Аперон

Магнитожидкостный привод вращения АП 08.400.00 разработан и изготовлен в соответствии с техническими требованиями заказчика. Предназначен для вращения карусели в вакуумной камере технологического оборудования. Вращение привода обеспечивает бесколлекторный мотор-редуктор IG-80WGM-i117 под управлением блока BLSD-20. Применение в приводе магнитожидкостного уплотнения позволяет значительно увеличить ресурс Изделия, обеспечить высокую степень вакуума в рабочей камере и минимальное натекание. Характеристики магнитожидкостного привода: -масса 3,0 кг -габариты привода 305*80*80 мм -габариты блока управления 168*98*26 мм -посадочный диаметр привода 45 мм -диаметр вала привода 16 мм -напряжение питания постоянное 24 В -номинальный ток 3,3 А -частота вращения вала до 21,3 об/мин -крутящий момент 125 кг*см -предельный вакуум, удерживаемый приводом 1*10-5 Па -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с -герметизируемая среда: разреженный воздух, неагрессивные газы

Разработан по техническому заданию заказчика для применения в обрабатывающем оборудовании (абразивная шлифовка) в качестве исполнительного органа. Предназначен для удерживания и перемещения заготовки в процессе шлифования. Имеет две поворотные и две линейные оси. Основные характеристики: -габариты узла: 440*470*216мм -угол поворота заготовки по вертикальной оси +/- 180° -угол поворота заготовки по горизонтальной оси =/- 45° -привод оси вертикальной – шаговый двигатель с редуктором -привод оси горизонтальной – червячный мотор-редуктор -размер обрабатываемой заготовки: 60*60*30мм -способ фиксации заготовки – вакуумный Для точного и надёжного позиционирования заготовки каждый двигатель привода оснащён энкодором (360 импульсов на оборот двигателя, соответственно, 21600 импульсов на оборот выходного вала). Подвод вакуума для вакуумной присоски обеспечивается по каналам в переходном корпусе. Линейные направляющие обеспечивают перемещение в 2 плоскостях на расстояние до 200мм при помощи шаговых двигателей (на сборке не показаны). Крайние положения линейных перемещений и наклонной оси определяются оптическими датчиками.

Миксер магнитный (магнитная мешалка) разработан для применения в составе химического реактора и служит для перемешивания рабочей жидкости с концентрацией соляной кислоты до 25%. Конструкция миксера построена по принципу магнитной муфты - вращение передаётся посредством магнитного поля, а в качестве разграничителя сред используется металлическая мембрана из нержавеющей стали, что полностью исключает взаимное проникновение двух сред: реактора и внешней. Характеристики: Максимальный передающий момент 10 н*м; Мощность двигателя 0.55 кВт, исполнение химстойкое; Частота вращения 1500 об/мин; Напряжение питания 220 В; Рабочим объём реактора 150 л; Расположение магнитного миксера – вертикальное; Максимальная температура рабочей жидкости + 45 0С; Вал мешалки металлический, с покрытием ПВХ; Материал лопастей мешалки (крыльчатки) полипропилен. Исполнение магнитного миксера и лопастей может изменяться «под задачи» заказчика.

Назначение: уплотнение электродвигателей 2АСВО, 3АСВО со стороны выходного конца вала с целью защиты внутренних частей электродвигателя от попадания в них влаги, паров и механических частиц во время эксплуатации, при стояночном режиме или при хранении на складе. Магнитожидкостный герметизатор выполнен в виде картриджа цилиндрической формы, что позволяет устанавливать его в крышку подшипникового щита электродвигателя (крышка предварительно растачивается под внешний диаметр МЖГ). Основные технические данные МЖГ К-140: Масса изделия 2,8 кг Габариты изделия Ø200*49,2 мм Посадочный диаметр изделия 175 мм Внутренний диаметр изделия 140,80 мм Диаметр уплотняемого вала двигателя 140 мм Герметизируемая среда: влажный воздух, брызги, пыль Удерживаемый перепад давления до 25 кПа Частота вращения уплотняемого вала до 250 об/мин Степень защиты подшипникового узла, ГОСТ IEC 60034-5 IP55 Климатическое исполнение, ГОСТ 15150 У1, Т1 (всех климатических режимов). Применение герметизаторов позволяет более чем в 1,5 раза повысить ресурс электродвигателей.

Магнитожидкостное уплотнение АП 03.000.00 является отечественным аналогом магнитожидкостного уплотнения KLFDMTM06M12 компании Kurt J. Lesker (США) и предназначен для передачи вращения в вакуумную среду. Корпус МЖУ имеет резьбовой хвостовик, посредством которого изделие крепится к вакуумному узлу через отверстие. Фиксация МЖУ осуществляется гайкой (входит в состав комплекта) со стороны высоковакуумной части узла. Герметичность монтажа магнитожидкостного уплотнения обеспечивается уплотнительным кольцом, установленным в торцевой канавке МЖУ. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. -передачу вращения со скоростями до 20000 об/мин.

