Генератор импульсных напряжений EG-350

Комплекс имеет четыре рабочих камеры, объединенных шлюзовой системой и транспортными связями в линию вакуумного напыления.

Установка предназначена для нанесения сверхтвердых покрытий различных металлов и их соединений, а также алмазоподобных пленок на основе аморфного углерода и может быть использована для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, изделий микромеханики, а также для формирования биофункционального покрытия на изделия медицины.

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки.

Установка Оратория 5М обеспечивает: • безмасляную (сухую) откачку на базе форвакуумного и криогенного, или турбомолекулярного насосов; • ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин; • работу двух магнетронов в диапазоне мощности от 2 до 6 кВт.; • работу радиочастотного плазменного генератора РПГ-250; • исключение «человеческого фактора» при проведении техпроцесса нанесения покрытий и минимизация возможности получения брака; • повторяемость характеристик покрытий из загрузки в загрузку; • корректировку, при необходимости, параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»); • возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно; • протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий; • непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций; • диагностику и регистрацию параметров функционирования основных систем оборудования, что позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности.

Установка «Оратория 29М» обеспечивает: • безмасляную вакуумную откачку на базе криогенного насоса; • автоматическую загрузку пластин на конвейер из кассеты и выгрузку пластин в кассету, счет загружаемых и выгружаемых пластин, световую и звуковую сигнализацию об окончании загрузки и выгрузки пластин; • ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин; • работу трех магнетронов в диапазоне мощности от 2 до 6 кВт.; • работу радиочастотного плазменного генератора РПГ-250; • исключение «человеческого фактора» при проведении техпроцесса нанесения покрытий и минимизация возможности получения брака; • повторяемость характеристик покрытий из загрузки в загрузку; • корректировку, при необходимости, параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»); • возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно; • протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий; • непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций; • диагностику и регистрацию параметров функционирования основных систем оборудования, что позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности.

Установка предназначена для нанесения износостойких упрочняющих и коррозийностойких покрытий на металлические детали ионно-плазменным методом. Установка используется для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов применяемых для металлообработки.

Установка оснащена автономной системой оборотного водоснабжения, а также модемом, позволяющим осуществлять дистанционное управление технологическим процессом, осуществлять настройку онлайн и передавать данные о неисправности в службу поддержки.

Установка предназначена для осаждения многослойных тонких пленок из металлов, сплавов и диэлектриков, методом термического испарения материала электроннолучевыми испарителями на кремниевые подложки диаметром до 100мм.

Установка комплектуется одним испарителем для нанесения резистивных сплавов, двумя испарителями для нанесения металлических слоев и источником ионной очистки.

Автоматический трехкружный рентгеновский дифрактометр ДСО-2-01 (рис.1) предназначен для автоматического измерения брэгговского угла заданного отражения от монокристалла. Дифрактометр позволяет проводить измерения на субмиллиметровых образцах произвольной формы, в частности, на кристаллических измерителях максимальной температуры (ИМТК).

Получение импульсов тока для применения в технологиях электроразрядного шпурового разрушения материалов и откола от монолита, устройства буронабивных свай, декольматации скважин и т.п. Энергия импульса: до 126 кДж; Частота: до 1 импульса в минуту; Выходное напряжение: до 15 кВ; Режим работы: периодический.

SCSD-4 (Single Channel Scintillation Detector) - оптимальное средство для измерения потока рентгеновских квантов в дифракционных, спектральных, абсорбционных и других экспериментах под управлением IBM PC AT совместимого компьютера.

Установка комплектуется одним резистивным и двумя электронными испарителями с кольцевым катодом, источником ионной очистки.

Предназначена для нанесения сверхтвердых покрытий различных металлов и их соединений, а также алмазоподобных пленок на основе аморфного углерода и может быть использована для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, изделий микромеханики, а также для формирования биофункционального покрытия на изделия медицины.

Предназначен для измерения угла среза монокристаллов, в частности, сапфира с любой из ориентаций, С(0001), А(11-20), R(01-12) или М(01-10) в диапазоне разориентаций ± 5.0 градусов с погрешностью 15 угл. секунд.

Приставка ПДП-1 с пятью степенями свободы к рентгеновскому дифрактометру ДРОН-3(4, 6, УМ1) предназначена для автоматического картирования монокристаллических пластин и эпитаксиальных структур по дифракционным характеристикам двухкристальных кривых качания. Приставка ПДП-1 включает в себя модернизацию гониометра ГУР-8 или ГУР-9 (два шаговых двигателя, два угловых датчика и новый редуктор), новую стойку рентгеновской трубки, новую стойку коллиматора (монохроматора), оригинальный сцинтилляционный детектор на новом кронштейне, специализированный компактный блок управления и оригинальное программное обеспечение.