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Ratis 1x-nanopozyconer monocoordiné

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Ratis 1x-nanopozyconer monocoordiné
Le scanner est un corps métallique monolithique (en alliage de haute qualité, généralement en aluminium), dans lequel l'électroérosion et d'autres méthodes d'usinage de précision sont formés des canaux pour les actuateurs piézocéramiques, des éléments mobiles de la table, etc. cette conception offre une excellente linéarité et une planéité de déplacement, contrairement aux scanners classiques basés sur des piézotubes, dont la surface de balayage est une sphère. En outre, les scanners planaires parallèles ont une résistance mécanique élevée par rapport aux piézotubes fragiles.