固定计量实验室

用于监测半导体晶片参数的测试仪FSM1201P允许按照操作者设定的程序，自动测量放置在测量台上的直径为76、100、125、150和200毫米的平面平行抛光硅晶片。 一点的标准测量时间不超过20秒。 主要受控参数: 间质氧的浓度(板厚0.4-2.0mm)内(5×1015-2×1018)±5×1015 sm-3(半MF1188); 取代碳浓度(板厚0.4-2.0mm)范围:(1016-5×1017)±1016cm-3(半MF1391); 硅片中氧分布的径向不均匀性(半MF951); n-n+和p-p+类型的硅结构的外延层的厚度在(0.5–10.0)±0.1微米、(10-200)±1%微米(SEMI MF95)的范围内; CNS结构中外延硅层的厚度在(0.1-10.0)±1%微米范围内; FSS层中的磷和bfss层中的硼/磷的浓度在(1-10)±0.2重量％以内。

"PM-9校验模块的组成： 通用校准器-电压表 H4-12（2 个）； 交流电压校准器 N5-5A； 电压比测量仪 H4-8； 变压电压表 VK3-78A； 谐波信号发生器校准器 SK6-122； 谐波系数校准器 SK6-20A； 交流电源 B2-7（2 个）； 多值直流电阻测量仪 MC3070-2； 多位直流电阻测量仪 MS3055； 十进制高阻抗电阻车间 M-109R； 单值电阻测量仪 MC3080（0,001；0,01；0,1 欧姆）； 单值电阻测量仪 MS3050M（1、10、100、1000、10000、100000 欧姆）； P4013.P4013.P4013.P4013.P4013.P4013.P4013.P4013； 个位数电阻测量值 R4023； P4033 单值电阻测量； 电脑、打印机； 基本承重结构 (BBS)。 技术特点 电气量测量范围： 直流电压 直流从 1 µV 到 1000 V 交流交流电压，频率范围 10 Hz ... 1 MHz，从 10 mV 到 1000 V 频率范围为 10 Hz ... 2000 MHz 的高频可变电压 VRF 10 mV 至 100 V 谐波系数，频率范围 10 Hz ... 200 kHz，范围 0.001 至 100 电气量的再现范围： 直流电压 直流从 1 nV 至 1000 V 频率范围 10 Hz ... 1 MHz 的交流交变电压，从 3 µV 至 1000 V 频率范围为 1MHz ... 2000MHz 的高频可变电压 VRF 3µV 至 3V 直流电流从 1 µA 到 20 A 交流电流强度，频率范围 0.1 Hz 至 10 kHz 1 µA 至 20 A 电阻从 0.001 欧姆到 11 欧姆 频率范围为 10 赫兹至 200 千赫的谐波系数从 0.001 到 100 电气量的测量误差： 直流电压 直流 ± (0.0011 ... 4.0) % 交流交流电压，频率范围 10 Hz ... 1 MHz ± (0.0055 ... 1.2) % 交流高频电压 VRF，频率范围 1 MHz ... 2000 MHz ± (0.2 ... 6.0) % 谐波系数，频率范围 10 Hz 至 200 kHz ± (0.0008 ... 2.0) % 电气量的再现误差： 直流电压 ± (0.0011 ... 4.0) % 交流电压 频率范围为 10 Hz ... 1 MHz 的交流交流电压 ± (0.0055 ... 4.0) % 频率范围为 1 MHz ... 2000 MHz 的交流高频电压 VRF ± (0.6 ... 10.0) % 直流电流强度 ± (0.0033 ... 0.5) % 频率范围在 10 Hz 至 10 kHz 之间的交流电流强度 ± (0.055 ... 1.0) % 电阻 ± (0.001 ... 1.0) % 频率范围为 10 赫兹至 200 千赫兹的谐波系数 ± (0.006 ... 2.0) % 一般技术特性： 模块占用面积 6 - 12 平方米 重量不超过 430 千克 电源电压 198 至 242 V，频率 (50 ± 0.5) Hz 耗电量，不超过 2000 VA"。