Мы изготавливаем магнитожидкостные уплотнения (МЖУ), являющиеся аналогами известных зарубежных производителей, а также разрабатываем оригинальные вводы вращения по техническим требованиям заказчика. Наши основные заказчики – производители вакуумного технологического оборудования электронной промышленности. Магнитожидкостное уплотнение (МЖУ, ввод вращения) является подвижным механическим узлом, в котором уплотняющим элементом служит магнитная жидкость, удерживаемая в системе канавок с помощью постоянных магнитов и обеспечивающая высокий уровень герметичности. Надёжность вводов вращения обусловлена присутствием жидкости в уплотняющих зазорах между подвижными и неподвижными деталями и, как следствие, крайне низким трением. А расположенные в корпусе магнитожидкостного уплотнения подшипники принимают на себя осевую и радиальную нагрузки от вала. Преимущества МЖУ: - не требуют обслуживания и расходных материалов; - обеспечивают длительный ресурс (не менее 10 лет); - низкий момент сопротивления вращению (в 5 раз ниже, чем классическое сальниковое); - не выделяют продуктов износа; - высокая степень герметизации. Глубина вакуума не хуже 10-6 Па. Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/c (для справки: натекание по гелию сальникового уплотнения 10-8 м3Па/c); - самовосстановление при прорыве; - радиационная стойкость; - бактериологическая стерильность.

Предназначен для ручного управления положением заслонки визуального наблюдения (открытие/закрытие заслонки окна) за процессом в реакторе. С конструктивной точки зрения представляет собой нестандартное магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), на валу которого размещена ручка управления вращением, а корпус выполнен с переходом во фланец стандарта KF16. Основные характеристики магнитожидкостного привода: -предельное давление в реакторе (вакуумной камере) 1*10-6Па; -диаметр вала для крепления заслонки М5; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Разработан для передачи вращения от двигателя на планетарную карусель вакуумной напылительной установки. Поскольку во время напыления карусель с подложкодержателями нагревается до значительных температур - корпус ввода вращения выполнен водоохлаждаемым, способ разграничения сред - магнитожидкостное уплотнение. Характеристики охлаждаемого ввода вращения с магнитожидкостным уплотнением: - частота вращения 5 об/мин; - температура в области МЖУ, 120 0С; - радиальная нагрузка на вал, до 1000Н; - натекание по гелию через магнитожидкостное уплотнение не более 10-12 м3Па/с; - остаточное давление в вакуумной камере, не хуже 10-5 Па. - технологические газы в камере: азот, аргон, кислород, водород.

Предназначен для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных при повышенных температурах в реакторе с сохранением герметичности подвижного соединения. Изделие представляет собой составную цилиндрическую конструкцию, объединяющую магнитожидкостное уплотнение и блок охлаждения. Вакуумная герметичность соединения обеспечивается магнитной жидкостью, удерживаемой магнитным полем в зазоре между валом и полюсными кольцами ввода. Охлаждение водяное. Герметичность по воде обеспечивается двумя манжетными уплотнениями (35×55×10 HMS5 RG). Конструкция изделия позволяет проводить техническое обслуживание блока охлаждения и осуществлять замену манжет по мере износа. Подключение воды к вводу вращения АП 09.100.00 осуществляется посредством двух фитингов G1/4”. Фланец вала ввода вращения со стороны вакуума выполнен в стандарте CF16. Вал имеет центральное отверстие предназначенное для протяжки кабеля питания нагрузки, расположенной на валу во внутреннем пространстве камеры (реактора). Масса изделия 4,1 кг Габариты изделия Ø100*284 мм Диаметр вала изделия со стороны атмосферы 25 мм Диаметр вала изделия в вакуумной части 34 мм Стандарт фланца вала вакуумной части CF16 Частота вращения вала: до 180 об/мин. Предельный вакуум, удерживаемый изделием: до 10-5 Па Натекание по гелию: не более 10-11 м3Па/с

Разработан для применения на Установке односторонней контактной сварки AVIO MCW-750 PG вместо штатных держателей, что позволяет использовать отечественные электроды ЭК1, ЭК2, ЭК3 установочным диаметром 3мм (диаметр свариваемой проволоки от 20 мкм).

Пример лодочки кварцевой (кварцевой кассеты) для пластин Ø76мм выполненной по документации Заказчика. Лодочка предназначена для технологических процессов в микроэлектронике, проводящихся при высоких температурах (450-1200˚С). Для загрузки в высокотемпературные печи.

Тип крепления (монтажа) – картридж. Устанавливаются на вводы вращения. Модельный ряд уплотнений (характеризуется диаметром уплотняемого вала): - APR-MHC10 для вала Ø10мм - APR-MHC20 для вала Ø20мм - APR-MHC25 для вала Ø25мм - APR-MHC30 для вала Ø30мм - APR-MHC40 для вала Ø40мм - APR-MHC50 для вала Ø50мм - APR-MHC75 для вала Ø75мм Давление не хуже 10-6 Па; Натекание по гелию не более 10-12 м3 Па/c. Уплотнения APR-MHC являются отечественными аналогами магнитожидкостных уплотнений KLFDMHC10, KLFDMHC20, KLFDMHC25, KLFDMHC30, KLFDMHC40, KLFDMHC50, KLFDMHC75 соответственно, и HTL-010-CN, HTL-020-CN, HTL-025-CN, HTL-030-CN, HTL-040-CN, HTL-050-CN, HTL-075 соответственно. Таблица габаритных и посадочных размеров в файле. Магнитожидкостные уплотнения (МЖУ) обладают лучшими характеристиками по сравнению с классическими манжетными (сальниковыми), поскольку роль уплотняющего элемента выполняет ферромагнитная жидкость. МЖУ не требуют обслуживания, имеют повышенный ресурс (до 15 лет), минимальное натекание. Применяются в условиях, где требуется создать сверхвысокий вакуум.