Aperon

专为搅拌碱/酸溶液而设计。 搅拌器 TVRM.067241.002 的特点： 产品重量：20.6 千克（搅拌器），8.5 千克（控制装置）； 产品尺寸（长×宽×高）：1299.5×Ø185 毫米（搅拌器），362×139×299 毫米（控制装置）； 产品设计：立式，置于反应釜盖内； 法兰座直径为 120 毫米； 最大扭矩：不小于 10 N*m； 最大轴转速： 400 rpm； 最大超压：0.6 兆帕； 最高反应器温度：80˚C； 反应介质：酸碱； 产品与反应器的密封类型：法兰上的橡胶密封环； 阀杆从法兰伸出的长度：900 毫米； 阀杆直径：25 毫米； 叶轮类型符合 ATK 24.201.17-90：可拆卸，07 型，直径 280 毫米； 与反应器介质接触的产品主要部件的材料 - 12Х18Н10Т。 电机类型：伺服电机； 电机控制装置（启动/停止、速度和加速度调节）； 电源电压 220 V AC，50 Hz； 最大功率 800 W 产品防护等级（GOST IEC 60034-5）：IP64（搅拌器），IP20（控制单元）； 产品运行的外部环境：非腐蚀性、非爆炸性，导电粉尘含量不超过 10 mg/m3。 可根据客户要求生产其他型号的搅拌器。

该产品用于在反应器内温度较高的真空装置中传输技术单元的旋转，同时保持活动接头的密封性。该产品是由磁流体密封和冷却装置组成的复合圆柱形结构。 输入轴和磁极环之间的间隙由磁场保持的磁性流体提供连接的真空密封性。冷却装置为水冷式。水密性由两个唇形密封件（35×55×10 HMS5 RG）提供。该产品的设计允许对冷却装置进行维护，并在唇形密封圈磨损时进行更换。通过两个 G1/4" 接头将水连接到旋转进水口 AP 09.100.00。 旋转输入轴真空侧的法兰采用 CF16 标准。轴上有一个中心孔，用于拉动轴上的电缆，为位于腔室（反应釜）内部空间的负载供电。 产品重量为 4.1 千克 产品尺寸 Ø100*284 毫米 从大气一侧看，产品轴的直径为 25 毫米 真空部分的产品轴直径 34 mm 真空部分轴法兰标准 CF16 轴转速：最高 180 rpm。 产品保持的极限真空：最高 10-5 Pa 氦气流量：最大 10-11 m3Pa/s

AP 11.000.00-xx 型密封件设计用于单晶蓝宝石生长系统。 密封轴设计为 KF25 法兰连接。 密封外壳有两种连接方式： - AP 11.000.00 连接法兰为 KF40； - AP 11.000.00-01 螺纹连接 M39*1.5。 特点 -工作温度最高可达 80oC； -腔体中的残余压力为 10-6 Pa； -轴转速：不超过 100 rpm； -轴向载荷：不超过 2 kN。 根据人工晶体生长真空设备的设计特点，磁流体密封还可以有其他型号（与客户商定）。

磁流体法兰密封件 AP 09.200.00 用于在真空设备中传递技术单元的旋转，并保持活动连接的密封性。MLU 有一个法兰，可通过密封环固定在真空工艺设备腔室（反应器）的抛光表面上。 MZhU AP 09.200.00 的轴和磁极环之间的间隙由磁场保持的磁性流体提供活动连接的密封性。 MZhU 的特点 -重量 1.9 千克 -尺寸 Ø114*134 毫米 -轴直径 20 毫米 -轴旋转频率：最高 300 rpm -工作温度范围：0 至 +50 ˚C -极限真空 10-5 Pa -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 真空输入轴带有键槽。

设计用作真空系统旋转台的一部分，用于产品上金属膜的电弧溅射。在溅射过程中，产品会受到高温加热，这就需要从旋转台上去除热量。为此，在 MZhU AP 10.000.00 中安装了一个冷却轴。 MZhU 的安装方式为法兰安装。材料为不锈钢。 磁流体密封的特点： 产品重量 2.6 千克 产品尺寸 Ø110*83 mm 产品轴内径 30 毫米 轴旋转频率 300 rpm 工作温度范围 0 至 +60 ˚C 产品保持的极限真空 10-5 Pa 氦气流量不超过 10-12m3Pa/s。 密封介质：稀薄空气、非腐蚀性气体

