ФЕРРИ ВАТТ

Автоматизированный многофункциональный комплекс магнетронного нанесения покрытий, состоящий из двух камер. Большая камера горизонтального исполнения, прямоугольной формы, изготовлена из нержавеющей стали с электрополировкой внутренних поверхностей. Стенки корпуса имеют ребра жесткости. Двери из нержавеющей стали прямоугольной формы с электрополировкой внутренних поверхностей служат для загрузки изделий в камеру, обслуживания испытываемых устройств и наблюдения за процессом испытания через смотровые окна. В большой камере размещены три планарных магнетрона, протяженный источник ионов, а также три круглых магнетрона и круглый источник ионов. В камере также размещается модуль перемещения, который обеспечивает линейное движение с определенной скоростью и остановку в любой точке камеры заданной оператором. Модуль состоит из каретки, направляющих, ввода и системы передачи движения. На каретке крепится термоплита, для поддержания температуры покрываемых образцов. Малая камера сварная, вертикального исполнения, колпачного типа изготовлена из нержавеющей стали. Поднятие колпака осуществляет электромеханический подъемник. В малой камере размещены четыре круглых магнетрона и один источник ионов. Вакуумная система единая для обеих камер и построена на криогенном насосе CTI Cryogenics Cryo Torr 8 и спиральном форвакуумном насосе Anest Iwata ISP-500С. Для переключения откачки между камерами используется специальная распределительная камера с комплектом затворов. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах.

В установке наносится комбинированное покрытие, которое состоит из слоя металла, слоя соединения этого металла (оксид, нитрид, карбид) и кремнийорганического слоя. Для осаждения слоев металлов и их соединений используется планарный дуговой распылитель, длиной 2700 мм, который размещен в кармане вдоль верхней образующей камеры. Нанесение кремнийорганического слоя SiOx производится в ВЧ разряде 20-40 кГц, 400-1000В, который зажигается между барабаном с изделиями и антенной, расположенной в центре камеры. Покрываемые панели размещаются на планетах по периметру барабана, в два слоя. При завершении полного оборота барабана, каждая планета переворачивается на 180 град. – панели, размещенные на планете, меняются местами, тем самым обеспечивается нанесение покрытия на все панели. Вакуумная система состоит из 4 насосов НВДМ 400 и форвакуумного агрегата на основе насосов ЕН1200 и Е1М275, Edwards. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.

Однокамерная установка периодического действия на основе камеры Ø1600 мм. с системой резистивного термического осаждения (20 резистивных испарителей, номинальный ток блока 800-1000 А) и системой плазмохимического осаждения кремнийорганического слоя (13,56 мГц, 1000 Вт). Изделия закрепляются на специальных приспособлениях на барабане, с системой планетарного вращения. Установка комплектуется 2 барабанами с откатными тележками. Последовательно, производится обработка в плазме тлеющего разряда, нанесение отражающего алюминиевого слоя, нанесение защитного кремнийорганического слоя в плазме ВЧ разряда. Откатная тележка для барабана снабжена электроприводом. В комплект установки входят два комплекта барабана с тележкой отката. Высоковакуумная часть состоит из четырех диффузионных паромасляных агрегатов АВДМ-400. Для предварительной - форвакуумной откачки используется два насоса АВЗ-125 и насос ДВН 500. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.

Нанесение на листовое стекло тонирующих и зеркальных покрытий на стеклянные полотна размером 1600х2400 мм. Камера из стали вертикального исполнения. Камера имеет откатную дверь, служит для загрузки изделий и обслуживания внутрикамерных устройств. Вакуумная система построена на основе 4 диффузионных насосов НВДМ400 и золотникового насоса АВЗ180. Для нанесения покрытия используется сканирующий цилиндрический дуговой испаритель, с двунаправленным движением катодного пятна. Стеклянные полотна устанавливаются на кассеты, расположенные на приемном устройстве. Приемное устройство стыкуется с вакуумной камерой и кассеты перекатываются в вакуумную камеру. Для контроля процесса используется система оптического контроля. Система управления выполнена на базе контроллера и компьютера. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах.

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали с одной дверью для загрузки изделий и обслуживания, с симметричным размещением технологических источников. Технологические источники размещаются в специализированных карманах на корпусе камеры. Для нанесения покрытий используются два планарных дуговых источника и два планарных магнетрона – все длиной 1800мм. Блоки питания технологических источников и смещения инверторного типа фирмы «Эсто-Эл». Для размещения изделий используется система планетарного вращения, с механизмом электроизолированным от корпуса. Для подвода смещения к планетам используется система силовых токоподводов. Корпус камеры, крышка камеры, фланцы крепления технологических источников и ввод вращения водоохлаждаемые. Вакуумная система на основе диффузионного насоса НД500, двух насосов НВР-90 и насоса НВД- 600. Установка включает в себя холодильную машину оборотного водоснабжения ВМТ25. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.