Certus Optic I- الجمع بين مسبار المسح الضوئي (СЗМ) والمجاهر البصرية

تمثل NTEGRA Aura النسبة المثلى من حيث التكلفة والأداء. لتحقيق مستوى الفراغ المطلوب ، يكون الوقت أقصر بكثير مقارنة بالتركيبات عالية الفراغ. يتم الوصول إلى مستوى الفراغ المطلوب في 1 دقيقة فقط! في الوقت نفسه ، تبين أن المجمع بأكمله مضغوط وسهل التشغيل والصيانة نسبيا. وقد تم تجهيز NTEGRA Aura مع أجهزة الاستشعار ردود الفعل بالسعة على جميع محاور التنسيق الثلاثة ، والبصريات مع دقة تصل إلى 1 ميكرون والقدرة على قياس في أكثر من 40 تقنيات. نظرا للهندسة المعمارية المفتوحة ، يمكن توسيع وظيفة هالة نتيجرا بشكل كبير ، على سبيل المثال ، عن طريق القياس في مجال مغناطيسي خارجي (أفقي إلى 0.2 طن دولار وعمودي 0.02 طن دولار) وفي نطاق درجة حرارة ممتد مع إمكانية التسخين حتى 150 C درجة مئوية مع دقة الحفاظ على درجة حرارة 0.05 C درجة مئوية ، إلخ.

NTEGRA Spectra يدعم معظم أساليب القوة الذرية المتاحة حاليا (أكثر من 30) ، والتي تسمح بإجراء البحوث مع قرار نانومتر. يوفر استخدام مجموعة من هذه الطرق معلومات كاملة حول الخصائص السطحية العديدة للعينة ، مثل: الإغاثة ، والمغنطة ، والجهد الكهربائي وتشغيل الإخراج ، وقوة الاحتكاك ، والاستجابة الكهروإجهادية ، والمرونة ، والسعة ، وانتشار التيار وغيرها الكثير. تتيح لنا إمكانية إجراء دراسات القوة الذرية المتزامنة لنفس منطقة العينة باستخدام التحليل الطيفي متحد البؤر وطرق تحليل التألق الحصول على بيانات حول التركيب الكيميائي ، والبنية البلورية وتوجهها ، ووجود الشوائب والعيوب ، وشكل الجزيئات الكبيرة ، إلخ. تسمحNTEGRA Spectra بالقياسات القائمة على المجاهر الضوئية المباشرة والمقلوبة. يمكن وضع العينة في جو متحكم فيه أو في وسط سائل عند درجة حرارة متغيرة.

عرض وقياس الحبوب والعيوب في بنية المواد ، دقة الذرات (جائزة نوبل عام 1986) ، استبدال المجاهر المعدنية والرسوم الإلكترونية الزيادة: من 2000 إلى 10 مليون. نطاق القياس: 0.2 نانومتر إلى 30 ميكرون جميع الأساسية (СТМ ، الاتصال و فيبرو-АСМ) وسائط ، وأكثر من 25 منها إضافية.وسائط

وهي مصممة لإجراء دراسات شاملة لخصائص السطح باستخدام الفحص المجهري البصري والتحليل الطيفي والمسح المجهري للمسبار. انها تسمح للحصول على كامل تشتت رامان و / أو أطياف مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، صور СЗМ. تصميم مجمع Centaur I HR يسمح لك للعمل مع كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر القوة الذرية) والجمع بين التقنيات (АСМ-Раман ، ليزر متحد البؤر و АСМ).

التكوين الأساسي لمجهر مسبار المسح Certus ، المصمم لحل مجموعة واسعة من المهام البحثية والتحليلية. مسح الطائرة موازية على طول X, Y,Z محاور يسمح لك للحصول على صورة من السطح وتنفيذ تحرير الصور اللاحقة مع الحد الأدنى من التشويه وفقدان المعلومات; المسح الضوئي مع كل من التحقيق (الماسح الضوئي التقليدي داخل رأس المسح Certus) والماسح الضوئي عينة شيز فائق السرعة. يحل الاتصال المتوازي للمستوى للمسبار بالعينة مشكلة التوصيل اليدوي الشاق للمسبار بالعينة. يتم التوريد بواسطة ثلاثة دعامات آلية; يجعل التصميم المفتوح لرأس المسح من الممكن مراقبة سطح عينة الاختبار بزاوية 0-90° ، وتثبيت أجهزة ومعدات إضافية; يسمح التكوين المعياري بتثبيت مجهر مسبار المسح القياسي في Certus Standard على المجاهر الضوئية التقليدية (المباشرة أو المقلوبة) ، جنبا إلى جنب مع الأجهزة البصرية وترقيتها إلى تعديلات Certus Optic и Centaur.; وقد نفذت التقنيات الأساسية لإدارة السياسات الخاصة. لتغيير وضع تشغيل مجهر مسبار المسح (على سبيل المثال ، التبديل من التشغيل في وضع مجهر القوة الذرية إلى وضع مجهر المسح النفقي) ، يكفي تغيير حامل المسبار.

