فری وات

این دستگاه یک دسته ای تک اتاقی بر اساس دوربین Ø1600 میلی متر. با سیستم رسوب حرارتی مقاوم (20 تبخیر کننده مقاوم ، جریان نامی واحد 800-1000 A) و سیستم رسوب شیمیایی پلاسمایی یک لایه ارگانوسیلیکون (13.56 مگاهرتز ، 1000 وات). محصولات بر روی دستگاه های ویژه بر روی درام ثابت شده اند ، با یک سیستم چرخش سیاره ای. این نصب مجهز به 2 درام با واگن های کشویی است. به ترتیب ، پلاسمای تخلیه درخشش پردازش می شود ، یک لایه آلومینیومی بازتابنده اعمال می شود و یک لایه محافظ ارگانوسیلیکون در پلاسمای تخلیه RF اعمال می شود. واگن نورد برای درام مجهز به درایو الکتریکی است. کیت نصب شامل دو مجموعه درام با یک واگن چرخشی است. قسمت با خلاء بالا از چهار واحد روغن بخار پخش avdm-400 تشکیل شده است. دو پمپ AVZ-125 و یک پمپ dvn 500 برای پمپاژ قبل از خلاء استفاده می شود. این نصب می تواند در حالت های دستی و اتوماتیک کار کند. سیستم کنترل بر اساس یک کنترل کننده و یک کامپیوتر با پارامترهای خروجی به مانیتور است.

محفظه خلاء از فولاد ضد زنگ با یک درب برای بارگیری محصولات و نگهداری با قرار دادن متقارن منابع تکنولوژیکی ساخته شده است. منابع تکنولوژیکی در جیب های تخصصی روی بدنه دوربین قرار می گیرند. دو منبع قوس مسطح و دو مگنترون مسطح برای پوشش استفاده می شود ، همه با طول 1800 میلی متر. منبع تغذیه برای منابع تکنولوژیکی و جبران نوع اینورتر تولید شده توسط Esto-El. یک سیستم چرخش سیاره ای با مکانیسم عایق الکتریکی از محفظه برای قرار دادن محصولات استفاده می شود. یک سیستم از سرنخ های جریان قدرت برای تامین جابجایی به سیارات استفاده می شود. بدنه دوربین ، پوشش دوربین ، فلنج های نصب منابع تکنولوژیکی و ورودی چرخش با آب خنک می شوند. یک سیستم خلاء بر اساس پمپ انتشار ND500 ، دو پمپ NVR-90 و پمپ NVD-600. این نصب شامل یک دستگاه یخچال آب vmt25 است. این نصب می تواند در حالت های دستی و اتوماتیک کار کند. سیستم کنترل بر اساس یک کنترل کننده و یک کامپیوتر با پارامترهای خروجی به مانیتور است.

یک پوشش ترکیبی در دستگاه اعمال می شود که شامل یک لایه فلزی ، یک لایه از این ترکیب فلزی (اکسید ، نیترید ، کاربید) و یک لایه ارگانوسیلیکون است. برای رسوب لایه های فلزات و ترکیبات آنها ، از سمپاش قوس مسطح با طول 2700 میلی متر استفاده می شود که در جیب در امتداد محفظه تشکیل فوقانی قرار می گیرد. لایه سیلیکون SiOx در تخلیه RF 20-40 kHz ، 400-1000v اعمال می شود که بین درام با محصولات و آنتن واقع در مرکز اتاق روشن می شود. پانل های پوشیده شده در دو لایه بر روی سیارات اطراف محیط درام قرار می گیرند. پس از اتمام چرخش کامل درام ، هر سیاره بیش از 180 درجه می چرخد. - پانل های قرار داده شده در این سیاره مبادله می شوند ، در نتیجه اطمینان حاصل می شود که تمام پانل ها پوشش داده شده اند. سیستم خلاء شامل 4 پمپ nvdm 400 و یک واحد قبل از خلاء بر اساس پمپ های EN1200 و E1M275 ، ادواردز است. این نصب می تواند در حالت های دستی و اتوماتیک کار کند. سیستم کنترل بر اساس یک کنترل کننده و یک کامپیوتر با پارامترهای خروجی به مانیتور است.

یک مجموعه پوشش مغناطیسی چند منظوره خودکار متشکل از دو اتاق. اتاق بزرگ افقی ، به شکل مستطیل ، از فولاد ضد زنگ با سطوح داخلی الکتروپولیش شده ساخته شده است. دیوارهای مسکن دارای دنده های سفت کننده هستند. درب های فولادی ضد زنگ مستطیل با سطوح داخلی الکتروپولیش شده برای بارگیری محصولات در محفظه ، سرویس دهی به دستگاه های آزمایش شده و نظارت بر روند آزمایش از طریق مشاهده پنجره ها استفاده می شود. اتاق بزرگ سه مگنترون مسطح ، یک منبع یون گسترده و همچنین سه مگنترون گرد و یک منبع یون گرد را در خود جای داده است. این دوربین همچنین دارای یک ماژول جابجایی است که حرکت خطی را با سرعت خاصی فراهم می کند و در هر نقطه از دوربین تنظیم شده توسط اپراتور متوقف می شود. ماژول شامل یک واگن ، راهنما ، ورودی و یک سیستم انتقال حرکت است. یک صفحه حرارتی به کالسکه متصل می شود تا دمای نمونه های پوشش داده شده حفظ شود. اتاق کوچک جوش داده شده ، عمودی ، نوع کلاه ، ساخته شده از فولاد ضد زنگ است. بلند کردن هود توسط یک آسانسور الکترومکانیکی انجام می شود. اتاق کوچک چهار مگنترون گرد و یک منبع یونی دارد. سیستم خلاء برای هر دو اتاق یکسان است و بر روی یک پمپ کریوجنیک cti Cryogenics Cryo Torr 8 و یک پمپ پیش از خلاء مارپیچی Anest IWATA ISP-500C ساخته شده است. یک اتاق توزیع ویژه با مجموعه ای از دریچه ها برای تغییر پمپاژ بین اتاق ها استفاده می شود. این نصب می تواند در حالت های دستی و اتوماتیک کار کند.

استفاده از رنگ آمیزی و پوشش آینه بر روی ورق های شیشه ای با اندازه 1600x2400 میلی متر بر روی شیشه مسطح. محفظه از فولاد عمودی ساخته شده است. این دوربین دارای یک درب کشویی است که برای بارگیری محصولات و سرویس دستگاه های داخل دوربین استفاده می شود. سیستم خلاء بر اساس 4 پمپ انتشار NVDM400 و یک پمپ اسپول AVZ180 است. یک اواپراتور قوس استوانه ای اسکن برای پوشش با حرکت دو طرفه نقطه کاتد استفاده می شود. ورق های شیشه ای بر روی کاست های واقع در دستگاه گیرنده نصب شده اند. دستگاه دریافت کننده به محفظه خلاء متصل شده و کاست ها به داخل محفظه خلاء نورد می شوند. یک سیستم کنترل نوری برای کنترل فرآیند استفاده می شود. سیستم کنترل بر اساس یک کنترل کننده و یک کامپیوتر است. این نصب می تواند در حالت های دستی و اتوماتیک کار کند.