设计用于将旋转从电机传送到真空溅射系统的行星转盘。由于在溅射过程中，带有基片支架的转盘会被加热到很高的温度，因此旋转输入外壳是水冷的，介质分离的方法是磁流体密封。 带有磁流体密封的冷却旋转输入装置的特点： - 旋转频率 5 rpm； - 磁流体密封区域的温度为 120 0C； - 轴上的径向载荷高达 1000N； - 通过磁流体密封的氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s； - 真空室中的残余压力不低于 10-5 Pa。 - 真空室中的工艺气体：氮气、氩气、氧气、氢气。

磁流体密封 AP 03.000.00 是 Kurt J. Lesker（美国）公司的磁流体密封 KLFDMTM06M12 的国内类似产品，设计用于将旋转传递到真空介质。 LLW 的主体上有一个螺纹柄，通过这个螺纹柄可以将产品通过一个孔连接到真空装置上。MZhU 的固定是通过装置高真空部分侧面的螺母（包含在套件中）进行的。通过安装在 MLC 端部凹槽中的 O 形环，确保磁流体密封件安装的密封性。 磁流体密封提供 -反应腔内的持续压力不低于 10-6 Pa。 -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 -转速可达 20000 rpm。

其设计目的是在真空电弧镀膜过程中旋转真空室中的产品。 为了消除溅射过程中产生的热负荷传递，驱动装置采用了轴冷却系统。 从结构上看，旋转驱动装置是一个整体，包括非标准磁流体密封、冷却系统、41 型 IG-80WGM 减速电机，电源电压为 24V，传动比为 1/210。齿轮减速机由 BLSD-20 装置控制。为了精确定位轴的位置，驱动装置配备了 BS5-V2M 光电传感器。 磁流体密封提供了高真空度，延长了传动装置的使用寿命。 主要特点 -真空室的极限压力为 1*10-6Pa； -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s； -用于固定平台的轴直径为 25mm。

专为在真空设备和具有临界温度负荷的气候室中运行而设计。旋转输入设计为冷却磁流体密封。MZHU 的外壳由双层壁制成，允许冷却剂（水）在产品中循环，从而保持密封内部允许的温度平衡。 磁流体冷却旋转输入的特点： -反应腔内的持续压力不低于 10-6 Pa。 -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 -输入操作温度模式：-70 +150 0C。 -轴旋转频率，最高 2000 rpm。

同轴双轴旋转输入（同轴）。 专为客户的运输系统设计，可将旋转运动从驱动器传递到真空室装载机，从而确保机械手在将硅片从气闸运输到工艺模块时的径向和直线运动。适用于集群式工厂。 MJU 的特点如下 -中心轴直径（大气/真空）： 12/15 毫米； -径向轴直径（大气压/真空）：48/34 毫米 48/34 毫米； -过程和气闸模块中的压力极限： 1*10-6Pa； -中心轴和径向轴的旋转角速度：20 r/sec； -氦气流量不超过 10-12 立方米/秒。

磁力混合器（磁力搅拌器）设计用作化学反应器的一部分，用于混合盐酸浓度高达 25% 的工作液。 搅拌器的设计基于磁耦合原理--通过磁场传递旋转，并使用不锈钢制成的金属膜作为介质隔离器，完全避免了反应器和外部两种介质的相互渗透。 特点 最大传输扭矩 10 n*m； 电机功率 0.55 kW，耐化学腐蚀型； 旋转频率 1500 rpm； 电源电压 220 伏； 反应器工作容积 150 升； 磁力搅拌器的位置 - 垂直； 工作液最高温度 + 45 0C； 搅拌轴为金属，涂有 PVC 涂层； 搅拌器叶片（叶轮）材料为聚丙烯。 磁力搅拌器和叶片的设计可 "根据客户的任务 "进行更改。

用于旋转磁控溅射装置真空室中的挡板。 驱动装置是一个整体，包括磁性流体密封（MFL）、步进电机 FL57ST76-1506A、精密齿轮箱 EL060 1/50 FM 和弹性离合器 SJCA-40C-RD 16*16。 电机和齿轮箱的串联可确保襟翼位置的精度达到 2.16 分。 使用 SJCA 驱动器可确保产品寿命长（长达 10 年），无需维护，真空度高（高达 1*10-6Pa），流量低（氦气不超过 10-12 m3Pa/s）。 安装风门的轴直径为 14 毫米。