مصنع دفعة وحيد الغرفة 1600-دس واط

تركيب دفعة من غرفة واحدة يعتمد على كاميرا بحجم 1600 مم. مع نظام الترسيب الحراري المقاوم (20 مبخرا مقاوما ، التيار المقنن للوحدة 800-1000 أ) ونظام الترسيب الكيميائي للبلازما لطبقة السيليكون العضوي (13.56 ميجاهرتز ، 1000 واط). يتم تثبيت المنتجات على أجهزة خاصة على الأسطوانة ، مع نظام دوران كوكبي. وقد تم تجهيز التثبيت مع 2 الطبول مع عربات انزلاق. بالتتابع ، تتم معالجة بلازما تفريغ التوهج ، ويتم تطبيق طبقة الألومنيوم العاكسة ، ويتم تطبيق طبقة السيليكون العضوي الواقية في بلازما تفريغ الترددات اللاسلكية. وقد تم تجهيز عربة المتداول للأسطوانة مع محرك كهربائي. تشتمل مجموعة التثبيت على مجموعتين من البراميل مع عربة التراجع. يتكون الجزء عالي الفراغ من أربع وحدات زيت بخار نشرAVDM-400. وتستخدم اثنين من المضخات AVZ - 125 ومضخة DVN 500 لضخ ما قبل فراغ. يمكن أن يعمل التثبيت في أوضاع يدوية وتلقائية. يعتمد نظام التحكم على وحدة تحكم وجهاز كمبيوتر مع إخراج المعلمات إلى الشاشة.

مجمع طلاء مغناطيسي آلي متعدد الوظائف يتكون من غرفتين. الحجرة الأفقية الكبيرة ، مستطيلة الشكل ، مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع أسطح داخلية مصقولة بالكهرباء. جدران السكن لها أضلاع تقوية. تستخدم الأبواب المستطيلة المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ ذات الأسطح الداخلية المصقولة بالكهرباء لتحميل المنتجات إلى الغرفة ، وخدمة الأجهزة المختبرة ومراقبة عملية الاختبار من خلال نوافذ العرض. تحتوي الغرفة الكبيرة على ثلاثة مغنطرونات مستوية ، ومصدر أيون ممتد ، بالإضافة إلى ثلاثة مغنطرونات مستديرة ومصدر أيون دائري. تحتوي الكاميرا أيضا على وحدة إزاحة توفر حركة خطية بسرعة معينة وتتوقف عند أي نقطة من الكاميرا التي يحددها المشغل. تتكون الوحدة من عربة وأدلة ومدخلات ونظام نقل الحركة. يتم توصيل لوحة حرارية بالعربة للحفاظ على درجة حرارة العينات المطلية. الغرفة الصغيرة ملحومة ، عمودية ، من نوع الغطاء ، مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ. يتم رفع غطاء المحرك بواسطة مصعد كهروميكانيكي. تحتوي الغرفة الصغيرة على أربعة مغنطرونات مستديرة ومصدر أيون واحد. نظام الفراغ هو نفسه لكلا الغرفتين وهو مبني على مضخة مبردة CTI Cryogenics Cryo Torr 8 8 ومضخة لولبية قبل التفريغ Anest Iwarta ISP-500 C. يتم استخدام غرفة توزيع خاصة مع مجموعة من الصمامات لتبديل الضخ بين الغرف. يمكن أن يعمل التثبيت في أوضاع يدوية وتلقائية.

غرفة التفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع باب واحد لتحميل المنتجات والصيانة ، مع وضع متماثل للمصادر التكنولوجية. يتم وضع المصادر التكنولوجية في جيوب متخصصة على جسم الكاميرا. وتستخدم اثنين من مصادر قوس مستو واثنين من ماغنيترونس مستو للطلاء ، وكلها بطول 1800 ملم. إمدادات الطاقة للمصادر التكنولوجية وإزاحة من نوع العاكس المصنعة من قبل إستو إل. لوضع المنتجات ، يتم استخدام نظام دوران كوكبي ، مع آلية معزولة كهربائيا من السكن. يتم استخدام نظام من خيوط التيار الكهربائي لتزويد الإزاحة للكواكب. يتم تبريد جسم الكاميرا وغطاء الكاميرا وشفاه التركيب للمصادر التكنولوجية ومدخلات الدوران بالماء. نظام فراغ على أساس مضخة نشر ND500 ، واثنين من مضخات NVR-90 ومضخة NVD-600. ويشمل التثبيت VMT 25 تعميم إمدادات المياه آلة التبريد. يمكن أن يعمل التثبيت في أوضاع يدوية وتلقائية. يعتمد نظام التحكم على وحدة تحكم وجهاز كمبيوتر مع إخراج المعلمات إلى الشاشة.

على الرغم من الاكتناز وسهولة التشغيل ويدعم جميع المنهجية الأساسية لمجهر القوة الذرية ومجهر المسح والنفق ، وبالتالي فإنه يمكن استخدامها لأي مجهر القوة الذرية الروتينية و مجهر المسح النفقي والتجارب في البحث العلمي. على سبيل المثال ، يتم عرض نتائج بعض التجارب في مختلف التطبيقات العلمية: التحقيق في الهياكل الذرية التحقيق في الهياكل النانوية المعدنية التحقيق في الهياكل المغناطيسية البحث عن كائنات البوليمر البحث عن الأشياء البيولوجية البحث في المواد النانوية الكربونية

تطبيق طلاء الصبغ والمرايا على صفائح زجاجية بحجم 1600 * 2400 مم على زجاج مسطح. الغرفة مصنوعة من الفولاذ العمودي. تحتوي الكاميرا على باب منزلق ، ويعمل على تحميل المنتجات وخدمة الأجهزة داخل الكاميرا. ويستند نظام فراغ على 4 NVMD 400 مضخات نشر و ABZ 180 مضخة التخزين المؤقت. يتم استخدام مبخر قوس أسطواني مسح للطلاء ، مع حركة ثنائية الاتجاه لبقعة الكاثود. يتم تثبيت الألواح الزجاجية على أشرطة موجودة على جهاز الاستقبال. يتم توصيل جهاز الاستقبال بغرفة التفريغ ويتم لف الكاسيت في غرفة التفريغ. يتم استخدام نظام التحكم البصري للتحكم في العملية. يعتمد نظام التحكم على وحدة تحكم وجهاز كمبيوتر. يمكن أن يعمل التثبيت في أوضاع يدوية وتلقائية.