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磁流体密封件 APR-SE-COAX 12/15-48/34

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磁流体密封件 APR-SE-COAX 12/15-48/34
公司:
Aperon
原产地:
莫斯科
用途:
同轴双轴旋转输入(同轴)。
专为客户的运输系统设计,可将旋转运动从驱动器传递到真空室装载机,从而确保机械手在将硅片从气闸运输到工艺模块时的径向和直线运动。适用于集群式工厂。

MJU 的特点如下

-中心轴直径(大气/真空): 12/15 毫米;
-径向轴直径(大气压/真空):48/34 毫米 48/34 毫米;
-过程和气闸模块中的压力极限: 1*10-6Pa;
-中心轴和径向轴的旋转角速度:20 r/sec;
-氦气流量不超过 10-12 立方米/秒。