Поиск

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки. Установка обеспечивает: безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов. очистку поверхности изделий перед напылением с помощью ионного источника постоянного тока; нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки» контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля»; Основные технические характеристики: Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 40. Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350. Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60. Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. — 80

Процесс позиционирования осуществляется и контролируется пользователем при помощи цифрового микроскопа. Запись ВАХ осуществляется при помощи внешнего источника-измерителя и управляется пользователем с помощью программного обеспечения, входящего в комплект ProbeStation 100. Зондовая станция ProbeStation 100 предназначена для лабораторных или мелкосерийных производственных электрических исследований. Полностью автоматизированный держатель образца для быстрого определения характеристик. Высокоточные измерения тока с полностью трехосными соединениями. Тестирование нескольких образцов в непрерывном режиме. До 4 полуавтоматических зондов. Цифровой микроскоп со светодиодной подсветкой. Внешний ЖК-дисплей для позиционирования датчиков. Программное обеспечение, совместимое с источником-измерителем Keithley. Позиционирование 2D-образцов с помощью трекбола. Программное обеспечение для автоматизации измерений. Автоматическое извлечение параметров полевого транзистора (подвижность, пороговое напряжение и т.д.). Компактная конструкция для установки в перчаточный бокс. Дополнительно к основным узлам (основание станции ProbeStation 100, полуавтоматизированный манипулятор – 2 шт, персональный компьютер) в стандартный комплект поставки ProbeStation 100 входят: комплект зондов, зонд для электрического соединения подложки, комплект электрических проводов, кабель питания, паспорт, руководство по эксплуатации, программное обеспечение. Исследуемый образец устанавливается на автоматизированном предметном столике. Перемещение предметного столика автоматизировано в двух осях, что позволяет осуществлять перемещение исследуемого образца при помощи ПК. Для позиционирования зондов на поверхности образца используется встроенная система видеонаблюдения, состоящая из цифровой камеры, оптического микроскопа и Led-подсветки. Позиционирование зондов осуществляется непосредственно при помощи полуавтоматизированных манипуляторов. ВНИМАНИЕ! В стандартную комплектацию зондовой станции ProbeStation 100 не входит источник-измеритель. Совместимые источники-измерители: Keithley Series 2600, Keithley Series 2600A, Keithley Series 2600B, Tonghui TH1992. Программное обеспечение ProbeStation поддерживает работу с указанными источниками-измерителями только по интерфейсу LAN. В стандартный комплект поставки ProbeStation 100 входит набор электрических проводов для электрического соединения c источником-измерителем через разъем типа BNC. Возможность подключения электрических проводов с использованием других разъемов уточняйте у производителя. Стоимость зондовой станции зависит от функционала, уточняйте у производителя.

Напольные установки имеют следующие параметры: тип плазмы - низкочастотную или высокочастотную; частота генератора - 40 кГц / 13,56 МГц; мощность генератора - 50 - 1000 кВт; материал камеры - кварцевое стекло, нержавеющая сталь, алюминий; объем камеры - 5 - 100 л; форму камеры - цилиндрическая/ прямоугольная; количество газов - от 1 до 3 шт; подача газов - цифровой регулятор газов; масса - 200-250 кг; питание - 380 В, 3 фаза.

Настольные установки имеют следующие параметры: тип плазмы - низкочастотную или высокочастотную; частота генератора - 40 кГц / 13,56 МГц; мощность генератора - 50 - 100 кВт; материал камеры - кварцевое стекло, нержавеющая сталь, алюминий; объем камеры - 2 - 24 л; форму камеры - цилиндрическая/ прямоугольная; количество газов - от 1 до 3 шт; подача газов - цифровой регулятор газов; масса - 40-50 кг; питание - 220 В, 1 фаза.