Вернуться к результатам поиска

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-2Ф

Вернуться к результатам поиска
Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-2Ф
Компания:
Кварц
Производство:
Калининград
Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники.
Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки.

Установка обеспечивает:
безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов.
очистку поверхности изделий перед напылением с помощью ионного источника постоянного тока;
нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»
контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля»;
Основные технические характеристики:

Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 40.
Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350.
Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60.
Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. — 80