Электрический Зонд Ленгмюра

Зонд Ленгмюра предназначен для локальной диагностики плазмы.

Измеряется величина тока на электрод, помещенный в плазму, в зависимости от величины приложенного пилообразного напряжения, то есть определяется зондовая вольтамперная характеристика (ВАХ). ВАХ позволяет определить локальные, в области нахождения электрода, параметры невозмущенной плазмы. При помощи встроенного математического аппарата вычисляется плотность плазмы и оценивается ее температура на основе измеренной ВАХ.

Если в плазму вводятся два малых одинаковых электрода на близком расстоянии, и напряжение подается между ними, зонд Ленгмюра работает в режиме двойного зонда. Такой режим установлен по умолчанию, он позволяет диагностировать параметры высокочастотной или нестационарной плазмы, практически не возмущая её, т.к. электроды полностью гальванически изолированы от разрядной камеры.

В режиме одиночного зонда пилообразное напряжение подается на электрод, который введен в плазму, относительно опорного электрода, которым может быть металлическая стенка разрядной камеры.

Комплектация:
– Система питания и измерения зонда Ленгмюра
– Датчик на вакуумном фланце;
– Соединительный кабель;
– Шкалы для контроля величин перемещения;
– Программное обеспечение для удаленного управления блоком, отображения ВАХ и записи измеренных данных.

Технические характеристики.

Система питания и измерения:
Конструктив корпуса: стоечный, 19″
Максимальная амплитуда генерируемого сигнала, В: 150
Диапазон регулирования длительности генерируемого сигнала, мс.: 0,1 – 8
Диапазон регулирования частоты генерируемого сигнала, Гц: 1 – 100

Генерирует одиночные или периодические импульсы пилообразного напряжения с заданной амплитудой, длительностью и частотой;
Возможность синхронизации от внешнего источника, циклического или ручного запуска.
Протокол удаленного управления: TCP/IP

Допускается работа устройства без компьютера: ВАХ регистрируется осциллографом или другим регистрирующим прибором с встроенных гальванически развязанных выходов на задней панели блока.

Управление:
– цифровые индикаторы амплитуды, длительности, частоты на передней панели;
– выбор амплитуды, длительности, частоты как по интерфейсу, так и на передней панели;
– выбор способа запуска как по интерфейсу, так и с передней панели;
– выбор и отображение диапазонов напряжения и тока как по интерфейсу, так и с передней панели.

Зонд
Материал электродов: вольфрам
Материал изолятора: корунд или кварц.

Манипулятор:
– с вакуумным вводом перемещения (до 1100 мм) и вращения с дифференциальной откачкой;
– с сильфонным вакуумным вводом для высокого вакуума;
– а также исполнение без манипулятора – одноэлектродный или многоэлектродный.