Инфракрасные фурье-спектрометры ФСМ2211

Приставки предназначены для контроля параметров полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм в режиме пропускания или отражения. Параметры пластин контролируются высокочувствительным бесконтактным методом в заданных оператором точках.

Прибор работает в средней ИК-области спектра, имеет оптический порт для ввода излучения от внешнего источника, оснащен системой продувки инертным газом. Технические характеристики: Спектральный диапазон, см-1 370-7800 Спектральное разрешение, см-1 0,1 Отношение сигнал/шум (время измерения 1 мин в интервале 2100-2200 см-1 и разрешении 4 см-1) >60 000 Минимальное время получения одного полного спектра менее, с 1 Количество каналов измерения 2 Светоделитель KBr с покрытием на основе Ge Источник излучения Высокотемпературный металлокерамический или внешний Детектор DLATGS, охлаждаемое фотосопротивление PbSe Размеры кюветного отделения, мм 200х190х170 Габаритные размеры, мм 540х490х250 Масса, кг. 36.

Подключаемый к ИК фурье-спектрометрам «ФТ-801» и «Инфралюм ФТ-801» широкодиапазонный ИК микроскоп серии “МИКРАН” предназначен для исследования образцов размером от 10 микрон, в том числе, неоднородных по составу. При работе на ИК микроскопе у оператора есть возможность наблюдать исследуемый объект с увеличением свыше 200Х как с помощью бинокуляра, так и на мониторе с использованием цифровой видеокамеры, при фотометрировании выделять с помощью диафрагм интересующий локальный участок произвольной формы, а также “сканировать” поверхность образца, наблюдая в режиме реального времени получаемый спектр.

Применяются для исследования жидкостей, в том числе - растворов с низкими концентрациями • Имеют разборную конструкцию, позволяющую использовать поставляемые в комплекте прокладки разной толщины • Материал окон – ZnSe (возможен заказ окон из SiO2 и KBr) • Материал прокладок – тефлон (фторопласт) • Толщина прокладок – 0.022 мм, 0.1 мм и др

Предназначен для регистрации спектров поглощения твердых, жидких и газообразных веществ в ближней и средней ИК области (в том числе наркотиков, лаков и красок, нефтепродуктов, взрывчатых веществ, фармакологических препаратов, полимерных пленок и волокон) с их последующей идентификацией, а также для качественного и количественного анализа смесей, содержащих несколько компонентов.

Применяется для измерения очень тонких покрытий, имеющих толщину в нанометровом диапазоне, и для исследования мономолекулярных слоёв.

Для установки кварцевой кюветы типа СФ в спектрометр ФСМ используется держатель ДК 10-10, имеющий стандартную присоединительную планку размером 50х75 мм, с помощью которой он вставляется в подставку для кювет ПК50-75 инфракрасного фурье-спектрометра ФСМ.

Тестер для контроля параметров полупроводниковых пластин ФСМ 1201П позволяет в соответствии с заданной оператором программой проводить автоматическое измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния диаметром 76, 100, 125, 150 и 200 мм, размещаемых на измерительном столе. Время стандартного измерения в одной точке не более 20 с. Основные контролируемые параметры: концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах (5×1015–2×1018)±5×1015 см-3 (SEMI MF1188); концентрация углерода замещения (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах: (1016–5×1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391); радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951); толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах (0,5–10,0)±0,1 мкм, (10–200)±1% мкм (SEMI MF95); толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах (0,1–10,0)±1% мкм; концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах (1–10)±0,2 % вес.

