磁流体密封 AP 11.000.00-xx

磁流体法兰密封件 AP 09.200.00 用于在真空设备中传递技术单元的旋转，并保持活动连接的密封性。MLU 有一个法兰，可通过密封环固定在真空工艺设备腔室（反应器）的抛光表面上。 MZhU AP 09.200.00 的轴和磁极环之间的间隙由磁场保持的磁性流体提供活动连接的密封性。 MZhU 的特点 -重量 1.9 千克 -尺寸 Ø114*134 毫米 -轴直径 20 毫米 -轴旋转频率：最高 300 rpm -工作温度范围：0 至 +50 ˚C -极限真空 10-5 Pa -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 真空输入轴带有键槽。

磁流体密封进入磁控溅射装置的真空室。 它为装有溅射板的转盘提供旋转传输。 磁流体密封装置的设计考虑到了现有真空设备的设计特点，可替代唇式密封，从而减少进入工作腔的流量，延长密封装置的使用寿命。 特点 -水闸腔内的压力不超过 1*10-5 Pa； -从气闸室一侧看，IZHU 的轴直径为 10/17mm，槽直径为 11mm； -从 "大气 "一侧看，IZHU 轴的直径为 16mm； -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。

设计用作介质压力差分高速动态工作台组件的一部分。它包括一个安装在客户产品非磁性外壳中的抛光磁性静环和一个安装在轴上的带石墨插件的动环。 机械磁性密封 AP 42.000.00 的技术特点 - 最大转速 34000 rpm； - 通过机械密封的氦气流量不超过 1.8*10-8 m3Pa/s； - 密封介质为 "真空-大气"。 机械磁性密封的显著特点是微型化和耐高转速。机械密封两部分的物理压紧是通过静态密封环产生的磁场来实现的。磁场对其他结构元件的影响降到最低，消除了任何明显的杂散磁场。在距离磁性静环 13 毫米处测量时，耗散磁场的磁感应强度小于 0.3 mTl。磁性面密封件的作用是在一个方向上（从动环的位置一侧）控制压力。在相反方向（静环侧），密封件可承受最大 100 mmHg（0.13 atm）的超压。 磁性机械密封的典型工作温度范围为 -55°C 至 +230°C。 磁性密封件不仅可以通过压力来区分体积，还可用于保护旋转组件免受不利环境因素的影响。 机械磁性密封的应用领域 - 涡轮机的高速轴（轮轴）； - 航空、船舶和铁路设备的旋转装置； - 动态测试台； - 仪器仪表中的旋转元件。 我们接受根据客户规格开发和制造机械磁密封的订单。

我们生产与国外知名制造商类似的磁流体密封件（MFS），并根据客户的技术要求开发独创的旋转输入。我们的主要客户是电子工业真空工艺设备制造商。 磁流体密封（MFS，旋转压盖）是一种可移动的机械装置，其中的密封元件是由永久磁铁固定在凹槽系统中的磁流体，具有很高的密封性。由于液体存在于运动部件和固定部件之间的密封间隙中，因此摩擦极低，从而保证了旋转输入的可靠性。位于磁流体密封外壳内的轴承可承受来自轴的轴向和径向载荷。 磁流体密封的优点 - 无需维护和耗材； - 使用寿命长（至少 10 年）； - 抗旋转扭矩低（比传统压盖密封低 5 倍）； - 不产生磨损产品； - 密封性高。真空深度不低于 10-6 Pa。氦气泄漏量不超过 10-12 m3Pa/c（参考：压盖密封的氦气泄漏量为 10-8 m3Pa/c）； - 破裂时可自愈； - 抗辐射； - 细菌无菌。

安装类型 - 盒式。安装在旋转输入端上。 密封件的型号范围（以需要密封的轴的直径为特征）： - APR-MHC10 用于直径为 10 毫米的轴 - APR-MHC20 用于直径 Ø20mm 的轴 - APR-MHC25 用于 Ø25mm 的轴 - APR-MHC30 用于直径 Ø30mm 的轴 - APR-MHC40 用于 Ø40mm 的轴 - APR-MHC50 用于 Ø50mm 的轴 - APR-MHC75 用于 Ø75mm 的轴 压力不低于 10-6 Pa； 氦气流量不超过 10-12 m3 Pa/s。 APR-MHC 密封件分别是磁流体密封件 KLFDMHC10、KLFDMHC20、KLFDMHC25、KLFDMHC30、KLFDMHC40、KLFDMHC50、KLFDMHC75 和 HTL-010-CN、HTL-020-CN、HTL-025-CN、HTL-030-CN、HTL-040-CN、HTL-050-CN、HTL-075 的国产类似产品。 整体和安装尺寸表见文件。 与传统的唇式密封件（压盖密封件）相比，磁流体密封件（MFL）具有更好的特性，因为密封元件的作用是由铁磁性液体来完成的。它们无需维护，使用寿命更长（长达 15 年），泄漏极小。它们适用于需要产生超高真空的条件。

磁流体密封 AP 03.000.00 是 Kurt J. Lesker（美国）公司的磁流体密封 KLFDMTM06M12 的国内类似产品，设计用于将旋转传递到真空介质。 LLW 的主体上有一个螺纹柄，通过这个螺纹柄可以将产品通过一个孔连接到真空装置上。MZhU 的固定是通过装置高真空部分侧面的螺母（包含在套件中）进行的。通过安装在 MLC 端部凹槽中的 O 形环，确保磁流体密封件安装的密封性。 磁流体密封提供 -反应腔内的持续压力不低于 10-6 Pa。 -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 -转速可达 20000 rpm。

同轴双轴旋转输入（同轴）。 专为客户的运输系统设计，可将旋转运动从驱动器传递到真空室装载机，从而确保机械手在将硅片从气闸运输到工艺模块时的径向和直线运动。适用于集群式工厂。 MJU 的特点如下 -中心轴直径（大气/真空）： 12/15 毫米； -径向轴直径（大气压/真空）：48/34 毫米 48/34 毫米； -过程和气闸模块中的压力极限： 1*10-6Pa； -中心轴和径向轴的旋转角速度：20 r/sec； -氦气流量不超过 10-12 立方米/秒。