带USB端口的外部精密模拟和数字数据采集装置。 ADC14位;2通道;最大. 采样率400MHz;每通道RAM2Msl;Rvx=50欧姆;范围±1V;频段从30MHz到500MHz;USB2.0

"PM-8 "验证模块的组成 频率比较器 ChK7-1011； 通用频率计 Ch3-89； 变压电压表 VK3-78A； 通用电压表 V7-81； 交流电压校准器 H5-5； 高频信号发生器 G4-227； 高频信号发生器 G4-229； 高频信号发生器 G4-230； 吸收功率瓦特计 M3-108； 衰减测量装置 D1-24/1； 分步衰减测量装置 D1-25； 计算调制表 SK3-49； 谐波系数校准器 SK6-20； 频谱分析仪 SK4-"Belan 240"； 全景驻波比仪 R2-135； 全景驻波比仪 R2-137； 传输系数示例测量装置 H3-7； 示波器 S1-157/4； 直流电源 B5-79/1； 交流源 B2-7（2 个）； 微波信号电子配电盘； 电脑、打印机； 基本承重结构 (BBS)。 技术特点 电气量测量范围： 3 µV 至 1000 V 的直流电压 频率范围为 10 Hz ... 2000 MHz 的交变电压，从 10 mV 到 100 V 0.001 Hz 至 17.85 GHz 的连续电磁振荡频率 频率范围为 20 MHz ... 17.85 GHz 的连续电磁振荡功率，从 0.8 到 10 mW 频率范围为 0.1 MHz ... 17.85 GHz 的电磁振荡衰减，范围为 0 至 120 dB 驻波比，频率范围 0.2 ... 17.85 千兆赫，1.03 至 2 谐波系数，频率范围 10 Hz ... 8 GHz，从 0.005 到 100% 载波频率范围 100 kHz ... 17.85 GHz 内的振幅调制因数，从 0.1 到 100 % 不等 载波频率范围 100 kHz ... 17.85 GHz 时的频率偏差（5 Hz 至 1 MHz 载波频率范围 100 kHz ... 17.85 GHz 内的相位调制指数 ... 1 至 100 弧度 频率范围为 0.1 MHz ... 17.85 GHz 的两次谐波信号之间的相移 0 至 360o 电气量的再现范围： 频率范围为 10 Hz ... 2000 MHz 的交流电压，从 3 µV 到 3 V 50 欧姆负载上的谐波（正弦）信号，频率范围为 0.001 Hz ... 30 MHz，电压范围为 0.01 至 5 V。 频率范围为 9 kHz ... 17.85 GHz 的连续电磁振荡，负 120 至 13 dBm 参考频率信号 5 和 10 MHz 频率范围 0 ... 3 GHz 的电磁振荡减弱 0 至 86 dB 电气量测量误差： 直流电压 ± (0.0025 ... 16.7) % 频率范围 10 Hz... 2000 MHz 的交变电压 ± (0,2 ... 16) % 连续电磁振荡频率 ± (2-10-7 ... 4-10-3) 频率范围 20 MHz ... 17.85 GHz 的连续电磁振荡功率 ± (4 ... 6) % 频率范围为 0.1 MHz ... 17.85 GHz 的电磁振荡衰减 ± (0.01 ... 1.2) dB 驻波比，频率范围 0.2 ... 17.85 千兆赫 ± (3 ... 5) K 频率范围 10 Hz ... 8 GHz 的谐波系数 ± (0.005 ... 6) % 载波频率范围 100 kHz ... 17.85 GHz ± (0.1 ... 9) % 的振幅调制因数 载波频率范围内的频率偏差 100 kHz ... 17.85 GHz ± (0.2 ... 80) Hz 载波频率范围内的相位调制指数 100 kHz ... 17.85 GHz ± (0.02 ... 5) 弧度 在 0.1 MHz ... 17.85 GHz ± (0.01 ... 0.08) o 频率范围内两次谐波信号之间的相移 电气量的再现误差： 频率范围为 10 Hz ... 2000 MHz 的交流电压 ± (0.16 ... 10) % 频率范围为 0.001 Hz ... 30 MHz 的 50 欧姆负载上的谐波（正弦）信号 ± (3 ... 5) %； 频率范围为 9 kHz ... 17.85 GHz 的连续电磁振荡 ± (0.5 ... 3) dB 参考频率信号 5 和 10 MHz ± (2-10-11 至 2.4-10-10) 频率范围 0 ... 3 GHz 的电磁振动衰减 ± (0.2 ... 1.4) dB 一般技术特性： 模块占用面积 6 - 12 平方米 重量不超过 550 千克 电源电压 198 至 242 V，频率 (50 ± 0.5) Hz 功耗，不超过 3000 VA"。

