تم تصميم مسبار لانجموير لتشخيص البلازما المحلية.
يتم قياس قيمة التيار لكل قطب كهربائي يوضع في البلازما ، اعتمادا على قيمة جهد سن المنشار المطبق ، أي يتم تحديد خاصية جهد المسبار (خصائص فولت امبير).خصائص فولت امبير تجعل الفراغ من الممكن تحديد المعلمات المحلية للبلازما غير المضطربة في منطقة موقع القطب. باستخدام الجهاز الرياضي المدمج ، يتم حساب كثافة البلازما وتقدير درجة حرارتها بناء على مقاس خصائص فولت أمبير
إذا تم إدخال قطبين صغيرين متطابقين في البلازما من مسافة قريبة ، وتم تطبيق الجهد بينهما ، فإن مسبار لانجموير يعمل في وضع مسبار مزدوج. يتم تعيين هذا الوضع افتراضيا ، فهو يسمح لك بتشخيص معلمات البلازما عالية التردد أو غير الثابتة ، عمليا دون إزعاجها ، لأن الأقطاب الكهربائية معزولة تماما كلفانيا عن غرفة التفريغ.
في وضع المسبار الفردي ، يتم تطبيق جهد سن المنشار على القطب ، الذي يتم حقنه في البلازما ، بالنسبة إلى القطب المرجعي ، والذي قد يكون الجدار المعدني لغرفة التفريغ.
المعدات:
- لانغموير التحقيق السلطة ونظام القياس
- فراغ شفة الاستشعار;
- كابل توصيل;
- موازين للتحكم في قيم الحركة;
- برنامج للتحكم عن بعد للوحدة ، وعرض خصائص فولت امبير وتسجيل البيانات المقاسة.
المواصفات الفنية.
امدادات الطاقة ونظام القياس:
تصميم القضية: رف ، 19"
السعة القصوى للإشارة المتولدة ، في: 150
نطاق التحكم في مدة الإشارة المولدة ، مللي ثانية: 0.1-8
نطاق التحكم في التردد للإشارة المتولدة ، هرتز: 1 – 100
يولد نبضات جهد سن المنشار المفردة أو الدورية بسعة ومدة وتردد معينين;
القدرة على المزامنة من مصدر خارجي ، بدء دوري أو يدوي.
بروتوكول التحكم عن بعد: TCP/IP
يسمح بتشغيل الجهاز بدون جهاز كمبيوتر: يتم تسجيل خصائص فولت امبير بواسطة راسم الذبذبات أو جهاز تسجيل آخر من المخرجات المدمجة المعزولة كلفانيا على اللوحة الخلفية للوحدة.
الضوابط:
- المؤشرات الرقمية للسعة والمدة والتردد على اللوحة الأمامية;
- اختيار السعة والمدة والتردد على الواجهة وعلى اللوحة الأمامية;
- اختيار طريقة الإطلاق عبر الواجهة ومن اللوحة الأمامية;
- اختيار وعرض نطاقات الجهد والتيار عبر الواجهة ومن اللوحة الأمامية.
التحقيق
القطب المواد: التنغستن
عازل المواد: اكسيد الالمونيوم أو الكوارتز.
مناور:
- مع إدخال الفراغ للإزاحة (حتى 1100 مم) والدوران مع الضخ التفاضلي;
- مع منفاخ فراغ مدخل لفراغ عالية;
- وكذلك الإصدار دون مناور-قطب واحد أو متعدد القطب.