Поиск

Ввод вращения разработан по техническим требованиям заказчика для эксплуатации в составе вакуумного электронно-лучевого оборудования. Основные характеристики МЖУ: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-6 Па; -скорость вращения вала не более 300 об/мин; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с; -температура эксплуатации до 80о С. Герметизация вала ввода вращения осуществляется за счёт магнитожидкостного уплотнения, расположенного внутри корпуса ввода.

Ввод вакуумный электрический 19-контактный интерфейсный, для измерительных систем на фланце KF40. Является герметичной конструкцией и применяется в составе вакуумного оборудования. Характеристики: - сопротивление контактов, 15 мОм; - сопротивление изоляции, 5000 МОм; - температура эксплуатации, от -60°C до +85°C; - минимальное давление, 1,34*10-10 Па. Подключение к вакуумному разъёму осуществляется розеткой 2РМТ24КПН19Г1В1. Возможно изготовление электрических вакуумных разъёмов с другой схемой расположения выводов и системой крепления к вакуумному оборудованию.

Вакуумный ввод вращения разработан по техническим требованиям заказчика для установки напыления плёнок методом термического вакуумного испарения. Цель применения - вращение заслонки тигля (лодочки) в вакуумной камере. Корпус вакуумного ввода вращения выполнен под быстроразъёмное соединение KF50. Вал ввода имеет лыски для фиксации установочными винтами заслонки и ручки KIPP K0150.340082. Технические характеристики вакуумного ввода вращения: - температура эксплуатации до 800 С; - давление в камере не хуже 1*10-6 Па; - скорость вращения вала не более 40 об/мин.