Прогресс

Сильфон представляет собой гофрированную герметичную трубку, изготовленную чаще всего из нержавеющей стали. Сильфоны бывают гибкие (сильфонные шланги) и сжимаемые. Сжимаемые сильфоны можно изгибать, сжимать и растягивать, в отличие от сильфонных шлангов, которые предназначены только на изгиб. На обоих концах сильфона расположены фланцы определенного стандарта: KF (NW), ISO, CF и т.д. Сильфон обеспечивает соединение двух концов вакуумного трубопровода, которые могут совершать поступательные движения относительно друг друга. Он компенсирует тепловые перемещения трубопровода, а также гасит вибрацию.

Полнопоточный щуп для гелиевых масс-спектрометрических течеискателей серии МС. Обеспечивает высокочувствительную работу способом щупа.

Представляет собой упрощенный вариант установки УКГ-4П при поточном контроле изделий на предприятиях электронной промышленности. Состоит из отдельностоящего гелиевого масс-спектрометрического безмасляного течеискателя МС, вакуумной камеры кассетного типа, отдельно присоединяемый вакуумный столик, панельная рабочая станция с сенсорным экраном, рабочее место оператора. Программное обеспечение, конфигурация обрудования может быть адаптирована под конкретные задачи Заказчика.

Автоматизированная установка высоковакуумной подготовки предназначена для получения глубокого вакуума в объектах любых объемов с одновременным контролем герметичности испытуемого изделия и коммуникаций.

Катоды для ионного источника масс-спектрометрического анализатора. Подходит для всех течеискателей серии МС.

Предназначен для анализа состава газов (газовых смесей). Особенности: масс-анализатор типа масс-рефлектрон с V-образной траекторией полета ионов; новая конструктивная компоновка и габаритные размеры; на порядок увеличена чувствительность; увеличена в два раза разрешающая способность (более 300); увеличен диапазон измеряемых масс – свыше 300 a.e.m.; предел обнаружения микропримесей от 0,2 p.p.m.; новое программное обеспечение; новые электронные модули.

Автоматический течеискатель для контроля герметичности изделий, обеспечивающий измерение общего натекания до 10^-4 Па.м3/с методом контроля за изменением давления. Испытания на герметичность с избыточным давлением или под вакуумом выполняется быстрее, проще и менее затратнее, чем при использовании рабочих сред, таких как гелий или галогены. Манометрический течеискатель не требует расхода рабочего газа и способен проверять изделия на герметичность в конвейерном режиме. Манометрический метод имеет широкое применение в различных отраслях: • Упаковка • Автомобилестроение • Медицина и фармацевтика • Кондиционеры • Электроника

Комплекс предназначен для измерения скорости выделения изотопов гелия Гелий-3 и Гелий-4 из деталий и узлов электровакуумных приборов методом накопления. Диапазон измеряемых значений скорости выделения гелия из деталей и узлов в режиме высокочувствительных испытаний составляет 10^6 - 10^15 ат/с. Погрешность измерения скорости выделения составляет 60%. Установка снабжена откачными агрегатами различных типов, в том числе агрегатом, имеющим весьма малую скорость откачки пробных газов (Н2, 3Не, 4Не) - крио сорбционным насосом, что обеспечивает возможность работы в режиме накопления и регистрации сверхмалых потоков указанных газов. При работе с откачными агрегатами высокой скорости откачки всего спектра масс (спиральным форвакуумным насосом высокой производительности и турбомолекулярным насосом) установка может использоваться в качестве прибора неразрушающего контроля герметичности – масс-спектрометрического течеискателя. В этом случае контроль герметичности и измерение потоков пробных газов может осуществляться всеми способами контроля: прямоток, противоток, щуп, вакуумная камера. Для калибровки измерений в приборе установлены источники эталонных потоков пробных газов 3Не и 4Не. Допускается работа с индикацией пробных газов других масс, до массы 40 (Ar) включительно. Однако вследствие изменения условий формирования ионного пучка чувствительность установки к потокам «тяжелых» пробных газов будет снижаться.

Интегрируемый течеискатель для промышленного применения в модульной модификации • Легкость встраивания • Простая конфигурация • Легкость обслуживания • Малые габариты • Разумный дизайн и максимально увеличенное время работы • Незначительная стоимость обслуживания • Согласование с промышленными стандартами • Выбираемый I/O адаптирован к любым требованиям • Опциональная панель управления

Решение организации участка контроля герметичности для поточных производств под ключ. Установка УКГ-4П предназначена для контроля герметичности изделий полупроводниковой, радиотехнической, электротехнической и других отраслей промышленности. При изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем различных типов немаловажным является контроль технологических процессов. Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий процент выхода годной продукции. Одним из этапов технологического процесса изготовления является масс-спектрометрический контроль герметичности. Для решения этих задач НПФ "Прогресс" предлагает варианты технологического оборудования масс-спектрометрического контроля герметичности, адаптированного под задачи производства, позволяющее более эффективно применять метод контроля с минимизацией издержек в обслуживании, временных затрат при эксплуатации. УКГ-4П представляет собой технологическое оборудование, состоящее из 4 (по согласованию и более) вакуумных камер, высоковакуумного безмасляного поста и масс-спектрометрической части с собственной высоковакуумной откачкой, смонтированных в едином конструктиве в виде моноблока. Установка позволяет проводить контроль герметичности несколькими способами: • способ вакуумной камеры; • способ обдува

Особенности насоса: возможность перезапуска на выбеге; допускается прорыв атмосферы; произвольное рабочее положение в пространстве; предельное рабочее давление на выходе до 100 мм рт.ст; использование прецизионных керамических подшипников; воздушное охлаждение. Назначение Безмасляная откачка малогабаритных (V до 100 л) вакуумных систем, создание высокого и сверхвысокого вакуума Область применения Масс-спектрометрия, течеискание, ускорители элементарных частиц, ядерные исследования, производство электровакуумных и полупроводниковых приборов, атомная и ракетно-космическая промышленность, авиация, фармацевтика, пищевая промышленность.