Оборудование

Настольная установка магнетронного напыления с одним, двумя или тремя магнетронами применяется для напыления металлов, диэлектриков и полупроводников на подложки диаметром до 100 мм. Источник питания повышенной мощности обеспечивает стабильность системы, воспроизводимое и качественное покрытие. Технология косвенного контакта охлаждения с мишенью исключает риск попадания воды при смене мишени. Отсутствует уплотнение вода-вакуум. Особенности • Возможность нанесения Ag, Au и С для подготовки SEM образцов; • Полностью безмасляная откачка обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий; • Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий; • Диаметр нераспыляемой центральной части магнетрона минимизирован; • Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий; • Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами. Преимущество Вакуумная камера, выполненная из нержавеющей стали, оптимизированная для процесса напыления в малом объёме и обеспечивающая распыление сверху вниз. Широкий выбор магнетронов диаметром 1"(25,4 мм), 2"(50,8 мм) и 3" (76,2 мм) в DC и RF исполнении. Дополнительные опции позволяют сконфигурировать систему непосредственно для Ваших нужд.

Лабораторная PVD установка EPOS‐PVD‐E-Mag-400 имеет вакуумную камеру, оснащенную четырьмя фланцами для установки технологических источников напыления. Возможна установка термического испарителя-лодочки, DC и RF магнетронов, ионного источника очистки и ассистирования, электронно-лучевого испарителя. Установка оснащена вращающимся подложкодержателем с системой нагрева подложек и заслонкой. Особенности • Возможность изменения расстояния между подложкодержателем и источниками позволяет достигать требуемой равномерности напыления и состава пленок при заданных толщинах; • Обеспечение позиционирования подложек напротив источника с помощью шагового двигателя; • Индивидуальный нагрев подложек автоматически стабилизируется и рост температуры может быть запрограммирован до 650°С; • Возможность оснащения кварцевым датчиком измерения толщины пленок и термопарой с точностью до 1°С. • Прецизионная система газоподачи через кольцо в область напыления позволяет получать пленки высокой чистоты из оксидов металлов. Преимущество Широкий выбор технологических устройств и опции позволяют сконфигурировать систему непосредственно для Ваших нужд, а также возможность модернизации для дополнения и расширения производственных возможностей в будущем.

Печь EPOS-VACFURN-DESK-1300 c вертикально расположенной вакуумной камерой, с поднимающимся с помощью ручного привода колпаком камеры. Источник питания и управления расположен в непосредственной близости к рабочей камере. Данная конструкция обеспечивает достижение вакуума лучше 1,3·10-2 Па (в холодном состоянии). Печь оснащена рубашкой охлаждения, высокотемпературным нагревателем и предельно проста в эксплуатации. Опционально возможна установка регулятора расхода газов для проведения нагрева в атмосфере высокой чистоты различных инертных, восстановительных газов и их смесей. ОСОБЕННОСТИ • Конструкция и материалы нагревательных элементов и зоны нагрева позволяет нагревать изделия до 1250 °C кратковременно и 1200 °C длительно с термопарой типа К, и 1300 °C с термопарой типа N; • Прозрачное окно на колпаке камеры позволяет визуально контролировать процессы в рабочей зоне; • Полностью безмасляная откачка; • Конструкция кронштейна обеспечивает удобный подъем колпака и отвод его в сторону для удобства смены образцов, а также препятствует опрокидыванию камеры. • Предельные габаритные размеры обрабатываемых образцов 60х60х60; • Управление скоростью нагрева и охлаждения может осуществляться как в автоматическом (заданная программа), так и в ручном режиме с помощью ПИД-регулятора; • Скорость нагрева задается в диапазоне от 0,25 до 10 °С/мин; • Пошаговое ПИД-регулирование – 3 программы технолога по 5 шагов; • Элементы конструкции, расположенные в зонах вакуума и нагрева, обеспечивают низкий уровень газоотделения, малую тепловую инерцию. ПРЕИМУЩЕСТВА Печь позволяет проводить нагрев и охлаждение материалов, при низких градиентах и высокой точности контроля и поддержания температуры рабочей зоны при температурах на изделии до 1300°C. Компактная, вакуум-плотная конструкция печи гарантирует защиту от окисления поверхности и других нецелевых химических процессов при проведении технологических операций с обрабатываемыми материалами, чистый, безопасный, и эффективный процесс при соблюдении высоких требований эргономики на рабочем месте оператора. Возможность заказа печи с различной системой высоковакуумной откачки и без нее, а также дополнительная опция с установкой регулятора расхода газов, позволяют расширить возможности и сконфигурировать печь непосредственно для Ваших задач.

