Модели N2 лазеров
Азотные лазеры серии АИЛ являются представителями газоразрядных лазеров, генерирующих вынужденное излучение на электронно-колебательных переходах молекулы азота в ультрафиолетовой области спектра, с основными полосами l=337,1 нм, l=357,7 нм, l=315,9 нм.
Вследствие неблагоприятного соотношения вероятностей радиационного распада рабочих уровней молекулы азота инверсию, т.е. генерацию на
рассматриваемых проходах можно получить только в нестационарном (импульсном) режиме на фронте импульса возбуждения. Таким образом, азотные
лазеры, является лазером на самоограниченных переходах.
Азотный лазер ЛГИ-511 превосходно зарекомендовал себя в установках микроэлектроники. Короткая длина волны позволяет сфокусировать излучение в
пятно малых размеров и обрабатывать элементы на уровне долей микрометров, к тому же максимум чувствительности многих типов фоторезиста,
применяемых в микроэлектронике, лежит в этой области.
Параметры АИЛ-0.5 АИЛ-3 ЛГИ-511
Длина волны излучения, мкм 0.337 0.337 0.337
Энергия импульса излучения, мкДж 2.5 30 240
Средняя мощность излучения, мВт 0.5 3 240
Размер пучка излучения на уровне 0.1,
мм (не более)
1.5 2 5
Спектральный состав излучения ТЕМоо ТЕМоо TEMmn
Частота повторения импульсов, Гц 1 -200 1 -100 1-1000
Длительность импульса на уровне 0.5,
не
5 5 6-8
Габариты, мм, не более 200x130x70 350x325x150 1140x525x345
Масса, кг, не более 3 10 105
Питание, В 24 или 220 220 220
Потребляемая мощность, Вт, не более 20 50 1500
Охлаждение воздушное
конвекционное
воздушное
конвекционное
водяное, расход воды
1.5 - 2 л/мин
Температура эксплуатации, °С 0...+40 0...+40 0...+40
Гарантийная наработка, ч 500 500 500 .
Произведено в: Рязань