磁流体密封 AP 10.000.00
设计用作真空系统旋转台的一部分,用于产品上金属膜的电弧溅射。在溅射过程中,产品会受到高温加热,这就需要从旋转台上去除热量。为此,在 MZhU AP 10.000.00 中安装了一个冷却轴。
MZhU 的安装方式为法兰安装。材料为不锈钢。
磁流体密封的特点:
产品重量 2.6 千克
产品尺寸 Ø110*83 mm
产品轴内径 30 毫米
轴旋转频率 300 rpm
工作温度范围 0 至 +60 ˚C
产品保持的极限真空 10-5 Pa
氦气流量不超过 10-12m3Pa/s。
密封介质:稀薄空气、非腐蚀性气体