ОДНОЛУЧЕВОЙ ОПТИЧЕСКИЙ ЛИТОГРАФ С ПРЕВЫШЕНИЕМ ДИФРАКЦИОННОГО ПРЕДЕЛА

ОСОБЕННОСТИ ПРИБОРА
• Разрешение не хуже 500 нм
• Размер элемента не хуже 200 нм
• Точность сканера не хуже 30 нм
• Допустимая площадь печати - 100 мм
• Аддитивность процесса литографии


ПРЕИМУЩЕСТВА
• Предназначен для широкого спектра научных задач
• Простота в использовании
• Доступная цена безмасковой литографии
• Прототипирование и мелкосерийное производство 3D-микроструктур
• Отсутствие необходимости работ с вакуумной техникой
• Совместимость с ОС Astralinux и Windows
• Отсутствие отечественных аналогов (ОКПД2 28.99.20.120)