Изготавливаются из тонких листов тугоплавких металлов (тантал, молибден, вольфрам и др.) и имеют специальные углубления, в которых размещается испаряемый материал. Нагрев осуществляется прямым протеканием тока. Применяются для испарения в вакууме материалов, плохо удерживающихся на проволочных испарителях. Особенности Испаритель крепится на электрических вводах специально-разработанными кронштейнами, позволяющими менять расположение и угол лодочки для получения необходимого распределения. Крепление испарителя позволяет быстро без специальных приспособлений заменить лодочку. Преимущество техническая простота, удобство контроля и регулирования режимов работы испарителя и возможность получения покрытий различного химического состава. Комплектация • испаритель– лодочка; • пневматическая заслонка (опция); • регулируемые держатели для лодочки(опция); • изолированные токовводы; • система питания. Лодочки-испарители и компоненты: токовводы, система питания, пневматическая заслонка в различной конфигурации можно заказать отдельно!

Характеристики прибора аналогичны модели ГВЧ-12Д; отличие – в отсутствии реактора для удаления следов кислорода и производительности соответственно – 25л/час (416 мл/мин). Технические характеристики Чистота водорода в пересчете на сухой газ, % об 99,998 Концентрация водяных паров при 20 OС и 1атм, не более, ppm, 10 В режиме стабилизации выходного давления Диапазон задаваемого выходного давления водорода, ати, от 1,5 до 6,1 ати Стабильность выходного давления водорода, не хуже, ати, ±0,02 Максимальная производительность по водороду, приведенная к нормальным условиям, л/ч 25 Время установления рабочего режима, при заглушенном выходе, не более, мин 20 В режиме стабилизации производительности: Диапазон задаваемой производительности водорода, л/ч От 0 до 25 Максимально развиваемое давление в режиме производительности, ати 5,0 Объем заливаемой дистиллированной воды, л, 1,0 Расход дистиллированной воды, не более, л/час, 0,04 Потребление воды, г/л водорода, 2,4 Средний ресурс сменного картриджа деионизационного фильтра (при максимальной производительности и односменной работе) не менее, 0,5 года Средняяпотребляемая мощность: в стационарном режиме, не более, ВА, 200 максимальная (при запуске), не более, ВА, 250 Габаритные размеры генератора, (ширина x глубина x высота), не более, мм, 230х470х450 Масса генератора. не более, кг, 16 Рабочие условия: температура окружающего воздуха, °С, от +10 до +35 питание от однофазной сети переменного тока напряжением, В, 220 (+10 –15)% и частотой, Гц, 50 +1 Генератор по электробезопасности соответствует требованиям класса 1, тип Н по ГОСТ 12.2.025-76

