Бессеточный ионный источник БИИ-15отр

Напольные установки имеют следующие параметры: тип плазмы - низкочастотную или высокочастотную; частота генератора - 40 кГц / 13,56 МГц; мощность генератора - 50 - 1000 кВт; материал камеры - кварцевое стекло, нержавеющая сталь, алюминий; объем камеры - 5 - 100 л; форму камеры - цилиндрическая/ прямоугольная; количество газов - от 1 до 3 шт; подача газов - цифровой регулятор газов; масса - 200-250 кг; питание - 380 В, 3 фаза.

Настольные установки имеют следующие параметры: тип плазмы - низкочастотную или высокочастотную; частота генератора - 40 кГц / 13,56 МГц; мощность генератора - 50 - 100 кВт; материал камеры - кварцевое стекло, нержавеющая сталь, алюминий; объем камеры - 2 - 24 л; форму камеры - цилиндрическая/ прямоугольная; количество газов - от 1 до 3 шт; подача газов - цифровой регулятор газов; масса - 40-50 кг; питание - 220 В, 1 фаза.

БИИ-10отр создан МГТУ им. Н.Э. Баумана в рамках Федерального проекта «Развитие отечественного приборостроения гражданского назначения для научных исследований». БИИ-10отр – это бессеточный ионный источник с расходящимся пучком, предназначенный для использования в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. Источник снабжён контуром водяного охлаждения и способен работать практически на любом газе при мощности разряда до 3,0 кВт с током разряда до 10 А и напряжением до 300 В. Благодаря применению конструктивной схемы с отражателем (end-Hall) БИИ-10отр характеризуется повышенными токовыми и энергетическими параметрами ионного пучка. Ионный источник поставляется с двумя вариантами катода-нейтрализатора (нить накала и «плазменный мост») и специализированной системой питания и управления.

БИИ-5СО создан МГТУ им. Н.Э. Баумана в рамках Федерального проекта «Развитие отечественного приборостроения гражданского назначения для научных исследований». БИИ-5СО – это бессеточный ионный источник с расходящимся пучком, предназначенный для использования в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. Источник снабжён контуром водяного охлаждения и способен работать практически на любом газе при мощности разряда до 1,5 кВт с током разряда до 5 А и напряжением до 300 В. Благодаря применению конструктивной схемы с анодным потенциалом задней стенки разрядной камеры БИИ-5СО прост в обслуживании и характеризуется сниженной эрозией рабочих поверхностей. Ионный источник поставляется с двумя вариантами катода-нейтрализатора (нить накала и «плазменный мост») и специализированной системой питания и управления.

БИИ-5БО создан МГТУ им. Н.Э. Баумана в рамках Федерального проекта «Развитие отечественного приборостроения гражданского назначения для научных исследований». БИИ-5БО – это бессеточный ионный источник с расходящимся пучком, предназначенный для использования в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. Источник не имеет контура охлаждения и способен работать практически на любом газе при мощности разряда до 0,4 кВт с током разряда до 5 А и напряжением до 300 В. Благодаря применению конструктивной схемы с отражателем (end-Hall) БИИ-5БО характеризуется повышенными токовыми и энергетическими параметрами ионного пучка. Ионный источник поставляется с двумя вариантами катода-нейтрализатора (нить накала и «плазменный мост») и специализированной системой питания и управления.