Вакуумный ввод вращения АП 27.000.00

Разработан для применения в технологическом оборудовании электронной и химической промышленности. Предназначен для передачи вращения во внутрь вакуумных реакторов (камер) и реакторов с избыточным давлением до 1,1 атм с неагрессивными газами. Частота вращения вала – до 1500 об/мин, натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с, остаточное давление в реакторе не хуже 10-5 Па (избыточное давление – до 1,1*105 Па), рабочая температура до 80 0С, корпус и вал выполнены из нержавеющей стали, способ крепления привода/нагрузки к валу ввода вращения - шпоночное. Срок службы ввода вращения с магнитожидкостным уплотнением ТВРМ.305319.005 составляет 10 лет. '

Ввод вращения разработан по техническим требованиям заказчика для эксплуатации в составе вакуумного электронно-лучевого оборудования. Основные характеристики МЖУ: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-6 Па; -скорость вращения вала не более 300 об/мин; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с; -температура эксплуатации до 80о С. Герметизация вала ввода вращения осуществляется за счёт магнитожидкостного уплотнения, расположенного внутри корпуса ввода.

Изготовлен по техническим требованиям заказчика для применения в составе технологического испытательного стенда имитирующего условия космического вакуума. Ввод вращения имеет два контура магнитожидкостных уплотнений и выполнен с полым валом, что позволяет подавать технологический газ непосредственно в испытываемый образец, закрепленный на валу в условиях вакуума. Конструкция магнитожидкостных уплотнений ввода вращения разработана с учетом требований к высокой частоте вращения вала. Способ крепления ввода вращения к вакуумной камере - фланцевое. Подача технологического газа осуществляется через резьбовой штуцер в корпусе ввода. Характеристики ввода вращения АП 34.000.00: - рабочая частота вращения 6000 об/мин; - максимальная частота вращения (кратковременно, до 5 с) 16000 об/мин; - температура эксплуатации от +15°C до +30°C; - натекание по гелию не более 10-11 м3Па/c.

Разработан для применения в реакторах специального технологического оборудования (вакуумных установках) и предназначен для передачи вращения в активную зону реактора при сохранении высокой степени герметизации подвижного соединения. Ввод вращения выполнен под быстроразъемные соединения (со стороны корпуса KF40, со стороны вала KF25). Вал выполнен полым, с внутренним диаметром 25 мм, для вывода из высоковакуумного реактора электрических связей. Технические характеристики вакуумного ввода вращения: - температура эксплуатации до 800 С; - остаточное давление 1*10-8 Па; - избыточное давление до 0,1 МПа; - скорость вращения вала не более 60 об/мин. Возможны различные варианты исполнения ввода вращения под технические требования Заказчика.

Предназначен для эксплуатации в составе вакуумного оборудования и климатических камер с критическими температурными нагрузками. Ввод вращения по конструктивному исполнению является охлаждаемым магнитожидкостным уплотнением. Корпус МЖУ выполнен с двойными стенками, что позволяет осуществлять циркуляцию теплоносителя (воды) через изделие и тем самым поддерживать допустимый температурный баланс внутри уплотнения. Характеристики магнитожидкостного охлаждаемого ввода вращения: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. -температурный режим эксплуатации ввода: -70 +150 0С. -частота вращения вала, до 2000 об/мин.

Разработан для передачи вращения от двигателя на планетарную карусель вакуумной напылительной установки. Поскольку во время напыления карусель с подложкодержателями нагревается до значительных температур - корпус ввода вращения выполнен водоохлаждаемым, способ разграничения сред - магнитожидкостное уплотнение. Характеристики охлаждаемого ввода вращения с магнитожидкостным уплотнением: - частота вращения 5 об/мин; - температура в области МЖУ, 120 0С; - радиальная нагрузка на вал, до 1000Н; - натекание по гелию через магнитожидкостное уплотнение не более 10-12 м3Па/с; - остаточное давление в вакуумной камере, не хуже 10-5 Па. - технологические газы в камере: азот, аргон, кислород, водород.

Вакуумный ввод вращения разработан по техническим требованиям заказчика для установки напыления плёнок методом термического вакуумного испарения. Цель применения - вращение заслонки тигля (лодочки) в вакуумной камере. Корпус вакуумного ввода вращения выполнен под быстроразъёмное соединение KF50. Вал ввода имеет лыски для фиксации установочными винтами заслонки и ручки KIPP K0150.340082. Технические характеристики вакуумного ввода вращения: - температура эксплуатации до 800 С; - давление в камере не хуже 1*10-6 Па; - скорость вращения вала не более 40 об/мин.

Предназначен для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных при повышенных температурах в реакторе с сохранением герметичности подвижного соединения. Изделие представляет собой составную цилиндрическую конструкцию, объединяющую магнитожидкостное уплотнение и блок охлаждения. Вакуумная герметичность соединения обеспечивается магнитной жидкостью, удерживаемой магнитным полем в зазоре между валом и полюсными кольцами ввода. Охлаждение водяное. Герметичность по воде обеспечивается двумя манжетными уплотнениями (35×55×10 HMS5 RG). Конструкция изделия позволяет проводить техническое обслуживание блока охлаждения и осуществлять замену манжет по мере износа. Подключение воды к вводу вращения АП 09.100.00 осуществляется посредством двух фитингов G1/4”. Фланец вала ввода вращения со стороны вакуума выполнен в стандарте CF16. Вал имеет центральное отверстие предназначенное для протяжки кабеля питания нагрузки, расположенной на валу во внутреннем пространстве камеры (реактора). Масса изделия 4,1 кг Габариты изделия Ø100*284 мм Диаметр вала изделия со стороны атмосферы 25 мм Диаметр вала изделия в вакуумной части 34 мм Стандарт фланца вала вакуумной части CF16 Частота вращения вала: до 180 об/мин. Предельный вакуум, удерживаемый изделием: до 10-5 Па Натекание по гелию: не более 10-11 м3Па/с