Привод вращения охлаждаемый APR-08-100

Привод вращения охлаждаемый с магнитожидкостным уплотнением АП 41.000.00 (конструкторская документация ТВРМ.305314.001) предназначен для вращения подложкодержателя установки напыления методом вакуумного термического испарения. Особенностью конструкции данного привода является полый вал, внутри которого циркулирует охлаждающая жидкость, таким образом теплоотвод осуществляется непосредственно от торца вала, расположенного в вакуумной части камеры. К торцу вала винтовым соединением крепится подложкодержатель. Реализованное решение позволяет осуществлять эффективный теплоотвод от подложкодержателя, тем самым предупреждая перегрев как самого напыляемого образца, так и вакуумного узла в целом. Герметичность узла вращения обеспечивается встроенным в конструкцию привода магнитожидкостным уплотнением. Характеристики привода вакуумного: Глубина вакуума не хуже 10-6 Па Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/c Частота вращения вала до 100 об/мин Температурный диапазон эксплуатации, 0С: от 5 до 150 Стандарт присоединительного фланца ISO160 Полные характеристики вакуумного охлаждаемого привода по запросу.

Осуществляет вращение заслонки в вакуумной камере установки магнетронного напыления. Привод выполнен как единый узел, включающий магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), шаговый двигатель FL57ST76-1506A, редуктор прецизионный EL060 1/50 FM и муфту упругую безлюфтовую SJCA-40C-RD 16*16. Тандем двигателя и редуктора обеспечивают положение заслонки с точностью до 2,16 минут. Применение в составе привода МЖУ позволяет обеспечить длительный ресурс изделия (до 10 лет) без необходимости обслуживания, высокую степень вакуума (до 1*10-6Па) и низкое натекание (по гелию не более 10-12 м3Па/с). Установочный диаметр вала для размещения заслонки 14мм.

Магнитожидкостный привод вращения АП 08.400.00 разработан и изготовлен в соответствии с техническими требованиями заказчика. Предназначен для вращения карусели в вакуумной камере технологического оборудования. Вращение привода обеспечивает бесколлекторный мотор-редуктор IG-80WGM-i117 под управлением блока BLSD-20. Применение в приводе магнитожидкостного уплотнения позволяет значительно увеличить ресурс Изделия, обеспечить высокую степень вакуума в рабочей камере и минимальное натекание. Характеристики магнитожидкостного привода: -масса 3,0 кг -габариты привода 305*80*80 мм -габариты блока управления 168*98*26 мм -посадочный диаметр привода 45 мм -диаметр вала привода 16 мм -напряжение питания постоянное 24 В -номинальный ток 3,3 А -частота вращения вала до 21,3 об/мин -крутящий момент 125 кг*см -предельный вакуум, удерживаемый приводом 1*10-5 Па -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с -герметизируемая среда: разреженный воздух, неагрессивные газы

Предназначен для ручного управления положением заслонки визуального наблюдения (открытие/закрытие заслонки окна) за процессом в реакторе. С конструктивной точки зрения представляет собой нестандартное магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), на валу которого размещена ручка управления вращением, а корпус выполнен с переходом во фланец стандарта KF16. Основные характеристики магнитожидкостного привода: -предельное давление в реакторе (вакуумной камере) 1*10-6Па; -диаметр вала для крепления заслонки М5; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.