Вернуться к результатам поиска

Рентгеновский дифрактометр ДСО-2Г (DSO-2H) для уточнения ориентации кристаллов кремния

Вернуться к результатам поиска
Рентгеновский дифрактометр ДСО-2Г (DSO-2H) для уточнения ориентации кристаллов кремния
Рентгеновский дифрактометр ДСО-2Г (рис.1) предназначен для автоматического уточнения ориентации монокристаллов кремния относительно поверхности кристалла, для полуавтоматического уточнения разориентации геометрической и кристаллографической осей, а также для ручного определения и автоматического уточнения ориентации базового среза. Метод измерения основан на анализе дифракционных отражений, получаемых при вращении маломощного источника рентгеновского излучения около анализируемой поверхности неподвижного монокристалла. При этом пространственное положение анализируемой поверхности определяется с помощью лазерного датчика расстояния.