وهي مصممة للتحقيقات المعقدة للخصائص الفيزيائية للسطح بطرق الفحص المجهري البصري الكلاسيكي ، الفحص المجهري بالليزر متحد البؤر ، التحليل الطيفي متحد البؤر والمسح المجهري للمسبار (الفحص المجهري للقوة الذرية). فإنه يسمح الحصول على أطياف كاملة من رامان (رامان) تشتت و/أو مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، СЗМ (АСМ) الصور. تصميم مجمع Centaur I يسمح باستخدام كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر متحد البؤر/التحليل الطيفي) والجمع بين التقنيات (بما في ذلك الجمع بين حقول المسح ، АСМ/Раман الدراسات ، الخ.).

مجهر مسبار المسح (СЗМ) مجهزة أصحاب التحقيق المتخصصة والمعدات البصرية اللازمة لإجراء البحوث باستخدام تأثير المجال القريب. يعتمد الفحص المجهري البصري القريب من المجال على استخدام خصائص المجال القريب (الزائل) ، مما يجعل من الممكن التغلب على حد الحيود للفحص المجهري البصري الكلاسيكي. تتضمن جميع المجاهر القريبة من المجال العديد من عناصر التصميم الأساسية: مسبار; نظام نقل التحقيق بالنسبة إلى سطح العينة على طول 2 (X-Y) أو 3 (X-Y-Z) الإحداثيات (نظام المسح الضوئي); نظام التسجيل; النظام البصري.

دخول مستوى المسح المجهر التحقيق (СЗМ) مسح الطائرة موازية على طول X, Y,Z ض محاور يسمح لك للحصول على صورة من السطح وتنفيذ تحرير الصور اللاحقة مع الحد الأدنى من التشويه وفقدان المعلومات; يجعل التصميم المفتوح لرأس المسح من الممكن مراقبة سطح عينة الاختبار بزاوية 0-90° ، وتثبيت أجهزة ومعدات إضافية; يسمح لك التكوين المعياري بتثبيت مجهر مسبار المسح Certus Light على المجاهر الضوئية التقليدية (المباشرة أو المقلوبة) ، والجمع بين الأجهزة البصرية وترقية هذا الجهاز إلى التعديلات

مسح المجهر التحقيق (СЗМ) جنبا إلى جنب مع المجهر الضوئي المباشر من فئة البحوث. الغرض منه هو البحث عن طريق طرق الفحص المجهري للقوة البصرية والذرية. Certus XYZ СЗМ المسح رئيس ل أفم التصوير (التضاريس بشكل عام) و/أو تحديد المواقع من التحقيق بالنسبة إلى سطح العينة; جهاز تحديد المواقع والمسح الضوئي(XY(Z) بيزوستوليك) Ratis لتحديد المواقع العينة بالنسبة إلى مجال الرؤية من المجهر و/أو مسح العينة; مجهر بصري مباشر (Olympus BX 51 كمعيار) لعرض موضوع البحث وتوجيه المسبار إلى موضوع البحث أو وضع العينة بالنسبة إلى مجال رؤية المجهر; الميكانيكية Z الحركة للعدسة; حركة بيزو أحادية المحور للعدسة المتجهة للحصول على دقة تركيز إضافية, التركيز التلقائي والطبقات واسعة المجال 3d الصور; جهاز تحديد المواقع عينة لاختيار منطقة على سطح أو في وحدة تخزين; وحدة تحكم واحدة على سبيل EG-3000 للتحكم في جميع أجزاء المجمع; برنامج NSpec.

مسح المجهر التحقيق (СЗМ) جنبا إلى جنب مع المجهر الضوئي المباشر والمقلوب من فئة البحوث. الغرض منه هو البحث عن طريق طرق الفحص المجهري للقوة البصرية والذرية. Certus XYZ СЗМ المسح رئيس ل أفم التصوير (التضاريس بشكل عام) و/أو تحديد المواقع من التحقيق بالنسبة إلى سطح العينة; جهاز تحديد المواقع والمسح الضوئي(XY(Z) بيزوستوليك) راتيس لتحديد المواقع العينة بالنسبة إلى مجال الرؤية من المجهر و/أو مسح العينة; مجهر بصري مباشر (Olympus BX 51 كمعيار) لعرض موضوع البحث وتوجيه المسبار إلى موضوع البحث أو وضع العينة بالنسبة إلى مجال رؤية المجهر; مجهر بصري مقلوب (Olympus IX 71 كمعيار) لعرض موضوع البحث وتوجيه المسبار إلى موضوع البحث أو وضع العينة بالنسبة إلى مجال رؤية المجهر; الميكانيكية Z الحركة للعدسة; حركة بيزو أحادية المحور للعدسة المتجهة للحصول على دقة تركيز إضافية, التركيز التلقائي والطبقات واسعة المجال 3D الصور; جهاز تحديد المواقع عينة لاختيار منطقة على سطح أو في وحدة تخزين; وحدة تحكم واحدة على EG-3000 للتحكم في جميع أجزاء المجمع; برنامج NSpec.

