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高真空针阀式流量阀设计用于在工作压力范围达到10^-8毫米汞柱的真空系统中平稳地引入气体。流量阀配备手动驱动，连接类型为KF（执行标准为KF-10，KF-16，KF-25）。

复合体包括： VEGA PROvac 1500涡轮分子高真空泵； 频率转换器； 一套安装部件； 使用手册。 为了连接到前级真空系统，泵配备了ISO-KF40排气法兰。 泵的冷却是组合式的。根据操作条件，该复合体可以仅使用强制空气冷却或水冷却。 工作方向在空间中是垂直的。

复合体包括： 单流涡轮分子真空泵VGTN-50； 频率转换器； 一套安装部件； 使用手册。 为了连接到前级真空系统，泵配备了ISO-KF16排气法兰。 泵的冷却是组合式的。根据操作条件，该复合体可以仅使用强制空气冷却或水冷却。 工作方向在空间中是任意的。

复合体包括： 单流涡轮分子真空泵VGTN-400； 频率转换器； 一套安装部件； 使用手册。 为了连接到前级真空系统，泵配备了ISO-KF25排气法兰。如有需要，还可以配备ISO-KF16法兰以用惰性气体吹扫泵。 泵的冷却是组合式的。根据操作条件，该复合体可以仅使用强制空气冷却或水冷却。 工作方向在空间中是任意的。 泵的一个关键特点是它允许大气突破。这得益于从整块材料制造的涡轮和特殊的、刚性的轴承单元结构。

复合体包括： 单流涡轮分子真空泵VGTN-150； 频率转换器； 一套安装部件； 使用手册。 为了连接到前级真空系统，泵配备了ISO-KF25排气法兰。如有需要，还可以配备ISO-KF16法兰以用惰性气体吹扫泵。 泵的冷却是组合式的。根据操作条件，该复合体可以仅使用强制空气冷却或水冷却。 工作方向在空间中是任意的。 泵的一个关键特点是它允许大气突破。这得益于从整块材料制造的涡轮和特殊的、刚性的轴承单元结构。

组合包括： VEGA PROvac 2000涡轮分子高真空泵； 频率转换器； 一套安装部件。 为了连接到前级真空系统，泵配备了ISO-KF40排气法兰。 泵的冷却是组合式的。根据操作条件，该组合可以仅使用强制空气冷却或水冷却。 工作方向在空间中是垂直的。