Характеристики прибора аналогичны модели ГЧА-18Д-К. Отличие – производительность генератора 15 л/час. В генераторе также встроен безмасляный компрессор, обеспечивающий полную автономность прибора. Гарантия на прибор 18 месяцев, на встроенный компрессор – 12 месяцев со дня продажи. Технические характеристики Марка получаемого азота по ГОСТ 9293-74 особой чистоты, I сорт Объемная доля азота, не менее, % об. (включая примеси инертных газов: аргон, неон, гелий) 99,999 Объемная доля кислорода, не более, % об. (ppm) 0,0005 (5 ppm) Объемная доля водяных паров, не более, % об. (ppm) 0,0007 (7 ppm) Объемная доля водорода, не более, % об. (ppm) 0,0002 (2 ppm) Объемная доля суммы углеродсодержащих соединений в пересчете на метан, не более, % об. (ppm) (при концентрации метана в питающем воздухе не более 5 ppm)* 0,00001 (0,1 ppm) Максимальная производительность по азоту, не менее, л/час 15 (250 мл/мин) Номинальное выходное давление азота, ати 4 Время установления рабочего режима при односменной работе, не более, мин, * 45 Уровень шума, создаваемый компрессором, не более, дБ 45 Потребляемая мощность, не более, ВА 200 Габаритные размеры, (ширина x глубина x высота), не более, мм 230х470х510 Масса, не более, кг 23 Рабочие условия: Температура окружающего воздуха, °С от +10 до +35 Электрическое питание от однофазной сети переменного тока напряжением, В 220 ± 10% и частотой, Гц 50 ± 1 Средний полный срок службы, лет, не менее 6 Генератор по электробезопасности соответствует требованиям класса 1, тип Н по ГОСТ 12.2.025-76.

Предназначен для получения в лабораторных условиях азота высшей чистоты и нулевого воздуха. Гарантийный срок эксплуатации генератора - 18 месяцев со дня продажи предприятием-изготовителем. Технические характеристики Марка получаемого азота по ГОСТ 9293-74 особой чистоты, I сорт Объемная доля азота, не менее, % об. (включая примеси инертных газов — аргон, неон, гелий) 99,999 Объемная доля кислорода, не более, % об. (ppm) 0,0005 (5 ppm) Объемная доля водяных паров в азоте, не более, % об. (ppm) 0,0007 (7 ppm) Объемная доля водорода в азоте не обнаруживается Объемная доля суммы углеродсодержащих соединений в азоте в пересчете на метан, не более, % об. (ppm) 0,00001 (0,1 ppm) Максимальная производительность по азоту, не менее, л/час 21 (350 мл/мин) Номинальное выходное давление азота, ати, 4 Объемная доля водяных паров в вырабатываемом воздухе, не более, % об. (ppm) 0,0007 (7 ppm) Объемная доля суммы углеводородов в вырабатываемом воздухе в пересчете на метан, не более, % об. (ppm), (при концентрации метана в питающем воздухе не более 5 ppm)* 0,00001 (0,1 ppm) Максимальная производительность по воздуху, не менее, л/час 72 (1200 мл/мин) Номинальное выходное давление воздуха, не менее, ати, 3,5 Время установления рабочего режима при односменной работе, не более, мин, 45 Номинальное входное давление воздуха, ати, 6,0 Максимально допустимое входное давление воздуха, ати, 7 Минимальное входное давление воздуха, ати, не менее 5,5 Потребление сжатого воздуха, при номинальном входном давлении, не более, л/час, 480 (8 л/мин) Потребляемая мощность, не более, ВА, 150 Габаритные размеры, (ширина x глубина x высота), не более, мм, 230х525х510 Масса, не более, кг, 28 Рабочие условия: температура окружающего воздуха, °С, от +10 до +35 электрическое питание от однофазной сети переменного тока напряжением, В, 220 ± 10% и частотой, Гц, 50 ± 1 Средний полный срок службы, лет, не менее 6 Генератор по электробезопасности соответствует требованиям . класса 1, тип Н по ГОСТ 12.2.025-76

