ООО «ЭПОС-Инжиниринг»

Изготавливаются из тонких листов тугоплавких металлов (тантал, молибден, вольфрам и др.) и имеют специальные углубления, в которых размещается испаряемый материал. Нагрев осуществляется прямым протеканием тока. Применяются для испарения в вакууме материалов, плохо удерживающихся на проволочных испарителях. Особенности Испаритель крепится на электрических вводах специально-разработанными кронштейнами, позволяющими менять расположение и угол лодочки для получения необходимого распределения. Крепление испарителя позволяет быстро без специальных приспособлений заменить лодочку. Преимущество техническая простота, удобство контроля и регулирования режимов работы испарителя и возможность получения покрытий различного химического состава. Комплектация • испаритель– лодочка; • пневматическая заслонка (опция); • регулируемые держатели для лодочки(опция); • изолированные токовводы; • система питания. Лодочки-испарители и компоненты: токовводы, система питания, пневматическая заслонка в различной конфигурации можно заказать отдельно!

Зонд Ленгмюра предназначен для локальной диагностики плазмы. Измеряется величина тока на электрод, помещенный в плазму, в зависимости от величины приложенного пилообразного напряжения, то есть определяется зондовая вольтамперная характеристика (ВАХ). ВАХ позволяет определить локальные, в области нахождения электрода, параметры невозмущенной плазмы. При помощи встроенного математического аппарата вычисляется плотность плазмы и оценивается ее температура на основе измеренной ВАХ. Если в плазму вводятся два малых одинаковых электрода на близком расстоянии, и напряжение подается между ними, зонд Ленгмюра работает в режиме двойного зонда. Такой режим установлен по умолчанию, он позволяет диагностировать параметры высокочастотной или нестационарной плазмы, практически не возмущая её, т.к. электроды полностью гальванически изолированы от разрядной камеры. В режиме одиночного зонда пилообразное напряжение подается на электрод, который введен в плазму, относительно опорного электрода, которым может быть металлическая стенка разрядной камеры. Комплектация: – Система питания и измерения зонда Ленгмюра – Датчик на вакуумном фланце; – Соединительный кабель; – Шкалы для контроля величин перемещения; – Программное обеспечение для удаленного управления блоком, отображения ВАХ и записи измеренных данных. Технические характеристики. Система питания и измерения: Конструктив корпуса: стоечный, 19″ Максимальная амплитуда генерируемого сигнала, В: 150 Диапазон регулирования длительности генерируемого сигнала, мс.: 0,1 – 8 Диапазон регулирования частоты генерируемого сигнала, Гц: 1 – 100 Генерирует одиночные или периодические импульсы пилообразного напряжения с заданной амплитудой, длительностью и частотой; Возможность синхронизации от внешнего источника, циклического или ручного запуска. Протокол удаленного управления: TCP/IP Допускается работа устройства без компьютера: ВАХ регистрируется осциллографом или другим регистрирующим прибором с встроенных гальванически развязанных выходов на задней панели блока. Управление: – цифровые индикаторы амплитуды, длительности, частоты на передней панели; – выбор амплитуды, длительности, частоты как по интерфейсу, так и на передней панели; – выбор способа запуска как по интерфейсу, так и с передней панели; – выбор и отображение диапазонов напряжения и тока как по интерфейсу, так и с передней панели. Зонд Материал электродов: вольфрам Материал изолятора: корунд или кварц. Манипулятор: – с вакуумным вводом перемещения (до 1100 мм) и вращения с дифференциальной откачкой; – с сильфонным вакуумным вводом для высокого вакуума; – а также исполнение без манипулятора – одноэлектродный или многоэлектродный.