Аперон

Является нижним электродом установки плазмохимической обработки пластин в плазме ВЧ-тлеющего разряда 08ПХО-100Т-005. Выполнен с двумя полыми каналами для водяного охлаждения. Материал токоввода - медь М1.

Разработан для передачи вращения от двигателя на планетарную карусель вакуумной напылительной установки. Поскольку во время напыления карусель с подложкодержателями нагревается до значительных температур - корпус ввода вращения выполнен водоохлаждаемым, способ разграничения сред - магнитожидкостное уплотнение. Характеристики охлаждаемого ввода вращения с магнитожидкостным уплотнением: - частота вращения 5 об/мин; - температура в области МЖУ, 120 0С; - радиальная нагрузка на вал, до 1000Н; - натекание по гелию через магнитожидкостное уплотнение не более 10-12 м3Па/с; - остаточное давление в вакуумной камере, не хуже 10-5 Па. - технологические газы в камере: азот, аргон, кислород, водород.

Магнитожидкостное уплотнение АП 03.000.00 является отечественным аналогом магнитожидкостного уплотнения KLFDMTM06M12 компании Kurt J. Lesker (США) и предназначен для передачи вращения в вакуумную среду. Корпус МЖУ имеет резьбовой хвостовик, посредством которого изделие крепится к вакуумному узлу через отверстие. Фиксация МЖУ осуществляется гайкой (входит в состав комплекта) со стороны высоковакуумной части узла. Герметичность монтажа магнитожидкостного уплотнения обеспечивается уплотнительным кольцом, установленным в торцевой канавке МЖУ. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. -передачу вращения со скоростями до 20000 об/мин.

Применяется на электродвигателях с целью защиты подшипников и других внутренних деталей двигателя от воздействия влаги и пыли, увеличивая его ресурс. Герметизация двигателя осуществляется по вращающемуся валу. В основе принципа действия магнитожидкостного герметизатора лежит уникальное свойство ферромагнитной жидкости (компонент герметизатора) удерживаться в зазоре между подвижным и неподвижным узлом при помощи магнитного поля. Магнитожидкостный герметизатор выполняется в габаритах крышки подшипника электродвигателя и устанавливается непосредственно на него. Для обсуждения возможности применения и изготовления герметизаторов для Вашего оборудования просьба направить запрос с указанием конкретных условий эксплуатации электродвигателя и его модель.

Миксер магнитный (магнитная мешалка) разработан для применения в составе химического реактора и служит для перемешивания рабочей жидкости с концентрацией соляной кислоты до 25%. Конструкция миксера построена по принципу магнитной муфты - вращение передаётся посредством магнитного поля, а в качестве разграничителя сред используется металлическая мембрана из нержавеющей стали, что полностью исключает взаимное проникновение двух сред: реактора и внешней. Характеристики: Максимальный передающий момент 10 н*м; Мощность двигателя 0.55 кВт, исполнение химстойкое; Частота вращения 1500 об/мин; Напряжение питания 220 В; Рабочим объём реактора 150 л; Расположение магнитного миксера – вертикальное; Максимальная температура рабочей жидкости + 45 0С; Вал мешалки металлический, с покрытием ПВХ; Материал лопастей мешалки (крыльчатки) полипропилен. Исполнение магнитного миксера и лопастей может изменяться «под задачи» заказчика.

Пример лодочки кварцевой (кварцевой кассеты) для пластин Ø76мм выполненной по документации Заказчика. Лодочка предназначена для технологических процессов в микроэлектронике, проводящихся при высоких температурах (450-1200˚С). Для загрузки в высокотемпературные печи.

Разработан для применения в реакторах специального технологического оборудования (вакуумных установках) и предназначен для передачи вращения в активную зону реактора при сохранении высокой степени герметизации подвижного соединения. Ввод вращения выполнен под быстроразъемные соединения (со стороны корпуса KF40, со стороны вала KF25). Вал выполнен полым, с внутренним диаметром 25 мм, для вывода из высоковакуумного реактора электрических связей. Технические характеристики вакуумного ввода вращения: - температура эксплуатации до 800 С; - остаточное давление 1*10-8 Па; - избыточное давление до 0,1 МПа; - скорость вращения вала не более 60 об/мин. Возможны различные варианты исполнения ввода вращения под технические требования Заказчика.

