Лазеры и аппаратура

Лазерные машины серии МЛП1–Фемто предназначены для обработки тонкопленочных покрытий, выборочного удаления материалов с подложек, структурирования поверхностей, разделения кремниевых пластин на чипы, обработки микросхем, сверхмелкой маркировки. Установки МЛП1-Фемто осуществляют обработку материалов сверхкороткими лазерными импульсами. Для этого используется фемтосекундный лазер, который позволят передавать энергию в материал, удалять или изменять его структуру за период времени меньший, чем характерное время развития тепловых процессов.

Состав лазерной машины МЛ1-QCW-П: Лазерно-оптическая система Квазинепрерывный иттербиевый волоконный лазерный излучатель с диодной накачкой с блоками питания. Рабочая головка для резки, имеющая в своём составе узел ввода излучения с коллиматором, фокусирующий объектив (f=64, 100) с защитой и соплом для подачи сжатого воздуха. Система позиционирования Координатный ХУ стол для автоматизированных перемещений изделия в горизонтальной плоскости ХУ посредством и режущей головки (ось Z) посредством ШВП. Такая компоновка является оптимальной для процессов с небольшой или средней производительностью и обеспечивает точности порядка 30-40 мкм. Технологические блоки Пневмосистема обеспечивает автоматизированную подачу сжатого воздуха давлением до 10 атм, рабочих газов в зону обработки, включает в себя фильтры — регуляторы давления, электропневмоклапаны, управляемые от компьютера. Предметный стол в виде плиты с Т-образными пазами, оснастка для прошивки отверстий в подложках 60х48мм, закрепляемая на предметном столе. Оптический контроль обеспечивает телевизионная система (ТВ система), соосная с осью силового пучка, которая выводит изображение на отдельный монитор. ТВ-система снабжена устройством, позволяющим формировать метку-«перекрестье», совмещенную с положением центра лазерного пятна на обрабатываемой детали и управление координатами положения этой метки на экране монитора. Конструктивные особенности Силовой каркас выполнен в виде разборной конструкции на основе вертикальных стоек (стальных труб) связанных между собой горизонтальными платформами, расположенными на разных уровнях и образующих рабочую камеру. На нижней платформе размещается предметный стол. На верхней платформе — узлы оптической системы, привод перемещения фокусирующего объектива по вертикальной оси Z, поворотные зеркала. Шкаф для размещения электронных блоков выполнен в промышленном исполнении и имеет распашные двери или съёмные панели, обеспечивающие свободный доступ к блокам при их монтаже и настройке. Защитная камера содержит раздвижные двери и смотровые окна с защитой от лазерного излучения, внутреннее освещение и точечную подсветку зоны обработки, систему блокировок. На корпусе защитной камеры (снаружи и внутри) предусмотрены фланцы для подключения вытяжной вентиляции. Внутри рабочей камеры смонтирован подвод вытяжной вентиляции от фланца на корпусе защитной кабины до зоны обработки с возможностью регулировки по местоположению в зоне обработки. Пульт управления содержит монитор компьютера, полноразмерную клавиатуру, манипулятор «мышь», монитор ТВ-камеры и крепится на кронштейне, с возможностью регулировки по углу наклона и расстоянию от оператора, ТВ-камера оснащается фильтрами для защиты оптики от лазерного излучения. Комплект программного обеспечения Управление МЛ1-QCW осуществляется от ПК в программе FlexCNC. Подготовка файлов заданий должна осуществляться в программе Track Layer 2. Данное программное обеспечение используется на операции прошивки отверстий и скрайбирования подложек в типовом технологическом процессе. Программное обеспечение FlexCNC и САМ программа Track Layer 2 должны быть обновлены до последней версии и позволять контролировать все процессы работы машины, устанавливать технологические параметры, создавать программы обработки.

Машина для для прецизионной лазерной резки, скрайбирования, гравировки поликора, керамики, кремния, черных и цветных металлов. Оснащена волоконным квазинепрерывным лазером. Прецизионная лазерная резка, скрайбирование, гравировка излучением волоконного квазинепрерывного лазера. Обрабатываемые материалы: поликор, керамика, кремний, черные и цветные металлы (сталь, медь, латунь, алюминий). Толщина материала – до 1-2 мм.

Машина для лазерной резки, прошивки отверстий, скрайбирования полимеров, диэлектрических и прозрачных материалов. Оснащена газовым СО2-лазером. В установках МЛП1-2106 установлен СО2 лазер с рабочей длиной волны 10,6 мкм. Длина волны лазера и пространственно-временные характеристики излучения делают именно этот лазер наиболее подходящим инструментом для качественной обработки целого ряда материалов, в частности оптически прозрачных, кварца, керамики, поликора и других.