Поиск

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки. Установка обеспечивает: безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов. очистку поверхности изделий перед напылением с помощью ионного источника постоянного тока; нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки» контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля»; Основные технические характеристики: Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 40. Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350. Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60. Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. — 80

Предназначен для контроля положения юстировочного излучения относительно апертур оптических элементов в ближнем поле и фокальных диафрагм вакуумных пространственных фильтров в дальнем поле.

Ясс механический типа ЯМ служит для создания требуемых усилий при работах по установке и съему оборудования, спускаемого в лифт.

Данный прибор имеет те же технические характеристики, что и EDP-7000. Его главное достоинство – это наличие двух пунктов замера на одной базе. Он был разработан, чтобы устранить пропуски на измерительных стендах. Второе преимущество – цена прибора, поскольку один EDP-9000 стоит дешевле, чем два EDP-7000. Также EDP-9000 позволяет значительно выиграть во времени, когда нужно произвести много анализов.

LWIR - 8-12 мкм — наиболее распространенный тип тепловизоров. Работают в диапазоне обычных температур и находят широкое применение в системах наблюдения, медицинских и биометрических тепловизорах. Применяются для дистанционного обнаружения пожара, в спутниковом мониторинге профиля погоды, мониторинге загрязнения воздуха и картировании обезлесения.

Назначение: контроль нейтронных полей реакторных установок (РБМК). Технические характеристики: Параметры подвески совместно с КСКУЗ обеспечивают контроль в диапазоне от 10 ­ до 150% номинальной мощности реактора, а также измерение плотности нейтронного потока по высоте активной зоны реактора.

Технические характеристики Мощность, кВт 5,0/2,0 Номинальное напряжение, кВ 100 Размеры эффективного фокусного пятна, мм ширина/длина 0,1/0,02 Параметры накала (Max Uн, В; Max Iн, А) 1,9; 3,9 Геометрические размеры, мм Диам. колбы 210 Max, длина 55.

Технические характеристики Мощность, кВт 5,0 Номинальное напряжение, кВ 25 Размеры эффективного фокусного пятна, мм ширина/длина 0,2х1,0 Параметры накала (Max Uн, В; Max Iн, А) 4,5; 0,7 Геометрические размеры, мм Диам. колбы 97 Max, длина 20.

LWIR - 8-12 мкм — наиболее распространенный тип тепловизоров. Работают в диапазоне обычных температур и находят широкое применение в системах наблюдения, медицинских и биометрических тепловизорах. Применяются для дистанционного обнаружения пожара, в спутниковом мониторинге профиля погоды, мониторинге загрязнения воздуха и картировании обезлесения.

Вибропреобразователи ВТ-003 предназначены для преобразования мгновенного значения виброускорения объекта в ICP сигнал стандарта IEEP.

Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель МС-3 предназначен для определения параметров герметичности с использованием в качестве пробного газа 4He (3He, H2) вакуумного оборудования, допускающих откачку внутренней полости, либо заполненных пробным газом. Течеискатель является комбинированным и позволяет работать всеми способами масс-спектрометрического метода контроля герметичности(ГОСТ, ISO). Особенности течеискателя: • масс-спектрометрический анализатор со 180-градусным углом поворота; двухкатодная масс-спектрометрическая ячейка; • возможность переключения рабочего катода; • ресурс «квазихолодного» катода до 3000 часов; • «автокалибровка» по внешней и внутренней эталонной течи; • защита анализатора от избытка по гелию; • автокомпенсация фона; • тестирование узлов при включении и в процессе работы автоматически с индикацией на экране; • возможность ручной установки значений: тока эмиссии катода; ускоряющего напряжения (Ua); установка порога регистрации течи; установку текущего времени в часах и минутах; • возможность установки автоматической блокировки по давлению: в форвакуумной линии; в камере масс-спектрометрического анализатора; • быстрая смена объекта нажатием одной кнопки без остановки течеискателя; • звуковая, цифровая, световая индикация течи; • оn-line отображения потоков натекания в цифровом и графическом (диаграмма) виде; • возможность выбора единиц измерения; • мнемосхема со светодиодной индикацией; • возможность работы в ручном режиме.