带磁流体密封的冷却型旋转驱动装置 AP 41.000.00

用于旋转磁控溅射装置真空室中的挡板。 驱动装置是一个整体，包括磁性流体密封（MFL）、步进电机 FL57ST76-1506A、精密齿轮箱 EL060 1/50 FM 和弹性离合器 SJCA-40C-RD 16*16。 电机和齿轮箱的串联可确保襟翼位置的精度达到 2.16 分。 使用 SJCA 驱动器可确保产品寿命长（长达 10 年），无需维护，真空度高（高达 1*10-6Pa），流量低（氦气不超过 10-12 m3Pa/s）。 安装风门的轴直径为 14 毫米。

其设计目的是在真空电弧镀膜过程中旋转真空室中的产品。 为了消除溅射过程中产生的热负荷传递，驱动装置采用了轴冷却系统。 从结构上看，旋转驱动装置是一个整体，包括非标准磁流体密封、冷却系统、41 型 IG-80WGM 减速电机，电源电压为 24V，传动比为 1/210。齿轮减速机由 BLSD-20 装置控制。为了精确定位轴的位置，驱动装置配备了 BS5-V2M 光电传感器。 磁流体密封提供了高真空度，延长了传动装置的使用寿命。 主要特点 -真空室的极限压力为 1*10-6Pa； -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s； -用于固定平台的轴直径为 25mm。

磁液旋转驱动器 AP 08.400.00 是根据客户的技术要求设计和制造的。它设计用于旋转技术设备真空室中的转盘。驱动旋转由 IG-80WGM-i117 无集电极电机减速器提供，由 BLSD-20 装置控制。 在驱动装置中使用磁流体密封可显著提高产品寿命，在工作室内提供高真空度，并将泄漏降至最低。 磁流体驱动装置的特点 -重量 3.0 千克 -驱动器尺寸 305*80*80 毫米 -控制装置尺寸 168*98*26 毫米 -驱动装置直径 45 毫米 -驱动轴直径 16 毫米 -电源电压恒定为 24 V -额定电流 3.3 A -轴速最高 21.3 转/分钟 -扭矩 125 公斤*厘米 -驱动装置保持的有限真空度为 1*10-5 Pa