LCD серия

Азотные лазеры серии АИЛ являются представителями газоразрядных лазеров, генерирующих вынужденное излучение на электронно-колебательных переходах молекулы азота в ультрафиолетовой области спектра, с основными полосами l=337,1 нм, l=357,7 нм, l=315,9 нм. Вследствие неблагоприятного соотношения вероятностей радиационного распада рабочих уровней молекулы азота инверсию, т.е. генерацию на рассматриваемых проходах можно получить только в нестационарном (импульсном) режиме на фронте импульса возбуждения. Таким образом, азотные лазеры, является лазером на самоограниченных переходах. Азотный лазер ЛГИ-511 превосходно зарекомендовал себя в установках микроэлектроники. Короткая длина волны позволяет сфокусировать излучение в пятно малых размеров и обрабатывать элементы на уровне долей микрометров, к тому же максимум чувствительности многих типов фоторезиста, применяемых в микроэлектронике, лежит в этой области. Параметры АИЛ-0.5 АИЛ-3 ЛГИ-511 Длина волны излучения, мкм 0.337 0.337 0.337 Энергия импульса излучения, мкДж 2.5 30 240 Средняя мощность излучения, мВт 0.5 3 240 Размер пучка излучения на уровне 0.1, мм (не более) 1.5 2 5 Спектральный состав излучения ТЕМоо ТЕМоо TEMmn Частота повторения импульсов, Гц 1 -200 1 -100 1-1000 Длительность импульса на уровне 0.5, не 5 5 6-8 Габариты, мм, не более 200x130x70 350x325x150 1140x525x345 Масса, кг, не более 3 10 105 Питание, В 24 или 220 220 220 Потребляемая мощность, Вт, не более 20 50 1500 Охлаждение воздушное конвекционное воздушное конвекционное водяное, расход воды 1.5 - 2 л/мин Температура эксплуатации, °С 0...+40 0...+40 0...+40 Гарантийная наработка, ч 500 500 500 .