成分

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 整套起泡器根据客户的规格确定，包括适配器和隔膜阀。 重量，公斤：0.8 最大工作压力，MPa：6.8 工作体积，毫升：50 总体积，毫升：75 起重能力m3/h（Kv）：0.28 工作温度范围，°C：-62 至 315 高度取决于配置，毫米：230 气缸宽度/包括阀门的宽度，毫米：38/69。

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 整套起泡器根据客户的规格确定，包括适配器和隔膜阀。 重量，公斤：1.8 最大工作压力，MPa：1.6 工作体积，毫升：450 起重能力m3/h（Kv）：0.22 工作温度范围，°C：10 至 120 高度取决于配置，毫米：241.7 气缸宽度，毫米：76。

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 整套起泡器根据客户的规格确定，包括适配器和隔膜阀。 重量，公斤：1 最大工作压力，MPa：1.6 工作体积，毫升：100 起重能力m3/h（Kv）：0.22 工作温度范围，°C：10 至 120 高度取决于配置，毫米：242 气缸宽度/包括阀门的宽度，毫米：38/110。

性能说明: 额定功率，kW 0.8 额定电压，kV 160 有效焦点规模，宽度/长度1,2/1,2 mm 靶材的倾斜角，度20.0 X辐射输出角，度, 平行于轴 40º, 垂直于轴 40° 最大电流，mA 16,0 白炽参数(Uн, В 没有更多; Iн, А没有更多) 5,6; 4,5 外形尺寸，mm 70/185

ZVPlE-500快门由一个带有连接法兰的外壳、一个快门机构、一个唇形密封件组成，以确保驱动元件、盖和电驱动的紧密性。 快门机构由滑架、上翻板和下翻板组成，它们通过弹簧和球拉在一起。 滑架沿轴承座导轨移动。 ZVPlE-500快门通过电动驱动和手动使用飞轮打开和关闭。 要切换到手动控制模式，电驱动器上有一个开关装置。 手动驱动器用于调节和调节快门。 ZVPlE-500阀门在气候版本被制造根据GOST15150-690l和关于安置类别4。

性能说明: 额定功率，kW 0.3 额定电压，kV 160 有效焦点规模，宽度/长度0.8/0.8 mm 靶材的倾斜角，度32.0 X辐射输出角，度, 平行于轴 60/80º, 垂直于轴 60/80° 最大电流，mA 2,0 白炽参数(Uн, В 没有更多; Iн, А没有更多) 4,2; 4,4 外形尺寸，mm 67/193

性能说明: 焦点规模，mm 0,3；2,0 功率，kW 20；40 阳极转速，RPM 3000 靶材径，mm 70 靶材角17度 靶材热容量，kJ 100 Max电压 kV 125 白炽参数（Max Uн,В; Max Iн,А）4.0；13,0; 4,5-5,5 Max烧瓶直径，mm 108

性能说明: 额定功率，kW 0.6 额定电压，kV 160 有效焦点规模，宽度/长度0.5/0.5 mm 靶材的倾斜角，度20.0 X辐射输出角，度, 平行于轴 60º, 垂直于轴 80° 最大电流，mA 8,0 白炽参数(Uн, В 没有更多; Iн, А没有更多) 3,2; 3,4/4,0 外形尺寸，mm 67/195

性能说明: 额定功率，kW 0.2 额定电压，kV 100 有效焦点规模，宽度/长度0,6/0,3 mm 靶材的倾斜角，度19.0 X辐射输出角，度, 平行于轴 4,0º, 垂直于轴 87° 最大电流，mA 10,0 白炽参数(Uн, В 没有更多; Iн, А没有更多) 6,0; 2,0 外形尺寸，mm 41/115