"PM-3验证模块的组成： 频率比较仪 ChK7-1011； 通用频率计 Ch3-86A； 通用电压表 V7-79； 吸收功率瓦特计 M3-108-2； 高频信号发生器 G4-229； 高频信号发生器 G4-230； 测试脉冲发生器 G9-1A； 示波器 S1-177 直流电源 B5-79/1； 射频信号电子换向器； 交流源 B2-7（2 个）； 电脑、打印机； 底座承重结构 (BNC)。 技术特点 信号频率和时间参数的测量范围： 连续振荡频率从 0.005 Hz 到 17.85 GHz 脉冲重复率从 0.01 Hz 到 100 MHz IM 信号的载波频率从 100 MHz 到 17.85 GHz 脉冲持续时间从 10 毫微秒到 1000 秒 时间间隔从 0 到 1000 秒 研究信号的频率标称值 2.048；5.0；10.0；10.24 MHz 信号频率和时间参数的测量误差： 连续振荡频率 ± (2,4-10-10 - 4-10-3) 脉冲重复率 ± (2-10-7 - 2-10-3) IM 信号的载波频率 ± 2-10-7 脉冲持续时间 ± (1 - 200) ns 时间间隔 ± (1 - 200) ns 被测信号频率与参考频率的相对偏差 ± (5-10-13 - 2-10-12) 连续振荡频率 ± (3-10-11 - 1.1-10-5) 脉冲重复率 ± (2-10-11 - 6-10-5) IM 信号的载波频率 ± (3-10-11 - 1.1-10-5) 脉冲持续时间 ± (1-10-8 至 7.2-10-4) 时间间隔 ± (2-10-10 至 7.2-10-4) 参考信号额定频率 ± (2-10-11 至 2.4-10-10) 一般规格： 模块占用面积 8 - 12 平方米 重量不超过 327 千克 电源电压 198 至 242 V，频率 (50 ± 0.5) Hz 功耗，不超过 2400 VA"。

"PM-10验证模块的组成： M2-35 透射功率瓦特计； 复合透射和反射系数表 "OBZOR-804/1"； 通用电压表 V7-81（2 个）； 高频信号发生器 G4-229； 高频信号发生器 G4-230； 直流电源 B5-79/1（2 件）； 交流源 B2-7（2 件）； 直流多位数电阻测量仪 MS3070-3，KT 0.005； 直流多位数电阻测量仪 MC3055，KT 0,02； 个位数 MS3080 电阻测量器（0.1；1 欧姆，KT 0.005）； 热电电压转换器 0.5 V； 同轴连接器测量装置 KISK-7M； 电脑、打印机； 基本承重结构 (BBS)。 技术特点 电气和无线电技术量的测量范围： 工作频率范围 0.03 至 17.85 千兆赫 通过微波功率从 0.01 到 10 mW 微波路径驻波比从 1.05 到 3 直流电压：10 µV 至 1000 V 交流电压从 1 mV 到 750 V 热电电压比较：0.1 至 0.5 V 电气量的再现范围： 直流电压：1 至 120 V 直流电阻：0.01 至 12222222.21 欧姆 电气和无线电技术量的测量误差： 通过微波功率 ± (1,5 - 2,3) % 微波路径驻波比 ± (4,15 - 10) % 直流电压 ± (0.003 - 20) % 交流电压 ± (0.09 - 15) % 热电电压比较 ± (0.01 - 0.1) % 电气量的再现误差： 直流电压 ± (100 - 200) mV 直流电阻 CT 0,005; 0,02 一般技术特性： 模块占地面积 4 - 8 m2 重量不超过 340 千克 电源电压 198 至 242 V，频率 (50 ± 0.5) Hz 功耗，不超过 2000 VA"。

