Инфраспек

Приставки предназначены для контроля параметров полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм в режиме пропускания или отражения. Параметры пластин контролируются высокочувствительным бесконтактным методом в заданных оператором точках.

Многоходовая газовая кювета КГ40 предназначена для определения примесей в газах с порогом < 0,1 ppm. Длина оптического пути 3,12-40,56 м, шаг изменения 3,12 м. Материал окон: KBr с влагозащитным покрытием или CaF2. Объем кюветы 19 л.

Применяется для измерения очень тонких покрытий, имеющих толщину в нанометровом диапазоне, и для исследования мономолекулярных слоёв.

Для установки кварцевой кюветы типа СФ в спектрометр ФСМ используется держатель ДК 10-10, имеющий стандартную присоединительную планку размером 50х75 мм, с помощью которой он вставляется в подставку для кювет ПК50-75 инфракрасного фурье-спектрометра ФСМ.

Пресс гидравлический ручной ПГР400 предназначен для создания усилия, необходимого для приготовления в пресс-форме образцов в виде таблеток.

Тестер для контроля параметров полупроводниковых пластин ФСМ 1201П позволяет в соответствии с заданной оператором программой проводить автоматическое измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния диаметром 76, 100, 125, 150 и 200 мм, размещаемых на измерительном столе. Время стандартного измерения в одной точке не более 20 с. Основные контролируемые параметры: концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах (5×1015–2×1018)±5×1015 см-3 (SEMI MF1188); концентрация углерода замещения (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах: (1016–5×1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391); радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951); толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах (0,5–10,0)±0,1 мкм, (10–200)±1% мкм (SEMI MF95); толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах (0,1–10,0)±1% мкм; концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах (1–10)±0,2 % вес.

Кювета предназначена для определения примесей в газах с порогом < 1%. Проточный режим или заполнение газом после вакуумирования. Корпус из не ржавеющей стали, два сильфонных вентиля. Длина оптического пути — 100 мм. Окна Ø 40 мм, материал KBr с влагозащитным покрытием или Ca F2.

Кварцевые кюветы предназначены для исследования жидких образцов, имеют фиксированную длину оптического пути. Используются, в частности, для определения массовой концентрации нефтепродуктов в воде и масла в жидком аммиаке по ИК-спектру поглощения (область контроля — 2925 см-1). Кюветы типа КФК изготавливаются из оптического кварцевого стекла марки КВ. Длина оптического пути 1, 3, 5, 10, 20, 30, 40, 50 мм.

Приставка предназначена для измерения спектров поглощения образцов в ближней инфракрасной области спектра в диапазоне 4 000 — 12 500 см-1 совместно с ИК фурье-спектрометром ФСМ 1211. Используя ближнюю ИК-область, можно проводить идентификацию и количественный анализ фармацевтических препаратов, продукции химической, полимерной, текстильной, пищевой, сельскохозяйственной и других отраслей промышленности. Метод БИК-анализа позволяет исследовать порошки, измельченные и волокнистые материалы и т.п.

Кювета КР1 предназначена для исследования жидкостей, помещенных между двумя окнами в виде тонкого слоя, толщина которого определяется толщиной латунной прокладки, выбранной из стандартного комплекта. Образцы могут быть проанализированы в чистом виде или разбавляются соответствующим растворителем. Комплект латунных прокладок: 0,1; 0,2; 0,3; 0,5; 0,8. Материал окон: KBr, CaF2, ZnSe.

Предназначена для установки в универсальный ИК фурье-спектрометр ФСМ для проведения анализа бензинов, включающего: определение концентрации бензола по ГОСТ Р 51930 (ASTM D4053, EN 238); определение концентрации оксигенатов по ГОСТ Р 52256 (ASTM D 5845).