بازگشت به نتایج جستجو

دستگاه یک دسته ای تک محفظه وات 1600 - DK

بازگشت به نتایج جستجو
دستگاه یک دسته ای تک محفظه وات 1600 - DK
شرکت:
فری وات
تولید:
 کازان
علاوه بر این:
یک پوشش ترکیبی در دستگاه اعمال می شود که شامل یک لایه فلزی ، یک لایه از این ترکیب فلزی (اکسید ، نیترید ، کاربید) و یک لایه ارگانوسیلیکون است.
برای رسوب لایه های فلزات و ترکیبات آنها ، از سمپاش قوس مسطح با طول 2700 میلی متر استفاده می شود که در جیب در امتداد محفظه تشکیل فوقانی قرار می گیرد.
لایه سیلیکون SiOx در تخلیه RF 20-40 kHz ، 400-1000v اعمال می شود که بین درام با محصولات و آنتن واقع در مرکز اتاق روشن می شود.
پانل های پوشیده شده در دو لایه بر روی سیارات اطراف محیط درام قرار می گیرند. پس از اتمام چرخش کامل درام ، هر سیاره بیش از 180 درجه می چرخد. - پانل های قرار داده شده در این سیاره مبادله می شوند ، در نتیجه اطمینان حاصل می شود که تمام پانل ها پوشش داده شده اند.
سیستم خلاء شامل 4 پمپ nvdm 400 و یک واحد قبل از خلاء بر اساس پمپ های EN1200 و E1M275 ، ادواردز است.
این نصب می تواند در حالت های دستی و اتوماتیک کار کند. سیستم کنترل بر اساس یک کنترل کننده و یک کامپیوتر با پارامترهای خروجی به مانیتور است.