее: 3,18 Н*м; - детали мешалки, соприкасающиеся с внутренним объёмом реактора, выполнены из нержавеющей стали AISI 316; - система охлаждения водяная, проточная с расходом не менее 1 л/мин; - напряжение питания 220В, 50 Гц. Мешалка комплектуется блоком управления, позволяющим задавать необходимые режимы работы посредством панели оператора

Сконструировано для вращения заслонкой в вакуумной камере реактора магнетронного напыления тонких плёнок. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает лёгкий поворот заслонки сохраняя высокую степень герметичности соединения. Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Сильфон сварной пластинчатый узла линейного перемещения вакуумного оборудования. Изготовлен для замены вышедшего из строя сильфона импортной вакуумной установки напыления. Принимаем заказы на разработку и изготовление вакуумных сильфонов линейного перемещения.

Характеристики МЖУ: - частота вращения 500 об/мин; - температура эксплуатации, до 80 0С; - натекание по гелию через магнитожидкостное уплотнение не более 10-12 м3Па/с; - остаточное давление в вакуумной камере, не хуже 10-5 Па.

Ввод вращения разработан по техническим требованиям заказчика для эксплуатации в составе вакуумного электронно-лучевого оборудования. Основные характеристики МЖУ: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-6 Па; -скорость вращения вала не более 300 об/мин; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с; -температура эксплуатации до 80о С. Герметизация вала ввода вращения осуществляется за счёт магнитожидкостного уплотнения, расположенного внутри корпуса ввода.

Ввод вакуумный электрический 19-контактный интерфейсный, для измерительных систем на фланце KF40. Является герметичной конструкцией и применяется в составе вакуумного оборудования. Характеристики: - сопротивление контактов, 15 мОм; - сопротивление изоляции, 5000 МОм; - температура эксплуатации, от -60°C до +85°C; - минимальное давление, 1,34*10-10 Па. Подключение к вакуумному разъёму осуществляется розеткой 2РМТ24КПН19Г1В1. Возможно изготовление электрических вакуумных разъёмов с другой схемой расположения выводов и системой крепления к вакуумному оборудованию.

Токоввод вакуумный нагревостойкий 12-пиновый, со специальной оконцовкой пинов, на фланце Ду160 (ISO160), 1 кВт, 150 А. Материалы: - сталь нержавеющая 12Х18Н10Т - сплав 29НК - вакуумноплотная корундовая керамика. Возможно изготовление токовводов в любых исполнениях по техническим требованиям заказчика.

Разработано для применения в составе карусели вакуумной установки дугового напыления металлических плёнок на изделия. В процессе напыления изделие подвергается высокотемпературному нагреву, вследствие чего возникает необходимость отвода тепла от карусели. Для этой цели применяется охлаждаемый вал, устанавливаемый в МЖУ АП 10.000.00. Крепление МЖУ фланцевое. Материал - нержавеющая сталь. Характеристики магнитожидкостного уплотнения: Масса изделия 2,6 кг Габариты изделия Ø110*83 мм Внутренний диаметр вала изделия 30 мм Частота вращения вала 300 об/мин Температурный диапазон эксплуатации от 0 до +60 ˚С Предельный вакуум, удерживаемый изделием 10-5 Па Натекание по гелию не более 10-12м3Па/с Герметизируемая среда: разреженный воздух, неагрессивные газы