Система плазменной активации поверхности GD156R

Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.

Система плазменной активации поверхности GD156R нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий производить плазменную очистку и активацию поверхности с целью исследования образцов методом электронной микроскопии и получения изображения высокого качества.

Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ

Система GD156R представляет собой универсальную установку плазменной обработки и активации поверхности и предназначена для подготовки образцов к исследованиям методами электронной микроскопии.

Плазменная очистка — это предварительная обработка поверхности перед исследованиями поверхности образцов, анализом состава вещества, нанесением фоторезиста, вакуумным напылением слоев, пайкой или микросваркой.

В процессе плазменной очистки поверхность материала подвергается химической реакции с ионизированными газами. Свободные радикалы газа взаимодействуют с загрязнением на поверхности, преобразуются в газовую фазу и далее удаляются. Такой способ позволяет достичь прецизионной очистки чувствительных поверхностей, что повышает ее адгезию.

Другой задачей применения плазменной обработки является активация поверхности с помощью плазмы. Время обработки в большинстве случаев составляет несколько минут. Качество активации может проверяется тестовыми чернилами.

Плазменная очистка металлов применяется для получения поверхности, не содержащей оксидов.

Прибор предназначен для работы с широким спектром образцов, обеспечивает их простую загрузку и выгрузку. Система полностью автоматизирована, пользователь может задать алгоритм работы, включающий стадии откачки, дегазации, настроить рабочее давление, напряжение, ток, время обработки.

Что входит в систему:

- базовый блок с управляющей электроникой;
- магнетрон;
- вакуумная система с форвакуумным насосом;
- предметный столик Ø100 мм с вращением;
- большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла;
- сенсорный экран управления 7″;
- программное обеспечение API156 на русском языке;
- книга «рецептов» по обработке.

Тех. характеристики:
- Характеристики вакуумной камеры: внутренний диаметр - 156 мм, высота - 100 мм, производительность насоса - 19,8 м3/ч
- ​Диапазон давления: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (турбонасос)
​ - Измерение толщины покрытия с помощью кварцевых весов
- ​Сохранение и загрузка пользов. рецептов >1000 шт
- ​Габариты и вес (без опций) 450х300х400 мм, 22 кг