مسح مطياف رامان متحد البؤر مع خيار СЗМ الأبعاد المدمجة أتمتة كاملة للنظام التصميم الأصلي من مطياف فتحة عالية للجهاز مع الحد الأدنى من الخسائر البصرية. يتم تصنيع الدائرة متحد البؤر وفقا للمخطط الأصلي ، وتوفر أبعادا مدمجة وأقل انجرافات للعناصر البصرية. يوفر المجهر الضوئي المدمج البحث عن موقع مناسب للقياسات. تستخدم المكونات الميكانيكية الدقيقة والبصريات في التصميم. يمكن استخدامه في كل من المختبرات الصناعية والجامعات البحثية.

مجهر مسبار المسح Certus Light V هو نسخة مدمجة من СЗМ مع الحد الأدنى من الوظائف والتكلفة. والفرق الرئيسي من الإصدار الرئيسي من Certus Light هو عينة المسح ونظام العرض أكثر دقة. يتكون الجهاز من رأس يقرأ حالة الكابول ، وماسح ضوئي مسطح متعدد الوظائف ، ونظام إمداد وتركيب رأس. يعمل الجهاز مع الحد الأدنى من التكوين لوحدة التحكم الإلكترونية المدمجة مباشرة في الجسم الرئيسي ، أي أن الجهاز عبارة عن قطعة واحدة. من الممكن التحكم في الجهاز عن بعد عبر جهاز كمبيوتر لوحي باستخدام برنامج متخصص لنظام التشغيل أندرويد.

وهي مصممة للتحقيقات المعقدة للخصائص الفيزيائية للسطح بطرق الفحص المجهري البصري الكلاسيكي ، الفحص المجهري بالليزر متحد البؤر ، التحليل الطيفي متحد البؤر والمسح المجهري للمسبار (الفحص المجهري للقوة الذرية). . فإنه يسمح الحصول على أطياف كاملة من رامان (رامان أو رامان) تشتت و/أو مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، СЗМ (АСМ) الصور. تصميم مجمع Centaur Duos يسمح باستخدام كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر متحد البؤر/التحليل الطيفي) والجمع بين التقنيات (بما في ذلك الجمع بين حقول المسح ، АСМ/Раман الدراسات ، الخ.). المجهري). . فإنه يسمح الحصول على أطياف كاملة من رامان (رامان) تشتت و/أو مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، СЗМ (АСМ) الصور. تصميم مجمع Centaur Duos يسمح باستخدام كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر متحد البؤر/التحليل الطيفي) والجمع بين التقنيات (بما في ذلك الجمع بين حقول المسح ، АСМ/Раман الدراسات ، الخ.).

الأبعاد المدمجة أتمتة كاملة للنظام التصميم الأصلي من مطياف فتحة عالية للجهاز مع الحد الأدنى من الخسائر البصرية. يتم تصنيع الدائرة متحد البؤر وفقا للمخطط الأصلي ، وتوفر أبعادا مدمجة وأقل انجرافات للعناصر البصرية. يوفر المجهر الضوئي المدمج البحث عن موقع مناسب للقياسات. تستخدم المكونات الميكانيكية الدقيقة والبصريات في التصميم. يمكن استخدامه في كل من المختبرات الصناعية والجامعات البحثية.

وهي مصممة للتحقيقات المعقدة للخصائص الفيزيائية للسطح بطرق الفحص المجهري البصري الكلاسيكي ، الفحص المجهري بالليزر متحد البؤر ، التحليل الطيفي متحد البؤر والمسح المجهري للمسبار (الفحص المجهري للقوة الذرية). فإنه يسمح الحصول على كامل رامان (رامان أو رامان) تشتت و/أو أطياف مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، СЗМ (АСМ) الصور. تصميم مجمع Centaur U يسمح باستخدام كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر متحد البؤر/التحليل الطيفي) والجمع بين التقنيات (بما في ذلك الجمع بين حقول المسح ، АСМ/Раман الدراسات ، الخ.).