Поиск

Однокамерная установка периодического действия на основе камеры Ø1600 мм. с системой резистивного термического осаждения (20 резистивных испарителей, номинальный ток блока 800-1000 А) и системой плазмохимического осаждения кремнийорганического слоя (13,56 мГц, 1000 Вт). Изделия закрепляются на специальных приспособлениях на барабане, с системой планетарного вращения. Установка комплектуется 2 барабанами с откатными тележками. Последовательно, производится обработка в плазме тлеющего разряда, нанесение отражающего алюминиевого слоя, нанесение защитного кремнийорганического слоя в плазме ВЧ разряда. Откатная тележка для барабана снабжена электроприводом. В комплект установки входят два комплекта барабана с тележкой отката. Высоковакуумная часть состоит из четырех диффузионных паромасляных агрегатов АВДМ-400. Для предварительной - форвакуумной откачки используется два насоса АВЗ-125 и насос ДВН 500. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.

Производить откачку парогазовых смесей только при открытом газобалластном устройстве. Насос вакуумный пластинчато-роторный НВР-4,5Д изготавливается в климатическом исполнении УХЛ 4 по ГОСТ 15150-69, но для эксплуатации при температуре окружающего воздуха и окачиваемой среды от 283 К до 308 К (от +100С до +350С), соответствует требованиям технических условий ТУ 3648-006-00218526-2002, разработан и изготавливается с учётом требований ГОСТ Р 52615-2006. Требования к качеству электроэнергии по ГОСТ 13109-97.

Рабочее состояние диффузионного насоса НД-500 зависит от температуры рабочей жидкости в кипятильнике насоса. При первоначальной заливке рекомендуется заливать максимальный объем рабочей жидкости. Рабочая жидкость - масло вакуумное «VACMA OIL 500» ТУ 19.20.29-061-00218526-2019. Oбщee количество рабочей жидкости в диффузионном насосе НД-500 максимум 5,5л, минимум 4л. Смотровое окно для визуального контроля рабочей жидкости имеет метки максимального и минимального его количества. При нормальном режиме эксплуатации насоса уровень рабочей жидкости практически не меняется.Температура рабочей жидкости при работе насоса на предельном остаточном давлении составляет около (240...255) 0С. Работу нагревателей в диффузионном насосе НД-500 рекомендуется контролировать с помощью одного датчика температуры. Датчик температуры необходимо устанавливать в специальное гнездо радиатора над нагревателем. В том случае, когда происходит потеря рабочей жидкости и увеличение температуры радиаторов до 3200С для диффузионного насоса НД-500 датчик температуры должен дать команду на автоматическое отключение нагревателей. Последующее включение нагревателей насоса не должно быть автоматическим и должно производиться только после охлаждения системы. Вода на входе в системы охлаждения корпуса и маслоотражателя должна подаваться с давлением от 0,3 MПa (3 кгс/см2) до 0,5 MПa (5 кгс/см2) и температурой от плюс 4 °С до плюс 25 °С. Рекомендуемый расход охлаждающей воды на корпус 500 л/ч, на маслоотражатель 50 л/ч и регулируется по температуре воды на выходе, которая не должна превышать плюс 40 °С. Слив воды должен быть свободным (с разрывом струи). Требуемая быстрота действия форвакуумных насосов при давлении 26 Па ( 0,2 мм рт.ст ) в выходном сечении диффузионного насоса НД-500 должна быть не менее 42 л/с Для снижения потерь рабочей жидкости диффузионного насоса НД-500 при давлениях (1·10-1- 1) Па [(7,5·10-4- 7,5·10-3) мм рт.ст.] рекомендуется установить на выходном фланце дополнительную проточную водяную ловушку ЛП-500.

Этот одноступенчатый мембранный насос может одновременно работать как вакуумный насос и как компрессор. Все основные части, контактирующие с откачиваемой средой, изготовлены из алюминия и пластмассы, а мембраны и клапана бензомаслостойкие что позволяет применять их в широком круге приложений для некоррозионных газов.

Интегрированная бесфланцевая ловушка ЛИ-500 устанавливается внутри диффузионного насоса вместо штатного маслоотражателя, без увеличения габаритных размеров диффузионного насоса. Ловушка ЛИ-500 выполняет функцию маслооотражателя, ставится вместо стандартного маслоотражателя в насосы, имеет дополнительное количество охлаждаемых экранов для улавливания паров обратного потока масла (больше чем у ловушки МУ), перекрывает всю площадь входного высоковакумного фланца.

Невыполнение этого требования может привести к недопустимой перегрузке двигателя и разрушению рабочих органов насоса. Водокольцевой вакуумный насос 3ВВН2-50(Н) не предназначен для использования на пожаровзрывоопасных производствах. Насос вакуумный водокольцевой 3ВВН2-50(Н) изготавливается в климатическом исполнении УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150-69, соответствует требованиям технических условий ТУ 3648-053-00218526-2013, разработан и изготавливается с учётом требований ГОСТ Р 52615-2006.

Проточная водяная ловушка ЛП-630 устанавливается на входном фланце диффузионного насоса и предназначена для снижения потока паров рабочей жидкости в откачиваемый объем путем конденсации их на охлажденных элементах вымораживающего устройства.