Поиск

Двухкристальный рентгеновский дифрактометр ДСО-1 (DSO-1) предназначен для автоматического измерения ряда структурных характеристик полупроводниковых пластин: структурного совершенства образцов по кривым качания, параметров решëтки, профиля деформации приповерхностной структуры и др. Он позволяет также определять ориентацию кристаллов.

Рентгеновский дифрактометр ДСО-2Г (рис.1) предназначен для автоматического уточнения ориентации монокристаллов кремния относительно поверхности кристалла, для полуавтоматического уточнения разориентации геометрической и кристаллографической осей, а также для ручного определения и автоматического уточнения ориентации базового среза. Метод измерения основан на анализе дифракционных отражений, получаемых при вращении маломощного источника рентгеновского излучения около анализируемой поверхности неподвижного монокристалла. При этом пространственное положение анализируемой поверхности определяется с помощью лазерного датчика расстояния.

Характеристики температурной камеры ТК-1200 для дифракционных исследований: Материал корпуса - Нержавеющая сталь Материал рентгенпрозрачных окон - ПМА, графит Рентгенпрозрачность окон (Cu Kα) ~63,5% Материал кюветы - Оксид алюминия Глубина кюветы - 0.2, 0.5, 0.9 мм Вращение образца/Колебание - от 0° до 360° со скоростью от 0°/с до 180°/с Диапазон рабочих температур - от +25°С до + 1200°С Точность определения температуры ±2°С Точность поддержания температуры ±0,5°С Угол дифракции, 2θ - от -1° до 152° Возможность работы в вакууме, давление <10^(-6) бар (вакуумное оборудование поставляется отдельно). Конструкция ТК-1200 позволяет осуществлять контролируемое вращение образца вокруг собственной оси на 360° в плоскости образца, тем самым давая возможность изучить анизотропию внутренних напряжений. Вращение (колебание) самого образца внутри температурной камеры осуществляется за счет шагового двигателя. Опционально возможна установка как на θ-θ гониометр, так и на θ-2θ (горизонтально и вертикально). Для регистрации спектров возможно использование таких детекторов как сцинтиляционный, полупроводниковый, позиционно-чувствительный. Опционально возможно исполнение исполнение данного устройства для работы при различных температурах, механических и электрических воздействиях в разных средах. Возможно изготовление температурных камер в различных исполнениях: ТК-500 (температурный диапазон +25 – +500 °С), ТК-600 (температурный диапазон -160 – +600 °С), ТК-900 (температурный диапазон +25 – +900 °С) , ТК-1500 (температурный диапазон +25 – +1500 °С), а также с различными конструкциями держателя для Ваших образцов.