Основное отличие данной приставки от универсальной приставки НПВО и ЗДО состоит в том, что в качестве рабочего элемента МНПВО используется призма, позволяющая получить несколько отражений от области контакта с исследуемым образцом, что приводит к улучшению качества спектра и повышению чувствительности метода (полосы поглощения становятся более выраженными). Регистрация спектров зеркального и диффузного отражения (ЗДО) на данной приставке не предусмотрена. Приставка МНПВО эффективна при регистрации спектров поглощения образцов, размеры (количество) которых достаточны для обеспечения контакта со всей площадью рабочей грани призмы: * жидкостей любой степени вязкости (растворов,суспензий, масел и т.д.); * твердых эластичных образцов (полимерных фрагментов достаточно большого размера, резин, пластиков и т. д.); * порошкообразных образцов в количествах, достаточных для нанесения на всю поверхность и образцов в виде тонких пленок; Универсальный прижим оснащен прецизионным рычажным механизмом для быстрого опускания наконечника и микрометрическим винтом, позволяющим предварительно устанавливать оптимальную степень давления – это обеспечивает быстроту смены проб и повторяемость результатов при измерениях. Для удобства при работе с жидкими и пастообразными образцами предусмотрена возможность поворота консоли прижима на 180о. Примечание: приставка МНПВО не исключает возможности регистрировать спектры образцов, размеры которых меньше площади рабочей грани призмы (наличие системы визуального контроля исследуемой поверхности повышает удобство при работе с малоразмерными объектами), но общая эффективность метода при этом существенно ниже, чем при использовании универсальной приставки НПВО и ЗДО. Пропускание в рабочем диапазоне спектра, % от входного сигнала не менее 25 · Рекомендуемое число сканирований при регистрации спектров 25 · Время регистрации спектра при 25 сканах (разрешение 4 см-1), сек 30 · Глубина проникновения излучения в образец, мкм 5 – 15 · Минимальная площадь твердого образца, мм2 1 · Минимальный объем исследуемой жидкости, мл 0. 3 · Допустимый диапазон рН анализируемых объектов от 5 до 9 · Материал кристалла-подложки ZnSe CVD, Ge · Диаметр пятна фокусировки, мм 3 · Количество отражений 3 · Размер рабочей грани призмы, мм 21 Х 6 · Увеличение микрообъектива 4Х · Общее увеличение визуального канала 75Х · Поле зрения оптической системы, мм 2 Х 2,5 · Разрешение цифровой видеокамеры 640 Х 480 · Габаритные размеры,мм 145×125×240 · Масса, кг 2

Основное преимущество приставки ПРИЗ – возможность получения хорошо выраженных спектров микрообъектов после придания им формы тонкого слоя на отполированных зеркально металлических пластинах (в режиме так называемого двойного прохождения, когда излучение дважды проникает сквозь слой вещества, отражаясь от зеркала-подложки). Наличие системы визуального контроля со встроенной видеокамерой существенно повышает информативность при настройке и надежность полученных результатов. С помощью приставки можно также регистрировать спектры отражения сыпучих образцов и цельных объектов произвольной геометрии в нативном виде, в том числе, фармпрепаратов в виде таблеток, порошков и гранул, полимерных фрагментов, ЛКП, пленок, нанесенных на поверхности. Технические характеристики Пропускание в рабочем диапазоне спектра, % от входного сигнала не менее 40 Рекомендуемое количество сканов при регистрации спектров 25 Время регистрации спектра при 25 сканах (разрешение 4 см-1), сек 30 Минимальные исходные размеры твердого образца, мм 0.2 × 0.2 Максимальная рлощадь твердого образца, мм 20Х20Х10 Диапазон переменной фокусировки, мм 10 Диаметр пятна фокусировки, мм 3 Угол падения излучения (центральный луч) на образец в режиме ЗДО 45о Увеличение микрообъектива / общее увеличение визуального канала 4Х Поле зрения оптической системы, мм 2 Х 2,5 Разрешение цифровой видеокамеры 640х480 Габаритные размеры, мм 140×105×160 Масса, кг 1.16

Жидкостная кювета с регулируемой толщиной слоя исследуемой жидкости выполнена в виде оптико-механической приставки, устанавливаемой в кюветный отсек спектрометра ФТ-801. Содержит фокусирующую оптику, съемные держатели двух окон-подложек диаметром 10 мм и два регулировочных винта, выведенных на верхнюю панель корпуса приставки и предназначенных для выставления требуемого зазора между окнами. Жидкость любой степени вязкости предварительно наносится в виде небольшой капли на нижнее окно и затем, в процессе плавного сближения окон равномерно заполняет зазор между ними. Вращая регулировочные винты и наблюдая в режиме он-лайн за спектром пропускания, пользователь имеет возможность задать нужную толщину слоя жидкости, ориентируясь по общей выраженности всего спектра или по интенсивности конкретных полос поглощения. При наличии калибровки, которую легко создать с помощью программы ZaIR 3.5 по нескольким образцам с известной концентрацией, кювета позволяет проводить количественные измерения. Кювета незаменима при анализе смесей, содержащих примеси в малых пропорциях. Технические характеристики Пропускание в рабочем диапазоне спектра, % от входного сигнала не менее 50 Рекомендуемое количество сканов при регистрации спектров 16 Время регистрации спектра при 16 сканах (разрешение 4 см-1), сек 20 Минимальный объем исследуемой жидкости, мм3 1 Диаметр пятна фокусировки, мм 3 Габаритные размеры, мм 200×90×160 Масса, кг 1,1 На рисунке приведены несколько спектров вязкой смазки «Буксол», иллюстрирующие процесс подбора толщины слоя образца между окнами. Процесс измерений обладает высокой экспрессностью и воспроизводимостью, используются недорогие сменные окна-подложки, систему легко настраивать и очищать, для получения качественных спектров требуется очень небольшое количество пробы.

