Аперон

Предназначена для перемешивания растворов щелочи/кислот. Характеристики мешалки ТВРМ.067241.002: Масса изделия: 20,6 кг (мешалка), 8,5 кг (блок управления); Габариты изделия (Д×Ш×В): 1299,5×Ø185 мм (мешалка), 362×139×299 мм (блок управления); Исполнение изделия: вертикальное, в крышку реактора; Посадочный диаметр фланца 120 мм; Максимальный момент: не менее 10 Н*м; Максимальная частота вращения вала: 400 об/мин; Максимальное избыточное давление: 0,6 МПа; Максимальная температура реактора: 80˚С; Среда реактора: кислотно-щелочная; Тип уплотнения изделия к реактору: резиновое уплотнительное кольцо по фланцу; Длина выступающей части штока от фланца: 900 мм; Диаметр штока: 25 мм; Тип крыльчатки по АТК 24.201.17-90: съёмная, тип 07 Ø280мм; Материал основных элементов изделия, контактирующих со средой реактора - 12Х18Н10Т Тип электродвигателя: серводвигатель; Блок управления электродвигателем (пуск/стоп, регулировка частоты вращения и ускорения); Напряжение питания 220 В переменного тока, 50 Гц; Максимальная мощность 800 Вт Степень защиты изделия, ГОСТ IEC 60034-5: IP64 (мешалка), IP20 (блок управления); Внешняя среда эксплуатации изделия: неагрессивная, невзрывоопасная с содержанием проводящей пыли до 10 мг/м3. Возможно изготовление мешалки в других исполнениях, учитывающих требования заказчика.

Является нижним электродом установки плазмохимической обработки пластин в плазме ВЧ-тлеющего разряда 08ПХО-100Т-005. Выполнен с двумя полыми каналами для водяного охлаждения. Материал токоввода - медь М1.

Привод вращения охлаждаемый с магнитожидкостным уплотнением АП 41.000.00 (конструкторская документация ТВРМ.305314.001) предназначен для вращения подложкодержателя установки напыления методом вакуумного термического испарения. Особенностью конструкции данного привода является полый вал, внутри которого циркулирует охлаждающая жидкость, таким образом теплоотвод осуществляется непосредственно от торца вала, расположенного в вакуумной части камеры. К торцу вала винтовым соединением крепится подложкодержатель. Реализованное решение позволяет осуществлять эффективный теплоотвод от подложкодержателя, тем самым предупреждая перегрев как самого напыляемого образца, так и вакуумного узла в целом. Герметичность узла вращения обеспечивается встроенным в конструкцию привода магнитожидкостным уплотнением. Характеристики привода вакуумного: Глубина вакуума не хуже 10-6 Па Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/c Частота вращения вала до 100 об/мин Температурный диапазон эксплуатации, 0С: от 5 до 150 Стандарт присоединительного фланца ISO160 Полные характеристики вакуумного охлаждаемого привода по запросу.

Магнитожидкостное уплотнение в вакуумную камеру установки магнетронного напыления. Обеспечивает передачу вращения на карусель с напыляемыми пластинами. МЖУ разработано с учётом конструктивных особенностей существующей вакуумной установки в качестве замены манжетного уплотнения, что позволило снизить натекание в рабочую камеру и увеличить ресурс уплотнения. Характеристики: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-5 Па; -диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 10/17мм со шлицем 11мм; -диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 16мм; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Изделие предназначено для применения в составе вакуумного технологического оборудования. Представляет собой картридж (для размещения в корпусе оборудования) с полым валом (для размещения вала исполнительного механизма). Герметичность установочных поверхностей вакуумного ввода вращения обеспечивается парными уплотнительными кольцами. Герметичность внутри ввода осуществляется посредством магнитожидкостного уплотнения. Характеристики: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Разработано в соответствии с техническими требованиями заказчика для применения в манипуляторе шлюзовой камеры установки плазмо-химического травления. Обеспечивает передачу вращения в высоковакуумную зону. Основные характеристики МЖУ: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-6Па; -диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 15мм; -диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 10мм; -угловая скорость вращения вала не более 40 об/сек; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Предназначен для вращения изделия в вакуумной камере в процессе вакуумно-дугового нанесения покрытий. Для исключения передачи тепловой нагрузки, возникающей во время напыления, в приводе реализовано охлаждение вала. Конструктивно привод вращения представляет собой единый узел, включающий нестандартное магнитожидкостное уплотнение, систему охлаждения, мотор-редуктор IG-80WGM, 41 тип, с напряжением питания 24В и передаточным отношением 1/210. Управление мотор-редуктором осуществляется посредством блока BLSD-20. Для точного позиционирования положения вала в конструкции привода предусмотрен фотодатчик BS5-V2M. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает высокую степень вакуума и длительный ресурс привода. Основные характеристики: -предельное давление в вакуумной камере 1*10-6Па; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с; -диаметр вала для крепления столика 25мм.

