Поиск

Работа диффузионного насоса НВДМ-160 основана на захвате и переносе откачиваемого газа струей пара, истекающей из щелевых зазоров сопел паропровода в сторону выходного фланца. Маслоотражатель диффузионного насоса НВДМ-160 представляет собой фланец с проходящей через него трубкой охлаждения, напаянной на колпак, расположенный в центре фланца. Нагреватель диффузионного насоса НВДМ-160 закрытого типа представляет собой трубчатые электронагреватели, закрепленные в корпусе нагревателя. Во время работы насоса необходимо следить за расходом и температурой охлаждающей воды, уровнем рабочей жидкости и ее температурой. Замена или доливка рабочей жидкости зависит от режима работы насоса (входного давления, продолжительности откачки и др.) и состава откачиваемой среды. Поэтому время, через которое заменяется или доливается рабочая жидкость, может быть от 100 до 1000 и более часов. Большой расход рабочей жидкости наблюдается при работе насоса в диапазоне входных давлений от 6,6×10-2 до 13,3 Па (от 5×10-4 до 1×10-1 мм рт.ст.). Вода на входе в системы охлаждения корпуса и маслоотражателя должна подаваться с давлением не более 0,5 МПа (5 кгс/cм2) и температурой от плюс 40С до плюс 250С. Рекомендуемый расход охлаждающей воды 60+10 л/ч и регулируется по температуре воды на выходе, которая не должна превышать плюс 400С. Слив воды должен быть свободным (с разрывом струи). Не допускаются: работа насоса без водяного охлаждения, превышение наибольшего выпускного давления 33,3 Па (0,25 мм рт.ст.). Уровень рабочей жидкости в процессе эксплуатации, при котором обеспечиваются параметры насоса НВДМ-160, должен соответствовать min 10мм, max 17мм. Объём заливаемой рабочей жидкости 0,3л

Пленка фототехническая ФТ-41П предназначена для изготовления фотошаблонов в производстве изделий микроэлектроники и печатных плат контактным и проекционным способом, а также для штриховых и растровых работ в полиграфии. Упаковка Для упаковки пленки ФТ-41П применяются светозащитные и влагонепроницаемые материалы, инертные к фотографическим слоям. Размеры 30х40 см, 150 листов в коробке; 50х60 см, 100 листов в коробке.

Для обеспечения соединения компонентов вакуумных систем, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума используются соединения стандарта ConFlat (CF).

Размеры Ду 10,16,20,25,32,40,50.

В установке наносится комбинированное покрытие, которое состоит из слоя металла, слоя соединения этого металла (оксид, нитрид, карбид) и кремнийорганического слоя. Для осаждения слоев металлов и их соединений используется планарный дуговой распылитель, длиной 2700 мм, который размещен в кармане вдоль верхней образующей камеры. Нанесение кремнийорганического слоя SiOx производится в ВЧ разряде 20-40 кГц, 400-1000В, который зажигается между барабаном с изделиями и антенной, расположенной в центре камеры. Покрываемые панели размещаются на планетах по периметру барабана, в два слоя. При завершении полного оборота барабана, каждая планета переворачивается на 180 град. – панели, размещенные на планете, меняются местами, тем самым обеспечивается нанесение покрытия на все панели. Вакуумная система состоит из 4 насосов НВДМ 400 и форвакуумного агрегата на основе насосов ЕН1200 и Е1М275, Edwards. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.