磁流体密封件

磁流体密封 AP 03.000.00 是 Kurt J. Lesker（美国）公司的磁流体密封 KLFDMTM06M12 的国内类似产品，设计用于将旋转传递到真空介质。 LLW 的主体上有一个螺纹柄，通过这个螺纹柄可以将产品通过一个孔连接到真空装置上。MZhU 的固定是通过装置高真空部分侧面的螺母（包含在套件中）进行的。通过安装在 MLC 端部凹槽中的 O 形环，确保磁流体密封件安装的密封性。 磁流体密封提供 -反应腔内的持续压力不低于 10-6 Pa。 -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 -转速可达 20000 rpm。

磁流体法兰密封件 AP 09.200.00 用于在真空设备中传递技术单元的旋转，并保持活动连接的密封性。MLU 有一个法兰，可通过密封环固定在真空工艺设备腔室（反应器）的抛光表面上。 MZhU AP 09.200.00 的轴和磁极环之间的间隙由磁场保持的磁性流体提供活动连接的密封性。 MZhU 的特点 -重量 1.9 千克 -尺寸 Ø114*134 毫米 -轴直径 20 毫米 -轴旋转频率：最高 300 rpm -工作温度范围：0 至 +50 ˚C -极限真空 10-5 Pa -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 真空输入轴带有键槽。

磁流体密封进入磁控溅射装置的真空室。 它为装有溅射板的转盘提供旋转传输。 磁流体密封装置的设计考虑到了现有真空设备的设计特点，可替代唇式密封，从而减少进入工作腔的流量，延长密封装置的使用寿命。 特点 -水闸腔内的压力不超过 1*10-5 Pa； -从气闸室一侧看，IZHU 的轴直径为 10/17mm，槽直径为 11mm； -从 "大气 "一侧看，IZHU 轴的直径为 16mm； -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。

安装类型 - 盒式。安装在旋转输入端上。 密封件的型号范围（以需要密封的轴的直径为特征）： - APR-MHC10 用于直径为 10 毫米的轴 - APR-MHC20 用于直径 Ø20mm 的轴 - APR-MHC25 用于 Ø25mm 的轴 - APR-MHC30 用于直径 Ø30mm 的轴 - APR-MHC40 用于 Ø40mm 的轴 - APR-MHC50 用于 Ø50mm 的轴 - APR-MHC75 用于 Ø75mm 的轴 压力不低于 10-6 Pa； 氦气流量不超过 10-12 m3 Pa/s。 APR-MHC 密封件分别是磁流体密封件 KLFDMHC10、KLFDMHC20、KLFDMHC25、KLFDMHC30、KLFDMHC40、KLFDMHC50、KLFDMHC75 和 HTL-010-CN、HTL-020-CN、HTL-025-CN、HTL-030-CN、HTL-040-CN、HTL-050-CN、HTL-075 的国产类似产品。 整体和安装尺寸表见文件。 与传统的唇式密封件（压盖密封件）相比，磁流体密封件（MFL）具有更好的特性，因为密封元件的作用是由铁磁性液体来完成的。它们无需维护，使用寿命更长（长达 15 年），泄漏极小。它们适用于需要产生超高真空的条件。

同轴双轴旋转输入（同轴）。 专为客户的运输系统设计，可将旋转运动从驱动器传递到真空室装载机，从而确保机械手在将硅片从气闸运输到工艺模块时的径向和直线运动。适用于集群式工厂。 MJU 的特点如下 -中心轴直径（大气/真空）： 12/15 毫米； -径向轴直径（大气压/真空）：48/34 毫米 48/34 毫米； -过程和气闸模块中的压力极限： 1*10-6Pa； -中心轴和径向轴的旋转角速度：20 r/sec； -氦气流量不超过 10-12 立方米/秒。

AP 11.000.00-xx 型密封件设计用于单晶蓝宝石生长系统。 密封轴设计为 KF25 法兰连接。 密封外壳有两种连接方式： - AP 11.000.00 连接法兰为 KF40； - AP 11.000.00-01 螺纹连接 M39*1.5。 特点 -工作温度最高可达 80oC； -腔体中的残余压力为 10-6 Pa； -轴转速：不超过 100 rpm； -轴向载荷：不超过 2 kN。 根据人工晶体生长真空设备的设计特点，磁流体密封还可以有其他型号（与客户商定）。

设计用作介质压力差分高速动态工作台组件的一部分。它包括一个安装在客户产品非磁性外壳中的抛光磁性静环和一个安装在轴上的带石墨插件的动环。 机械磁性密封 AP 42.000.00 的技术特点 - 最大转速 34000 rpm； - 通过机械密封的氦气流量不超过 1.8*10-8 m3Pa/s； - 密封介质为 "真空-大气"。 机械磁性密封的显著特点是微型化和耐高转速。机械密封两部分的物理压紧是通过静态密封环产生的磁场来实现的。磁场对其他结构元件的影响降到最低，消除了任何明显的杂散磁场。在距离磁性静环 13 毫米处测量时，耗散磁场的磁感应强度小于 0.3 mTl。磁性面密封件的作用是在一个方向上（从动环的位置一侧）控制压力。在相反方向（静环侧），密封件可承受最大 100 mmHg（0.13 atm）的超压。 磁性机械密封的典型工作温度范围为 -55°C 至 +230°C。 磁性密封件不仅可以通过压力来区分体积，还可用于保护旋转组件免受不利环境因素的影响。 机械磁性密封的应用领域 - 涡轮机的高速轴（轮轴）； - 航空、船舶和铁路设备的旋转装置； - 动态测试台； - 仪器仪表中的旋转元件。 我们接受根据客户规格开发和制造机械磁密封的订单。