Предназначено для применения в составе высокоскоростного узла динамического стенда для разграничения сред по давлению. Состоит из отполированного магнитного статического кольца, устанавливаемого в немагнитный корпус изделия заказчика, и динамического кольца с графитовой вставкой, устанавливаемого на валу. Технические характеристики торцевого магнитного уплотнения АП 42.000.00: - максимальная частота вращения 34000 об/мин; - натекание по гелию через торцевое уплотнение, не более 1,8*10-8 м3Па/с; - среда уплотнения «вакуум-атмосфера». Отличительной особенностью торцевых магнитных уплотнений является их миниатюрность и устойчивость к высокой частоте вращения. Физическое прижатие двух частей торцевого уплотнения осуществляется за счет магнитного поля, создаваемого статическим кольцом уплотнения. Влияние магнитного поля на другие элементы конструкции минимально, что исключает любые значительные паразитные поля. Величина магнитной индукции рассеянного поля составляет менее 0,3 мТл при измерении на расстоянии 13 мм от магнитного статического кольца. Торцевые магнитные уплотнения служат для сдерживания давления в одном направлении (со стороны расположения динамического кольца). В обратном направлении (со стороны статического кольца) уплотнения выдерживают избыточное давление не более 100 мм. рт. столба (0,13 атм). Типичные пределы рабочих температур магнитных торцевых уплотнений составляют от -55°C до +230°C. Магнитные уплотнения служат не только для разграничения объемов по давлению, но и применяются для защиты узлов вращения от воздействия негативных факторов внешней среды. Область применения торцевых магнитных уплотнений: - высокоскоростные валы (оси) турбин; - узлы вращения авиационной, судовой и железнодорожной техники; - динамические стенды; - элементы вращения в приборостроении. Мы принимаем заказы на разработку и изготовление торцевых магнитных уплотнений по ТТ заказчиков.

Магнитожидкостное уплотнение фланцевое АП 09.200.00 применяется для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных с сохранением герметичности подвижного соединения. МЖУ имеет фланец для крепления через уплотнительное кольцо к полированной поверхности камеры (реактора) вакуумного технологического оборудования. Герметичность подвижного соединения обеспечивается магнитной жидкостью, удерживаемой магнитным полем в зазоре между валом и полюсными кольцами МЖУ АП 09.200.00. Характеристики МЖУ: -масса 1,9 кг -габариты Ø114*134мм -диаметр вала 20 мм -частота вращения вала: до 300 об/мин -температурный диапазон эксплуатации: от 0 до +50 ˚С -предельный вакуум 10-5 Па -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. Вал вакуумного ввода выполнен со шпоночными пазами.

Привод вращения охлаждаемый с магнитожидкостным уплотнением АП 41.000.00 (конструкторская документация ТВРМ.305314.001) предназначен для вращения подложкодержателя установки напыления методом вакуумного термического испарения. Особенностью конструкции данного привода является полый вал, внутри которого циркулирует охлаждающая жидкость, таким образом теплоотвод осуществляется непосредственно от торца вала, расположенного в вакуумной части камеры. К торцу вала винтовым соединением крепится подложкодержатель. Реализованное решение позволяет осуществлять эффективный теплоотвод от подложкодержателя, тем самым предупреждая перегрев как самого напыляемого образца, так и вакуумного узла в целом. Герметичность узла вращения обеспечивается встроенным в конструкцию привода магнитожидкостным уплотнением. Характеристики привода вакуумного: Глубина вакуума не хуже 10-6 Па Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/c Частота вращения вала до 100 об/мин Температурный диапазон эксплуатации, 0С: от 5 до 150 Стандарт присоединительного фланца ISO160 Полные характеристики вакуумного охлаждаемого привода по запросу.

Устанавливается вертикально, в крышку автоклавной установки и предназначена для перемешивания высокоминерализованной воды и нефтепродуктов. Режим работы непрерывный, до 50 суток на заданных частотах. Характеристики мешалки ТВРМ.067249.003: - рабочая температура: от +20°С до +120°С; - максимальное рабочее давление 17 МПа; - номинальная скорость перемешивания регулируемая, в диапазоне от 100 об/мин до 2000 об/мин; - момент на валу мешалки, не менее: 3,18 Н*м; - детали мешалки, соприкасающиеся с внутренним объёмом реактора, выполнены из нержавеющей стали AISI 316; - система охлаждения водяная, проточная с расходом не менее 1 л/мин; - напряжение питания 220В, 50 Гц. Мешалка комплектуется блоком управления, позволяющим задавать необходимые режимы работы посредством панели оператора

Изготовлен по техническим требованиям заказчика для применения в составе технологического испытательного стенда имитирующего условия космического вакуума. Ввод вращения имеет два контура магнитожидкостных уплотнений и выполнен с полым валом, что позволяет подавать технологический газ непосредственно в испытываемый образец, закрепленный на валу в условиях вакуума. Конструкция магнитожидкостных уплотнений ввода вращения разработана с учетом требований к высокой частоте вращения вала. Способ крепления ввода вращения к вакуумной камере - фланцевое. Подача технологического газа осуществляется через резьбовой штуцер в корпусе ввода. Характеристики ввода вращения АП 34.000.00: - рабочая частота вращения 6000 об/мин; - максимальная частота вращения (кратковременно, до 5 с) 16000 об/мин; - температура эксплуатации от +15°C до +30°C; - натекание по гелию не более 10-11 м3Па/c.