مصنع دفعة وحيد الغرفة VATT 1600 * 2400-ED

تركيب دفعة من غرفة واحدة يعتمد على كاميرا بحجم 1600 مم. مع نظام الترسيب الحراري المقاوم (20 مبخرا مقاوما ، التيار المقنن للوحدة 800-1000 أ) ونظام الترسيب الكيميائي للبلازما لطبقة السيليكون العضوي (13.56 ميجاهرتز ، 1000 واط). يتم تثبيت المنتجات على أجهزة خاصة على الأسطوانة ، مع نظام دوران كوكبي. وقد تم تجهيز التثبيت مع 2 الطبول مع عربات انزلاق. بالتتابع ، تتم معالجة بلازما تفريغ التوهج ، ويتم تطبيق طبقة الألومنيوم العاكسة ، ويتم تطبيق طبقة السيليكون العضوي الواقية في بلازما تفريغ الترددات اللاسلكية. وقد تم تجهيز عربة المتداول للأسطوانة مع محرك كهربائي. تشتمل مجموعة التثبيت على مجموعتين من البراميل مع عربة التراجع. يتكون الجزء عالي الفراغ من أربع وحدات زيت بخار نشرAVDM-400. وتستخدم اثنين من المضخات AVZ - 125 ومضخة DVN 500 لضخ ما قبل فراغ. يمكن أن يعمل التثبيت في أوضاع يدوية وتلقائية. يعتمد نظام التحكم على وحدة تحكم وجهاز كمبيوتر مع إخراج المعلمات إلى الشاشة.

على الرغم من الاكتناز وسهولة التشغيل ويدعم جميع المنهجية الأساسية لمجهر القوة الذرية ومجهر المسح والنفق ، وبالتالي فإنه يمكن استخدامها لأي مجهر القوة الذرية الروتينية و مجهر المسح النفقي والتجارب في البحث العلمي. على سبيل المثال ، يتم عرض نتائج بعض التجارب في مختلف التطبيقات العلمية: التحقيق في الهياكل الذرية التحقيق في الهياكل النانوية المعدنية التحقيق في الهياكل المغناطيسية البحث عن كائنات البوليمر البحث عن الأشياء البيولوجية البحث في المواد النانوية الكربونية

يتم تطبيق طلاء مشترك في التركيب ، والذي يتكون من طبقة معدنية وطبقة من هذا المركب المعدني (أكسيد ، نيتريد ، كربيد) وطبقة سيليكون عضوي. لإيداع طبقات من المعادن ومركباتها ، يتم استخدام بخاخ قوس مستو بطول 2700 مم ، والذي يتم وضعه في جيب على طول غرفة التشكيل العلوية. يتم تطبيق طبقة السيليكون SiOx في تفريغ الترددات اللاسلكية من 20-40 كيلو هرتز ، 400-1000 فولت ، والتي يتم إشعالها بين الأسطوانة مع المنتجات والهوائي الموجود في وسط الغرفة. توضع الألواح المغطاة على كواكب حول محيط الأسطوانة ، في طبقتين. عند الانتهاء من الدوران الكامل للأسطوانة ، يتحول كل كوكب إلى أكثر من 180 درجة. - يتم تبديل الألواح الموضوعة على الكوكب ، وبالتالي ضمان الطلاء على جميع الألواح. يتكون نظام التفريغ من 4 مضخات FVMD 400 ووحدة ما قبل التفريغ تعتمد على المضخات ЕН1200 и Е1М275, Edwards. يمكن أن يعمل التثبيت في أوضاع يدوية وتلقائية. يعتمد نظام التحكم على وحدة تحكم وجهاز كمبيوتر مع إخراج المعلمات إلى الشاشة.

غرفة التفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع باب واحد لتحميل المنتجات والصيانة ، مع وضع متماثل للمصادر التكنولوجية. يتم وضع المصادر التكنولوجية في جيوب متخصصة على جسم الكاميرا. وتستخدم اثنين من مصادر قوس مستو واثنين من ماغنيترونس مستو للطلاء ، وكلها بطول 1800 ملم. إمدادات الطاقة للمصادر التكنولوجية وإزاحة من نوع العاكس المصنعة من قبل إستو إل. لوضع المنتجات ، يتم استخدام نظام دوران كوكبي ، مع آلية معزولة كهربائيا من السكن. يتم استخدام نظام من خيوط التيار الكهربائي لتزويد الإزاحة للكواكب. يتم تبريد جسم الكاميرا وغطاء الكاميرا وشفاه التركيب للمصادر التكنولوجية ومدخلات الدوران بالماء. نظام فراغ على أساس مضخة نشر ND500 ، واثنين من مضخات NVR-90 ومضخة NVD-600. ويشمل التثبيت VMT 25 تعميم إمدادات المياه آلة التبريد. يمكن أن يعمل التثبيت في أوضاع يدوية وتلقائية. يعتمد نظام التحكم على وحدة تحكم وجهاز كمبيوتر مع إخراج المعلمات إلى الشاشة.

مجمع طلاء مغناطيسي آلي متعدد الوظائف يتكون من غرفتين. الحجرة الأفقية الكبيرة ، مستطيلة الشكل ، مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع أسطح داخلية مصقولة بالكهرباء. جدران السكن لها أضلاع تقوية. تستخدم الأبواب المستطيلة المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ ذات الأسطح الداخلية المصقولة بالكهرباء لتحميل المنتجات إلى الغرفة ، وخدمة الأجهزة المختبرة ومراقبة عملية الاختبار من خلال نوافذ العرض. تحتوي الغرفة الكبيرة على ثلاثة مغنطرونات مستوية ، ومصدر أيون ممتد ، بالإضافة إلى ثلاثة مغنطرونات مستديرة ومصدر أيون دائري. تحتوي الكاميرا أيضا على وحدة إزاحة توفر حركة خطية بسرعة معينة وتتوقف عند أي نقطة من الكاميرا التي يحددها المشغل. تتكون الوحدة من عربة وأدلة ومدخلات ونظام نقل الحركة. يتم توصيل لوحة حرارية بالعربة للحفاظ على درجة حرارة العينات المطلية. الغرفة الصغيرة ملحومة ، عمودية ، من نوع الغطاء ، مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ. يتم رفع غطاء المحرك بواسطة مصعد كهروميكانيكي. تحتوي الغرفة الصغيرة على أربعة مغنطرونات مستديرة ومصدر أيون واحد. نظام الفراغ هو نفسه لكلا الغرفتين وهو مبني على مضخة مبردة CTI Cryogenics Cryo Torr 8 8 ومضخة لولبية قبل التفريغ Anest Iwarta ISP-500 C. يتم استخدام غرفة توزيع خاصة مع مجموعة من الصمامات لتبديل الضخ بين الغرف. يمكن أن يعمل التثبيت في أوضاع يدوية وتلقائية.