ابزار SOL

مشخصات فنی: حساسیت: تشخیص قله سیلیکون درجه سوم وضوح فضایی: جانبی (XY) < 1 μm محوری (Z) < 2 μm حداقل مرحله اسکن جدول نقشه برداری 2 بعدی: 100 نانومتر دوربین مداربسته تصویری: رنگی (حداقل 5 مگاپیکسل) با قابلیت ذخیره تصاویر در کامپیوتر

ویژگی های فنی: محدوده تنظیم: 414-2300 نانومتر گزینه تنظیم: دستی حداکثر کارایی تبدیل: 40% عرض خط: از 0.15 نانومتر سرعت تکرار پالس: 1 - 20 هرتز اختلاف: < 12 mrad

ویژگی های فنی: طرح نوری: به صورت افقی متقارن با دو لنز جبران آستیگماتیسم: بله کانال های طیف مستقل: 1 باز شدن نسبی (در ورودی): 1/3. 3 فاصله کانونی: 99.3 میلیمتر نور پراکنده (20 نانومتر از لیزر): 9 x 10-4 بزرگنمایی افقی: 1.2 نانومتر ویژگی های متمایز دستگاه: سادگی ، جمع و جور و وزن کم