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公司:
Infraspek
原产地:
圣彼得堡
软件类型:
统计数据处理软件
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通过IR光谱测定间质氧(SEMI MF1188)、取代碳(SEMI MF1391)、外延层厚度(SEMI MF95)、间质氧的径向不均匀性(SEMI MF951)、硅片和结构中bfss中硼和磷的浓度、KNS结构中外延层的厚度。
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