Приставка предназначена для измерения спектров поглощения образцов в ближней инфракрасной области спектра в диапазоне 4 000 — 12 500 см-1 совместно с ИК фурье-спектрометром ФСМ 1211. Используя ближнюю ИК-область, можно проводить идентификацию и количественный анализ фармацевтических препаратов, продукции химической, полимерной, текстильной, пищевой, сельскохозяйственной и других отраслей промышленности. Метод БИК-анализа позволяет исследовать порошки, измельченные и волокнистые материалы и т.п.

Применяется при исследовании образцов, спрессованных в таблетки малого диаметра с KBr (метод удобен при спектральном анализе порошкообразных веществ - приставка позволяет работать с малыми количествами образца, используя для изготовления таблеток ручной пресс). • Диаметр пятна фокусировки – менее 3 мм • В конструкции используется параболическая зеркальная оптика • В приставку могут помещаться окна-подложки после нанесения на них пастообразных, жидких веществ, либо экстрактов с последующим высушиванием слоев • Ограниченное применение – при исследовании цельных образцов с размерами менее 5 мм (предпочтительно использовать микрофокусирующую приставку вертикального типа)

Предназначена для установки в универсальный ИК фурье-спектрометр ФСМ для проведения анализа бензинов, включающего: определение концентрации бензола по ГОСТ Р 51930 (ASTM D4053, EN 238); определение концентрации оксигенатов по ГОСТ Р 52256 (ASTM D 5845).

Новая разработка серии «ИнфраЛЮМ» Широкий спектр приставок: «ИнфраЛЮМ ФТ-08» предлагает полный спектр оптических аксессуаров компаний «Pike Technologies» и «Specac», адаптированных для установки в кюветное отделение спектрометра, в том числе: Приставка МНПВО (многократно нарушенного полного внутреннего отражения); Приставка НПВО (нарушенного полного внутреннего отражения); Приставка диффузного отражения; Многоходовая газовая кювета; ИК-микроскоп и другие. Простота в использовании интуитивно понятное и простое в использовании ПО; максимально удобный для работы дизайн корпуса; максимально большое и удобное для установки приставок кюветное отделение; возможность самостоятельного запуска прибора. Особенности оптико-электронного тракта «ИнфраЛЮМ ФТ-08» запатентованная конструкция интерферометра, нечувствительного к разъюстировкам; герметичное оптическое отделение с автоматической системой контроля влажности и температуры оптической и электронной систем; источник излучения со сроком службы до 5 лет. Технические характеристики: Рабочий спектральный диапазон, см-1 от 400 до 7800 Спектральное разрешение, см-1, не более 0,7 Предел абсолютной погрешности шкалы волновых чисел, см-1 ±0,05 Отношение сигнал/шум (среднеквадратический) для волнового числа 2150 см-1, определяемый в интервале ±50 см-1 для разрешения 4 см-1 и времени накопления 60 с, не менее 40000 Предел отклонения линии 100 %-ного пропускания от номинального значения для волнового числа 2150 см-1, определяемый в интервале ±50 см-1, % ±0,2 Уровень положительного и отрицательного псевдорассеянного света, вызванного нелинейностью фотоприемной системы, % ±0,25 Время установления рабочего режима спектрометров, ч, не более 2 Время непрерывной работы спектрометров, ч, не менее 8 Среднее время одного сканирования (частота сканирования 7,14 кГц), с, не более: максимальное спектральное разрешение - 6 спектральное разрешение 16 см-1 – 0,8 Питание спектрометров от сети переменного тока: напряжение питания, В 220 ±22 частота, Гц 50 ±1 Потребляемая мощность, В×А, не более 65 Габаритные размеры, мм, не более 580х550х340 Масса, кг, не более 32 Средняя наработка на отказ, ч, не менее 2500 Средний срок службы спектрометра, лет, не менее 5

Предназначена для исследования химического состава жидких сред, мелкодисперсных неабразивных порошков и полимерных пленок. Метод многократного нарушенного полного внутреннего отражения позволяет существенно упростить подготовку образцов и может использоваться для реализации экспресс-методик контроля качества продукции.

Предназначена для измерения отражающей способности твердых образцов и анализа покрытий методом отражения с углом падения, близким к нормальному. С помощью этой приставки можно определять отражающую способность оптических элементов, антибликовых покрытий и пр.