磁性端封 AP 42.000.00

安装类型 - 盒式。安装在旋转输入端上。 密封件的型号范围（以需要密封的轴的直径为特征）： - APR-MHC10 用于直径为 10 毫米的轴 - APR-MHC20 用于直径 Ø20mm 的轴 - APR-MHC25 用于 Ø25mm 的轴 - APR-MHC30 用于直径 Ø30mm 的轴 - APR-MHC40 用于 Ø40mm 的轴 - APR-MHC50 用于 Ø50mm 的轴 - APR-MHC75 用于 Ø75mm 的轴 压力不低于 10-6 Pa； 氦气流量不超过 10-12 m3 Pa/s。 APR-MHC 密封件分别是磁流体密封件 KLFDMHC10、KLFDMHC20、KLFDMHC25、KLFDMHC30、KLFDMHC40、KLFDMHC50、KLFDMHC75 和 HTL-010-CN、HTL-020-CN、HTL-025-CN、HTL-030-CN、HTL-040-CN、HTL-050-CN、HTL-075 的国产类似产品。 整体和安装尺寸表见文件。 与传统的唇式密封件（压盖密封件）相比，磁流体密封件（MFL）具有更好的特性，因为密封元件的作用是由铁磁性液体来完成的。它们无需维护，使用寿命更长（长达 15 年），泄漏极小。它们适用于需要产生超高真空的条件。

同轴双轴旋转输入（同轴）。 专为客户的运输系统设计，可将旋转运动从驱动器传递到真空室装载机，从而确保机械手在将硅片从气闸运输到工艺模块时的径向和直线运动。适用于集群式工厂。 MJU 的特点如下 -中心轴直径（大气/真空）： 12/15 毫米； -径向轴直径（大气压/真空）：48/34 毫米 48/34 毫米； -过程和气闸模块中的压力极限： 1*10-6Pa； -中心轴和径向轴的旋转角速度：20 r/sec； -氦气流量不超过 10-12 立方米/秒。

AP 11.000.00-xx 型密封件设计用于单晶蓝宝石生长系统。 密封轴设计为 KF25 法兰连接。 密封外壳有两种连接方式： - AP 11.000.00 连接法兰为 KF40； - AP 11.000.00-01 螺纹连接 M39*1.5。 特点 -工作温度最高可达 80oC； -腔体中的残余压力为 10-6 Pa； -轴转速：不超过 100 rpm； -轴向载荷：不超过 2 kN。 根据人工晶体生长真空设备的设计特点，磁流体密封还可以有其他型号（与客户商定）。

磁流体密封 AP 03.000.00 是 Kurt J. Lesker（美国）公司的磁流体密封 KLFDMTM06M12 的国内类似产品，设计用于将旋转传递到真空介质。 LLW 的主体上有一个螺纹柄，通过这个螺纹柄可以将产品通过一个孔连接到真空装置上。MZhU 的固定是通过装置高真空部分侧面的螺母（包含在套件中）进行的。通过安装在 MLC 端部凹槽中的 O 形环，确保磁流体密封件安装的密封性。 磁流体密封提供 -反应腔内的持续压力不低于 10-6 Pa。 -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 -转速可达 20000 rpm。

我们生产与国外知名制造商类似的磁流体密封件（MFS），并根据客户的技术要求开发独创的旋转输入。我们的主要客户是电子工业真空工艺设备制造商。 磁流体密封（MFS，旋转压盖）是一种可移动的机械装置，其中的密封元件是由永久磁铁固定在凹槽系统中的磁流体，具有很高的密封性。由于液体存在于运动部件和固定部件之间的密封间隙中，因此摩擦极低，从而保证了旋转输入的可靠性。位于磁流体密封外壳内的轴承可承受来自轴的轴向和径向载荷。 磁流体密封的优点 - 无需维护和耗材； - 使用寿命长（至少 10 年）； - 抗旋转扭矩低（比传统压盖密封低 5 倍）； - 不产生磨损产品； - 密封性高。真空深度不低于 10-6 Pa。氦气泄漏量不超过 10-12 m3Pa/c（参考：压盖密封的氦气泄漏量为 10-8 m3Pa/c）； - 破裂时可自愈； - 抗辐射； - 细菌无菌。

磁流体法兰密封件 AP 09.200.00 用于在真空设备中传递技术单元的旋转，并保持活动连接的密封性。MLU 有一个法兰，可通过密封环固定在真空工艺设备腔室（反应器）的抛光表面上。 MZhU AP 09.200.00 的轴和磁极环之间的间隙由磁场保持的磁性流体提供活动连接的密封性。 MZhU 的特点 -重量 1.9 千克 -尺寸 Ø114*134 毫米 -轴直径 20 毫米 -轴旋转频率：最高 300 rpm -工作温度范围：0 至 +50 ˚C -极限真空 10-5 Pa -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 真空输入轴带有键槽。

磁流体密封进入磁控溅射装置的真空室。 它为装有溅射板的转盘提供旋转传输。 磁流体密封装置的设计考虑到了现有真空设备的设计特点，可替代唇式密封，从而减少进入工作腔的流量，延长密封装置的使用寿命。 特点 -水闸腔内的压力不超过 1*10-5 Pa； -从气闸室一侧看，IZHU 的轴直径为 10/17mm，槽直径为 11mm； -从 "大气 "一侧看，IZHU 轴的直径为 16mm； -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。