Материал деталей ввода вращения - нержавеющая сталь. Характеристики: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с; -температурный режим эксплуатации ввода: до 80 0С; -частота вращения вала, до 1500 об/мин.

Магнитожидкостное уплотнение фланцевое АП 09.200.00 применяется для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных с сохранением герметичности подвижного соединения. МЖУ имеет фланец для крепления через уплотнительное кольцо к полированной поверхности камеры (реактора) вакуумного технологического оборудования. Герметичность подвижного соединения обеспечивается магнитной жидкостью, удерживаемой магнитным полем в зазоре между валом и полюсными кольцами МЖУ АП 09.200.00. Характеристики МЖУ: -масса 1,9 кг -габариты Ø114*134мм -диаметр вала 20 мм -частота вращения вала: до 300 об/мин -температурный диапазон эксплуатации: от 0 до +50 ˚С -предельный вакуум 10-5 Па -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. Вал вакуумного ввода выполнен со шпоночными пазами.

Предназначена для механического перемешивания смеси тяжелых углеводородов в реакторах избыточного давления посредством вращающихся на валу лопаток (крыльчатки). Вращение лопаток осуществляется бесколлекторным электродвигателем через герметичную магнитную муфту. Характеристики Изделия: Масса 4,5 кг; Габариты изделия (Д×Ш×В) 851×61×83 мм; Исполнение - вертикальное, в крышку реактора; Максимальный момент, не менее 100 Н*см; Максимальное избыточное давление 1 МПа; Максимальная температура реактора 300˚С; Среда реактора - мазут, гудрон; Тип уплотнения изделия к реактору - по торцу прокладкой, резьба М24х1,5; Длина выступающей части штока 380 мм; Диаметр штока в области крышки реактора 10 мм; Тип охлаждения изделия - водяное, через цанговый фитинг 6510 10 под пластиковую трубку наружным Ø10 мм; Тип электродвигателя - бесколлекторный, с регулированием частоты вращения до 222 об/мин; Система управления электродвигателем - блок управления BLSD-20Modbus с RS-485, исполнение на DIN-рейку; Напряжение питания, 24 В постоянного тока; Максимальная мощность 70 Вт; Степень защиты IP54 ГОСТ IEC 60034-5; Внешняя среда эксплуатации изделия неагрессивная, невзрывоопасная с содержанием проводящей пыли до 10 мг/м3; Климатическое исполнение, У3.1 ГОСТ 15150; Крыльчатка съёмная трехлопастная, тип 01 по АТК 24.201.17-90, наружный Ø 140 мм. Мешалка также имеет исполнение ТВРМ.303581.001-001 для работы с максимальной температурой реактора 450˚С.

Узел вращения разработан и изготовлен согласно техническим требованиям заказчика. Конструктивно выполнен в виде картриджа, устанавливается на вакуумном оборудовании для передачи вращения в реактор. Основные характеристики магнитожидкостного уплотнения: -предельное давление в реакторе 1*10-6Па; -диаметр вала, герметизируемого МЖУ 24мм; -диаметр МЖУ 63мм; -угловая скорость вращения вала не более 35 об/сек; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. Уплотнение МЖУ к реактору осуществляется по торцу.

Предназначен для эксплуатации в составе вакуумного оборудования и климатических камер с критическими температурными нагрузками. Ввод вращения по конструктивному исполнению является охлаждаемым магнитожидкостным уплотнением. Корпус МЖУ выполнен с двойными стенками, что позволяет осуществлять циркуляцию теплоносителя (воды) через изделие и тем самым поддерживать допустимый температурный баланс внутри уплотнения. Характеристики магнитожидкостного охлаждаемого ввода вращения: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. -температурный режим эксплуатации ввода: -70 +150 0С. -частота вращения вала, до 2000 об/мин.