Генератор чистого азота (далее - генератор) предназначен для получения в лабораторных условиях азота высшей чистоты, используемого для питания аналитических приборов (хроматографов, включая оснащенные детектором электронного захвата, экспресс-анализаторов содержания водорода в металлах, измерителей концентрации органического углерода, испарителей пробы, и т.п.). Технические характеристики Марка получаемого азота по ГОСТ 9293-74 особой чистоты, I сорт Объемная доля азота, не менее, % об (включая примеси инертных газов — аргон, неон, гелий) 99,999 Объемная доля кислорода, не более, % об. 0,0005 (5 ppm) Объемная доля водяных паров, не более, % об. 0,0007 ( 7 ppm) Объемная доля суммы углеродсодержащих соединений в пересчете на метан, не более, % об. (ppm) * (при содержании метана в питающем воздухе не более 4 ppm) 0,0003 (3 ppm) Максимальная производительность по азоту, не менее, л/час 60 (1,0 л/мин) Номинальное выходное давление азота при открытом дросселе), ати, 4 Время установления рабочего режима при односменной работе, не более, мин, ** 45 Номинальное входное давление воздуха, ати, 6 Максимально допустимое входное давление воздуха, ати, 8 Минимальное входное давление воздуха, ати, 5,5 Потребление сжатого воздуха, при номинальном входном давлении и максимальном расходе, не более, л/час, 1800 (30 л/мин) Потребляемая мощность, не более, ВА, 100 Габаритные размеры, (ширина x глубина x высота), не более, мм, 220х540х670 Масса, не более, кг 32 Рабочие условия: температура окружающего воздуха, С°, от +10 до +35 Электрическое питание от однофазной сети переменного тока напряжением, В, 220±10% и частотой, Гц, 50±1 Средний полный срок службы, лет, не менее 6 Генератор по электробезопасности соответствует требованиям класса 1, тип Н по ГОСТ 12.2.025-76.

Генератор азота предназначен для создания инертной атмосферы, заполнения низконапорных резервуаров, "промывания" инертным газом пробирок и других применений, в которых требуется большой, по лабораторным меркам, расход азота при пониженных требованиях к его чистоте. Технические характеристики Объемная доля азота, не менее, % об (включая примеси инертных газов — аргон, неон, гелий) 99,0 Объемная доля кислорода, не более, % об. 1,0 Объемная доля водяных паров, не более, % об. 0,002 (20 ppm) Максимальная производительность по азоту: при входном давлении воздуха 7 ати, не менее, л/час, 1380 (23 л/мин) Время установления рабочего режима при односменной работе, не более, мин, 30 Минимальное входное давление воздуха, ати, 7 Максимально допустимое входное давление воздуха, ати, 8,5 Потребление сжатого воздуха, при номинальном входном давлении и максимальном расходе, не более, л/мин, 150 л/мин Потребляемая мощность, не более, ВА, 200 Габаритные размеры, (ширина x глубина x высота), не более, мм, 230х580х680 Масса, не более, кг 38 Рабочие условия: температура окружающего воздуха, С°, от +10 до +35 Электрическое питание от однофазной сети переменного тока напряжением, В, 220±10% и частотой, Гц, 50±1 Средний полный срок службы, лет, не менее 6 Генератор по электробезопасности соответствует требованиям класса 1, тип Н по ГОСТ 12.2.025-76.

Характеристики прибора аналогичны модели ГВЧ-12Д; отличие – в отсутствии реактора для удаления следов кислорода и производительности соответственно – 9/час (150 мл/мин). Опционально оснащается реактором для использования водорода в качестве газа-носителя. Технические характеристики Чистота водорода в пересчете на сухой газ, %об 99,998 Концентрация водяных паров при 20 OС и 1атм, не более, ppm, 5 В режиме стабилизации выходного давления Диапазон задаваемого выходного давления водорода, ати, от 1,5 до 6,1 ати Стабильность выходного давления водорода, не хуже, ати, ±0,02 Максимальная производительность по водороду, приведенная к нормальным условиям, л/ч 9 Время установления рабочего режима, при заглушенном выходе, не более, мин 15 В режиме стабилизации производительности: Диапазон задаваемой производительности водорода, л/ч От 0 до 9 Максимально развиваемое давление в режиме производительности, ати 5,0 Объем заливаемой дистиллированной воды, л, 1,0 Расход дистиллированной воды, не более, л/час, 0,015 Потребление воды, г/л водорода, 1,6 Средний ресурс сменного картриджа деионизационного фильтра (при максимальной производительности и односменной работе) не менее, 1 год Средняя потребляемая мощность: в стационарном режиме, не более, ВА, 80 максимальная (при запуске), не более, ВА, 100 Габаритные размеры генератора, (ширина x глубина x высота), не более, мм, 230х470х450 Масса генератора. не более, кг, 15 Рабочие условия: температура окружающего воздуха, °С, от +10 до +35 питание от однофазной сети переменного тока напряжением, В, 220 (+10 –15)% и частотой, Гц, 50 +1 Генератор по электробезопасности соответствует требованиям класса 1, тип Н по ГОСТ 12.2.025-76

