Тип: угловой клапан для высокого вакуума с пневматическим управлением Н.3.
Рабочая среда: вакуум, газы неагрессивные по отношению к материалам клапана.
Присоединительный размер: KF25.
Откачка: допустима со стороны любого фланца.
Рабочее давление: от 0,1 МПа до 1×10 -6 Па.
Натекание: 1,3×10-8 Па*м3/с; внешние 1,3х10-11 Па*м3/с 14 л/с.
Проводимость: 14 л/с.
Присоединение: пилотный порт М5.
Материалы: корпус – алюминиевый сплав, сильфон – нерж. сталь, уплотнения – FKM.
Датчик: бесконтактный электромагнитный датчик (Геркон).