Установка комплектуется одним испарителем для нанесения резистивных сплавов, двумя испарителями для нанесения металлических слоев и источником ионной очистки.
Ловушка вакуумная конденсаторного типа ёмкостью 2 литра предназначена для конденсации паров неагрессивных газов на внутренних охлаждаемых поверхностях ловушки, с целью предотвращения попадания их в насос.