Безмасляный компрессор предназначен для питания воздухом лабораторных генераторов азота и кислорода, продувки сухим воздухом оптических систем лабораторных приборов и т.д. Особенностью прибора является наличие встроенной системы автоматической регенерации фильтра осушки воздуха, что освобождает пользователя от регламентных работ. Малые габариты, низкий уровень шума, отсутствие работ по обслуживанию позволяют размещать компрессор в помещении лаборатории и делают работу с ним необременительной. Технические характеристики Номинальная производительность, приведённая к нормальным условиям, л/мин 7,0 Максимальная производительность, приведённая к нормальным условиям, л/мин 9,0 Диапазон задаваемого выходного давления, ати от 1,0 до 6,0 Стабильность выходного давления при постоянном расходе, не хуже, ати ±0,2 Стабильность выходного давления при изменении расхода от 0,5 до максимального значения, не хуже, ати ±0,4 Точка росы выходного воздуха при температуре окружающего воздуха 20 °С и номинальной производительности, не выше, °С минус 30 Точка росы выходного воздуха при температуре окружающего воздуха 20 °С и максимальной производительности, не выше, °С минус 15 Объем встроенного ресивера, л 6 Уровень шума прибора, не более, дб 50 Время готовности после включения, мин, не более 10 Потребляемая мощность не более, ВА 600 Габаритные размеры прибора (ширина x глубина x высота), не более, мм 230х580х530 Масса прибора, не более, кг 27 Рабочие условия: температура окружающего воздуха, °С от +10 до +35 относительная влажность окружающего воздуха, % 80 питание от однофазной сети: переменного тока напряжением, В 220 ± 10% и частотой, Гц 50 ± 1

Характеристики прибора аналогичны модели ГЧА-18Д; Отличие – встроенный в генератор ГЧА-18Д-К безмасляный компрессор обеспечивает полную автономность прибора. Гарантия на прибор 18 месяцев, на встроенный компрессор -12 месяцев со дня продажи. Технические характеристики Марка получаемого азота по ГОСТ 9293-74 особой чистоты, I сорт Объемная доля азота, не менее, % об. (включая примеси инертных газов: аргон, неон, гелий) 99,999 Объемная доля кислорода, не более, % об. (ppm) 0,0005 (5 ppm) Объемная доля водяных паров, не более, % об. (ppm) 0,0007 (7 ppm) Объемная доля водорода, не более, % об. (ppm) 0,0002 (2 ppm) Объемная доля суммы углеродсодержащих соединений в пересчете на метан, не более, % об. (ppm) (при концентрации метана в питающем воздухе не более 5 ppm)* 0,00001 (0,1 ppm) Максимальная производительность по азоту, не менее, л/час 18 (300 мл/мин) Номинальное выходное давление азота, ати 4 Время установления рабочего режима при односменной работе, не более, мин, * 45 Уровень шума, создаваемый компрессором, не более, дБ 45 Потребляемая мощность, не более, ВА 300 Габаритные размеры, (ширина x глубина x высота), не более, мм 230х470х510 Масса, не более, кг 25 Рабочие условия: Температура окружающего воздуха, °С от +10 до +35 Электрическое питание от однофазной сети переменного тока напряжением, В 220 ± 10% и частотой, Гц 50 ± 1 Средний полный срок службы, лет, не менее 6 Генератор по электробезопасности соответствует требованиям класса 1, тип Н по ГОСТ 12.2.025-76