成分

EG5000是最新EG电子控制器。 设计用于控制所有型号的扫描探针显微镜和纳米定位设备。其主要的显著特点是： 使用功能强大的FPGA Cyclone V，使数据处理和控制信号输出更快。。 内置的PC与Linux操作系统，安装你统一系统的软件，避免安装和更新软件时的困难。

为了确保在高真空和超高真空领域运行的真空系统的组件的连接，使用ConFlat（CF）标准连接。

设计用于常规测量具有微米范围涂层的样品：识别涂层并确定其厚度。

根据客户要求开发，用于机械加工设备（磨削）的执行器。 设计用于在磨削过程中固定和移动工件。它有两个旋转轴和两个线性轴。 主要特点 -装置尺寸：440*470*216 毫米 -工件在垂直轴上的旋转角度为 +/- 180 °。 -工件在水平轴上的旋转角度 =/- 45 °。 -垂直轴驱动 - 带变速箱的步进电机 -水平轴驱动：蜗轮蜗杆减速电机 -工件尺寸：60*60*30 毫米 -工件固定方式：真空式 为了准确可靠地定位工件，每个电机驱动器都配有一个编码器（电机每转 360 脉冲，输出轴每转 21600 脉冲）。吸盘的真空通过适配器外壳中的通道提供。 线性导轨通过步进电机（未在组件上显示）在两个平面上提供最大 200 毫米的运动距离。线性运动和倾斜轴的极限位置由光学传感器检测。

专为用于自动和自动激光系统对准系统而设计。通过插入光阑和透镜来改变发射的空间结构。

双离轴导轨 1.25”。两个指南，每个指南都与 OAG-1 相同，将使选择主星变得更加容易。

离轴导轨1.25英寸，能够改变偏转镜与光轴的距离和刚性聚焦装置。安装主摄像头并对焦后，只需对指南进行一次对焦即可。仅在更换或重新安装主要设备后才需要进行后续聚焦。

可用选项 模式和参数的名称 技术要求 实际值 RF输入端的工作频率范围，GHz 4.0 - 8.0 ，分别。 LO外差的工作频率范围，GHz 4.0 - 8.0 ，分别。 IF输出的工作频率范围，MHz 10-50resp. 转换损耗，不超过，dB 10 8 外差的信号强度，不小于，dBm 13 13-19 抑制输入端的外差频率，不小于dB 30 40 输出端外差频率的抑制，不小于dB 30 30 VSWRF，不超过一次 2.5 2.5 VSWRL，不超过一次 2.0 2.0 输出电阻IF，欧姆 50resp. 输入压缩功率至少为1dB 11 11 镜像通道抑制，dB，不小于 25 25.

Aucrm型电压为0.4kv的自动电容器无功补偿装置，容量为5至1200kvar及以上，最大控制级数为14级，控制级数为2.5至300kvar。 AUCRM自动冷凝器单元配备了环保电容器，MCP的制造技术，现代设计。 干式电容器配有放电电阻，这是一种在过大压力下工作的熔断器。

主镜直径 - 360 mm 主镜相对孔径-F/3 次镜直径 - 140 mm 等效相对光圈 - F/8 等效焦距 - 2880 mm 焦平面偏移超出主镜顶部 - 307 mm 镜子之间的距离 - 702 mm 主镜厚度 - 45 mm 次镜厚度 - 20 mm 主镜中心孔直径为120mm 镜面材质：LK-7（低线膨胀温度系数光学玻璃） 根据协议，光学元件可以由 Sital 制造 光学精度：整个系统波前畸变1/4λ以下，均方根偏差（RMS）1/25λ以下，斯特列尔准则0.95以上 镜面涂层 Al + SiO2（石英）

专为监控对准光束相对于近场中光学元件的光圈和远场中真空空间滤波器的焦距光阑的位置而设计。

同轴双轴旋转输入（同轴）。 专为客户的运输系统设计，可将旋转运动从驱动器传递到真空室装载机，从而确保机械手在将硅片从气闸运输到工艺模块时的径向和直线运动。适用于集群式工厂。 MJU 的特点如下 -中心轴直径（大气/真空）： 12/15 毫米； -径向轴直径（大气压/真空）：48/34 毫米 48/34 毫米； -过程和气闸模块中的压力极限： 1*10-6Pa； -中心轴和径向轴的旋转角速度：20 r/sec； -氦气流量不超过 10-12 立方米/秒。