带USB端口的外部精密模拟和数字数据采集装置。 12位数的ADC;2个同步通道;discr的频率。 80/100; 40/50 ... 1.25/1.5625MHz;Uvc=±2v，±1V，±0.4V，±0.2V Rvx=50欧姆;同步外部或从水平或正面的任何通道;每通道512KSL/1MSL;USB2.0接口

带USB端口的外部精密模拟和数字数据采集装置。 ADC12位;2通道;最大. 采样率500MHz;每通道RAM2Msl;Rvx=50欧姆;范围±1V;频段从30MHz到1GHZ;USB2.0

LA-2m5rsi板用于自动化控制系统和科学测量的自动化。 ADC12位;32单场/16dif。 通道；最大。 的频率。 400kHz；Uvc=±10v。.. ±0.05V； coef。 乌西尔。 每个通道组1，2，。..40，100，200;Rvx>5MOm;组。 加尔夫。 1.5千伏立交;29600卢布。 LA-1.5PCI板用于自动化控制系统和科学测量的自动化。 ADC12位;32单/16dif。 通道；最大。 的频率。 500kHz；Uvc=±10v。.. ±0.05V； coef。 乌西尔。 每个通道分别1，2，。..40，100，200;缓冲存储器FIFO2KSl;外部启动，从定时器，程序;总线主控;3计数器/定时器通道;数字端口-8-输出/8-输入。 2万卢布。 LA-1.5PCI-14板用于自动化控制系统和科学测量的自动化。 14位数的ADC;32单/16dif。 通道；最大。 的频率。 400kHz；Uvc=±10v。.. ±0.05V； coef。 乌西尔。 每个通道分别1，2，。..40，100，200;缓冲存储器FIFO2KSl;外部启动，从定时器，程序;总线主控;3计数器/定时器通道;数字端口-8-输出/8-输入。 21000卢布。 Leonardo-II板用于自动化控制系统和科学测量的自动化。 ADC24位;8同步。 迪夫。 通道；最大。 的频率。 102.4千赫;最大. vx的范围。 例如±10v；coef。 乌西尔。 定时设置；每个通道的零点和量程的内部校准；组。 加尔夫。 交换是模拟的。 通道200V;缓冲存储器FIFO4KSL;在最大。 Uvc和vx的频率。 信号20khz S/W-110dBA，Kgi-90dB；ICP传感器功率（4MA）；板的同步操作；8个同步。 数字。 TTL线；自由选择。 dvunapr。 16次。 数字TTL端口，总线-主67500卢布。 LA-H150- 14PCI是一款精密高速PCI总线数据采集板。14位数的ADC;2同步。 频道，麦克斯。 的频率。 10MHz;Uvc=±5v;±2.5;±1V;±0.05V;progr。 coef。 乌西尔。;总线主;3计数器/定时器通道;数字端口-8-输出/8-输入45000卢布。 LA-H20-12pci是一个外部精密设备，用于收集模拟和数字信息与PCI端口。 12位数的ADC;2个同步通道;2个频率。 50;25;12.5...0.391MHz或外部;范围±2v;±1V;±0.4V;±0.2V;Rvx=50欧姆;从任何通道或外部同步±5v在电平或正面;每通道128ksls，8个同步数字TTL输入线;工作在从模式45600 局域网10- 12PCI-ADC有12位数字;2个同步通道;discr的频率。 100; 40/50..1.25/1.5625MHz;Uvc=±2v，±1V，±0.4V，±0.2V Rvx=50欧姆;从任何通道按电平或前同步;每通道512mslow/1mslow56000卢布。 LA-n10M8-100是PCI总线的高速模数转换板。 ADC8位数字;2个同步通道;最大. 的频率。 每通道100MHz，输入保护±150v，progr。 coef。 乌西尔。,量程±25v;±12.5V;±5V;±2.5V, ±1,25;±0,625;±0,25;±0,125; Rvx=1mOhm&17pF;1GHz频闪,100MHz频段;总线主控,2MB RAM